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Aerotech bietet High-Performance Motion Control und Positioniersyteme für die Produktion von Flachdisplays. Auch auf die Fertigung von vakuumtauglichen Lösungen sind wir spezialisiert. Ob Sie also Standard– oder kundenspezifische Systeme benötigen, Aerotech bietet Ihnen die optimale Lösung für Ihre Applikation.

Aerotech fertigt komplette vakuumtaugliche Positioniersysteme für Anwendungen bei denen eine hohe Leistung erforderlich ist. Hierfür steht eine große Auswahl an Positionierschlitten zur Verfügung, um die benötigten komplexen Bewegungen zu erreichen. Diese Systeme erreichen absolut hohe Genauigkeiten und Positionsstabiltät im Nanometerbereich. Die Vakuumtauglichkeit von 10^-8 torr (1.3 x 10^-8 mbar) wird durch die Verwendung entlüfteter Hardware, vakuumtauglicher Fette und spezieller Kabel erreicht. Kundenspezifische Systeme können ein Vakuum von 10^-9 torr erreichen. Aerotech bietet Systeme mit Begrenzung des Partialdrucks bis in die Ebene der spezifischen Atommassen (Ausgasung). Diese Systeme sind RGA verifiziert. Ferner stellt Aerotech bürstenlose Linear- und Rotationsmotoren her mit optimiertem Verlauf des magnetischen Flusses, die flüssigkeits- oder gasgekühlt sind, um die Ableitung der thermischen Energie zu verbessern. Letztendlich sind es die spezielle Handhabung, die Reinigungsprozeduren sowie die vorsichtige Materialauswahl, die uns den geringsten Total Mass Loss (TML) und den Collected Volatile Condensable Materials (CVCM) erlauben.

Die Broschüre finden Sie hier.

Eine PDF Version unserer Broschüre Automatisierungslösungen für die Branchen Halbleiter- und Flachdisplay Produktion finden Sie hier.