Aerotech’s Z-axis linear-motor vertical nanopositioners include the ANT95-L-Z and ANT130-L-Z. Both of these crossed-roller bearing, direct-drive linear vertical stages offer 2 nm resolution, <2 nm in-position stability, and ±300 nm accuracy. The ANT95-L-Z offers travels of 25 or 50 mm and loads up to 5.0 kg, while the ANT130-L-Z offers travels of 35 or 60 mm and loads to 10 kg. They are designed to be equally at home in the laboratory or 24/7 manufacturing environment.
Outstanding accuracy, position repeatability, and in-position stability require high system resolution. The ANT95-L-Z and ANT130-L-Z 2 nm minimum incremental step size provides this high level of performance. Excellent in-position stability, assisted by high-quality, anti-creep crossed-roller bearings, enables virtually maintenance-free operation over the life of the product. Aerotech’s direct-drive technology has no hysteresis or backlash, enabling accurate and repeatable nanometer-scale motion.
Aerotech nanopositioners are offered as stand-alone units, or as part of a complete positioning package that includes Aerotech’s own controls and drives. |
Aerotech's ANT95 Serie vertikaler Nanopositioniertisch mit Linearmotorantrieb bietet 25 oder 50mm Verfahrweg in Nanometer Performance. In der Kombination von Geschwindigkeit, Genauigkeit, Auflösung, Wiederholbarkeit, Zuverlässigkeit und Platzbedarf bieten die kreuzrollengelagerten ANT95-L-Z und ANT95-L-Z-PLUS das beste was am Markt verfügbar ist. Sie werden in zwei Genauigkeitsabstufungen angeboten.
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Aerotech’s ANT130Serie vertikaler Nanopositioniertisch mit Linearmotorantrieb bietet 35 oder 60 mm Verfahrweg in Nanometer Performance. In der Kombination von Geschwindigkeit, Genauigkeit, Auflösung, Wiederholbarkeit, Zuverlässigkeit und Platzbedarf bieten die kreuzrollengelagerten ANT130-L-Z und ANT130-L-Z-PLUS
das beste was am Markt verfügbar ist. Sie werden in zwei Genauigkeitsabstufungen angeboten.
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