Home >> Single-Axis Linear Nanopositioners

Aerotech’s single-axis linear nanopositioners include the ANT95-L and ANT130-L. Both of these crossed-roller bearing, direct-drive linear stages offer 1 nm resolution, <1 nm in-position stability, and ±250 nm accuracy. The ANT95-L offers travels of 25 or 50 mm and loads of 5.0 or 7.0 kg, while the ANT130-L offers travels of 35, 60, 110, and 160 mm and loads to 12 kg. They are designed to be equally at home in the laboratory or 24/7 manufacturing environment.

Outstanding accuracy, position repeatability, and in-position stability require high system resolution. The ANT95-L and ANT130-L 1 nm minimum incremental step size provides this high level of performance. Excellent in-position stability, assisted by high-quality, anti-creep crossed-roller bearings, enables virtually maintenance-free operation over the life of the product. Aerotech’s direct-drive technology has no hysteresis or backlash, enabling accurate and repeatable nanometer-scale motion.

Aerotech nanopositioners are offered as stand-alone units, or as part of a complete positioning package that includes Aerotech’s own controls and drives.

Aerotech’s Nanopositioniertische (ANT95-L, ANT95-L-PLUS) mit Kreuzrollenlagern vereinen Geschwindigkeit, Genauigkeit, Auflösung, Wiederholbarkeit, Zuverlässigkeit und kompakte Größe in einem Paket. Sie werden in zwei Genauigkeitsstufen angeboten. Diese Tische sind eine Weiterentwicklung unserer ANT Serie und besitzen bessere Performance als diese. Produktoptimierungen wie 5 g Beschleunigung,Geschwindigkeiten bis 500 mm/s, verbesserte Lastkapazitäten und standadisierte, universelle Bohrbilder erlauben den Einsatz dieses flexiblen Tisches in einem noch weiteren Feld als dem seiner Vorgängerserie ANT.

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Die Serie ANT130-L bietet die beste Geschwindigkeit, Genauigkeit, Auflösung, Wiederholbarkeit, Zuverlässigkeit und Verfahrweg seiner Klasse. Es gibt sie in zwei Genauigkeitsgraden. Das niedrige Profil und die hervorragenden Eigenschaften machen den ANT130-L zur ultimativen Lösung für hochgenaues Ausrichten und Positionieren bei Anwendungen wie Inspektion und Messstationen.

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5 nm Auflösung (die beste seiner Klasse)

Minimale inkrementelle Bewegung des ANT95-L