Nanotechnologie
Vor 40 Jahren gab es in Forschung und Industrie (Luft- und Raumfahrt/Militär) einen Bedarf an manuellen Verstelleinheiten zum Ausrichten und Positionieren von Testequipment mit extrem hoher Auflösung über einen großen linearen oder rotativen Bereich. Dieser Mechanismus musste aber auch eine lange Lebensdauer besitzen. Aerotech erfüllte diese Forderung mit einem neuartigen Produkt - dem patentierten Course and Fine
Adjustment and Positioning Mechanism (US Patent No. 3,727,471).
Dieses Produkt wurde gut angenommen und fortan von allen führenden Forschungseinrichtungen verwendet. Aerotech nahm es in die Produktpalette auf und entwickelte zeitgleich Positioniereinheiten mit einer linearer
Auflösung von 25 Nanometern über 50 mm Verfahrweg und Auflösungen im Sub-Winkelsekundenbereich bei Rotationseinheiten. Diese werden heute noch benutzt.
In den darauffolgenden Jahren wuchsen die Anforderungen im Bereich Positionieren und Ausrichten immer mehr; der Markt verlangte immer bessere Daten bei Genauigkeit, Geschwindigkeit und Auflösung. Aerotech reagierte mit neuartigen und modernsten Technologien, die in Produkten von bis zu 1,5m Verfahrweg, Genauigkeiten im Sub-Mikrometerbereich und
Auflösungen im Nanometerbereich resultierten. Hohe Geschwindigkeit mit hochgenauem Positionieren für maximalen Durchsatz kombinierend, revolutionierten diese Systeme die Produktivität.
Heute kommen diese Bedürfnisse wieder auf: Equipment zu entwickeln das es uns erlaubt, Nanostrukturen über einen großen Bereich zu messen, zu manipulieren, zu beeinflussen und anzusehen. Um dieses Ziel zu erreichen, bietet Aerotech
wieder state-of-the-art Hochpräzisions-Motion Control.
Besuchen Sie unsere Website wieder, denn wir erweitern diese revolutionäre Produktlinie ständig. |
Lineares Positionieren |
| ANT95-L
Kreuzrollengelagerter Nanopositioniertisch |
ANT95-XY
Kreuzrollengelagerter Nanopositioniertisch, Zwei Achsen |
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Aerotech’s
Nanopositioniertische (ANT95-L, ANT95-L-H) mit Kreuzrollenlagern vereinen Geschwindigkeit, Genauigkeit, Auflösung, Wiederholbarkeit, Zuverlässigkeit
und kompakte Größe in einem Paket. Sie werden in zwei Genauigkeitsstufen angeboten.
Diese Tische sind eine Weiterentwicklung unserer ANT Serie und besitzen bessere Performance als diese. Produktoptimierungen wie
5 g Beschleunigung,Geschwindigkeiten bis 500 mm/s, verbesserte Lastkapazitäten und standadisierte, universelle Bohrbilder erlauben den Einsatz dieses flexiblen Tisches in einem noch weiteren Feld
als dem seiner Vorgängerserie ANT.
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Die
Aerotech NanoTranslationstische ANT mit Kreuzrollenlagern, Linearmotor sind XY-Positioniersysteme und die neueste Weiterentwicklung unserer ANT Serie. Der ANT95-XY
und ANT95-XY-H erlauben zweidimensionales Positionieren (X und Y). Das Design ist mit 60mm sehr flach gehalten. Diese Tische sind direktangetrieben, haben kontaktlose Linearencoder, Limits, integriertes Kabelmanagement und sind in zwei Genauigkeitsgraden erhältlich.
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5 nm Auflösung (die beste seiner Klasse)

Minimale inkrementelle Bewegung des ANT95-L |
5 nm Auflösung (die beste seiner Klasse)

Minimale inkrementelle Bewegung des ANT95-XY |
Max
Verfahrweg |
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| Genauigkeit |
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Geschwindigkeit |
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Last |
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Max
Verfahrweg |
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Genauigkeit |
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Geschwindigkeit |
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Last |
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| ANT130-L Kreuzrollengelagerter Nanopositioniertisch |
ANT-130XY Kreuzrollengelagerter Nanopositioniertisch, Zwei Achsen |
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Die Serie ANT130-L bietet die beste Geschwindigkeit, Genauigkeit, Auflösung, Wiederholbarkeit, Zuverlässigkeit und Verfahrweg seiner Klasse. Es gibt sie in zwei Genauigkeitsgraden. Das niedrige Profil und die hervorragenden Eigenschaften machen den ANT130-L zur ultimativen Lösung für hochgenaues Ausrichten und Positionieren bei Anwendungen wie Inspektion und Messstationen.
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Die Aerotech XY-NanoTranslationstische ANT130-XY mit Kreuzrollenlagern, Linearmotoren sind XY-Positioniersysteme und setzen die Entwicklung unserer ANT Serie fort. Der ANT130-XY und der ANT130-XY-H bestehen aus einem Dreiplatten-Design und ermöglichen einen zweidimensionalen (XY) Verfahrbereich. Das Design ist mit 85mm sehr flach gehalten und ist in Verfahrvarianten von 60 x 60 mm, 110 x 110 mm und 160 x 160 mm verfügbar.
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5 nm Auflösung (die beste seiner Klasse)
Minimale inkrementelle Bewegung des ANT130-L |
1 nm Auflösung (die beste seiner Klasse)
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Max
Verfahrweg |
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| Genauigkeit |
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Geschwindigkeit |
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Last |
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Max
Verfahrwegl |
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Genauigkeit |
±250 Nanometer |
Geschwindigkeit |
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Last |
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| ANT95-R Serie Direktangetriebener Rotationstisch |
ANT130-R Serie
Direktangetriebener Rotationstisch |
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Die direkt angetriebenen Rundtische ANT95-R wurden als Teil der Aerotech Nanopositionier-Technologie Familie entwickelt. Unsere Rundtische bieten beispiellose In-Positions-Stabilität (0,05 Winkelsekunden) und kleinste Schrittweiten (0,1 Winkelsekunde).
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Die direkt angetriebenen Rundtische ANT130-R wurden als Teil der Aerotech Nanopositionier-Technologie Familie entwickelt. Unsere Rundtische bieten beispiellose In-Positions-Stabilität (0,05 Winkelsekunden) und kleinste Schrittweiten (0,1 Winkelsekunde).
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5
µrad Auflösung (die beste seiner Klasse)

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5
µrad Auflösung (die beste seiner Klasse)

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Max Apertur |
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| Genauigkeit |
10 Winkelsekunden |
Auflösung |
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Last |
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Max
Apertur |
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Genauigkeit |
10 Winkelsekunden |
Auflösung |
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Last |
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| ANT95-L-Z Serie Vertikaler Nanopsitioniertisch |
ANT130-L-Z Serie Vertikaler Nanopsitioniertisch |
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Aerotech's ANT95 Serie vertikaler Nanopositioniertisch mit Linearmotorantrieb bietet 25 oder 50mm Verfahrweg in Nanometer Performance. In der Kombination von Geschwindigkeit, Genauigkeit, Auflösung, Wiederholbarkeit, Zuverlässigkeit und Platzbedarf bieten die kreuzrollengelagerten ANT95-L-Z und ANT95-L-Z-PLUS das beste was am Markt verfügbar ist. Sie werden in zwei Genauigkeitsabstufungen angeboten.
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Aerotech’s ANT130Serie vertikaler Nanopositioniertisch mit Linearmotorantrieb bietet 35 oder 60 mm Verfahrweg in Nanometer Performance. In der Kombination von Geschwindigkeit, Genauigkeit, Auflösung, Wiederholbarkeit, Zuverlässigkeit und Platzbedarf bieten die kreuzrollengelagerten ANT130-L-Z und ANT130-L-Z-PLUS
das beste was am Markt verfügbar ist. Sie werden in zwei Genauigkeitsabstufungen angeboten.
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Max. Verfahrweg |
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Genauigkeit |
±300 nm |
| Geschwindigkeit |
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Last |
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Max
Travel |
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Genauigkeit |
±300 nm |
Geschwindigkeit |
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Last |
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| ANT-20G Serie Goniometer mit Direktantrieb |
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Die ANT-20G Goniometertische stellen einen bedeutenden Durchbruch in der hochgenauen Winkeljustage optischer Komponenten dar. Dieses einzigartige Design verwendet die Aerotech eigenen direktangetriebenen, kontaktlosen Motoren. Zusammen mit unserer Steuerungs- und Antriebstechnik bieten die ANT-20G Tische eine unschlagbare Positioniergeschwindigkeit von 150 Grad pro Sekunde bei einer Genauigkeit von ±30 µrad.
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5
µrad Auflösung (die beste in seiner Klasse)

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Max. Verfahrweg |
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Genauigkeit |
±30 µrad |
Geschwindigkeit |
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Last |
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