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3 Winkelsekunden räumliche Wiederholbarkeit über die gesamte Arbeitsfläche 4-Achsen XYZ- Theta; schwer belastbare Luftlager mit unübertroffener Momentensteifigkeit Z-Achse: Linearmotor-Luftlagertisch mit Gegengewicht Mehrachs-Steuerung und Bedienstation
