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6-Achsen-Vakuumsystem für 10-6 Torr mit speziellen Fetten und TeflonkabelnT Antrieb über Linearmotoren in X und Y-Richtung, hochpräzise, flüssigkeitsgekühlt, langer Verfahrweg zwei hochpräzise Kardanaufhängungen mit direkt gekoppeltem Rotationsencoder für präzises Positionsfeedback Koordinierte 6 Achsen-Simultanbewegung für Bahnen mit Splines dritten Grades
