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ANT-95-3-V Hubtisch |
ANT-130-5-V Hubtisch |
ANT-4V
Hubtisch |
Aerotech’s ANT95 Serie sind die weltersten Nanometer-Positioniertische
mit mehreren Milllimetern Verfahrweg. Der ANT95-3-V und der ANT95-3-V-PLUS basieren auf einer Schrägverzahnung mit Linearmotorantrieb. Die Tische sind so designed, dass sie sich problemlos mit den anderen der ANT95 Serie integrieren lassen und so eine hervorragende Mehrachs-Performance erreichen.
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Aerotech’s ANT130 Serie sind die weltersten Nanometer-Positioniertische
mit mehreren Milllimetern Verfahrweg. Der ANT130-5-V und der ANT130-5-V-PLUS basieren auf einer Schrägverzahnung mit Linearmotorantrieb. Die Tische sind so designed, dass sie sich problemlos mit den anderen der ANT130 Serie integrieren lassen und so eine hervorragende Mehrachs-Performance erreichen.
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US
Patent 5,731,641. Andere angemeldet.
Der
ANT-4V stellt einen bedeutenden Durchbruch für die vertikale
Justage von hochpräzisen Komponenten dar. Dieser einzigartige
und patentierte Tisch vereint die besten Leistungen in sich:
hohe Geschwindigkeit (50 mm pro Sekunde), hohe Auflösung
(2 nm), hervorragende Positionsstabilität (4 nm) und hohe
Genauigkeit (200 nm).
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Verfahrweg |
3
mm |
Geschwindigkeit |
75
mm/s |
Last |
1.5
kg |
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Verfahrweg |
5
mm |
Geschwindigkeit |
75
mm/s |
Last |
3.0
kg |
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| AVL125
Hubtisch |
AVL1000
Hubtisch |
WaferMax
Z Hubtisch |
US
Patent 5,731,641 Others Pending
Der
AVL125 verbindet einen kontaktlosen Linearmotor als Antrieb,
ein hochgenaues Messsystem mit einem MXH Multiplikator zu 9
nm Auflösung, hoher Geschwindigkeit und Genauigkeit.
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Um
eine hohe laterale and rotative Steifigkeit zu erreichen, macht
sich der AVL1000 sein Keildesign, welches auf sehr steifen Lagern
angebracht ist, zunutze. Alle Bauteile des AVL1000 wurden ausgewählt,
um rund um die Uhr in industriellen Anwendungen betrieben zu
werden. Im Gegensatz zu Spindel- oder Piezoangetriebenen Hubtischen
erfordert der AVL1000 keine Wartung, sondern gewährleistet
viele Jahre einwandfreien Betrieb.
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Der WaferMax Z verkörpert einen bemerkenswerten Durchbruch im Bezug auf vertikale
Ausrichtung von Hochpräzisionsbauteile. Er besticht durch seine kompakte Bauweise und seinen kontaktlosen Linearmotorantrieb mit hochgenauem Encoder für direktes Feedback.
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Verfahrweg |
5
mm |
Geschwindigkeit |
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Last |
10
kg |
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AVS1000
Hubtisch |
AVS100/AVSI100
Hubtisch |
ANT95-L-Z
Vertical Translation Stage |
Die AVS1000 Serie ist die ideale Lösung für Anwendungen, bei denen große oder schwere Lasten über sehr kleine inkrementelle Schritte über einer horizontalen Ebene bewegt werden müssen. Die flache Bauweise und die präzisen Bewegungen machen diesen Tisch ideal für den Gebrauch bei der Halbleiterherstellung und -prüfung, automatisierten Werkstückjustage, Püfständen, Bildverarbeitungssystemen und Lasermaterialbearbeitung.
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Der
AVS100 ist ideal für Anwendungen, die sehr kleine inkrementale
Bewegungen fordern. Die kleine Bauweise zusammen mit der hohen
Präzision der Bewegungen machen den Hubtisch ideal für
die Bereiche Wafer-Inspektion und Test, Glasfasermontage und
Prüfung, automatisierte Werkstückjustage, Bildverarbeitungssysteme
und Lasermaterialbearbeitung.
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The
ANT95 series stages are the world’s first
nanometer-level positioning systems with greater than 25
mm travel. The ANT95-L-Z and ANT95-L-Z-PLUS crossroller
stages are the best-in-class in combining speed,
accuracy, resolution, repeatability, reliability, and size, and
are offered in two accuracy grades. As an evolution of the
popular ANT stage family, these linear stages exhibit
enhanced motion performance over Aerotech’s first
generation ANT series.
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Verfahrweg |
5 mm or 10
mm |
Geschwindigkeit |
20
mm/s |
Last |
135
kg |
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Max
Verfahrweg |
50
mm |
Accuracy |
±300 nm |
Last |
5.0
kg |
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| ANT130-L-Z
Vertical Translation Stage |
ABL1500Z
Air Bearing, Linear Motor Vertical Lift Stage |
Airlift 115
Air-Bearing Vertical Lift Stage |
The ANT130 series stages are the world’s first
nanometer-level positioning systems with greater than 25
mm travel. The ANT130-L-Z and ANT130-L-Z-PLUS
crossed-roller stages are the best-in-class in combining speed,
accuracy, resolution, repeatability, reliability, and size, and
are offered in two accuracy grades. As an evolution of the
popular ANT stage family, these linear stages exhibit
enhanced motion performance over Aerotech’s first
generation ANT series.
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The ABL1500Z is a vertical translation version of the ABL1500
series air-bearing stage. The ABL1500Z is ideally suited for
applications with large offset loads and where extreme
accuracy is required.
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Aerotech’s AirLift 115 series stages offer the ideal solution
for applications that require very stringent Z direction
positioning while maintaining extremely tight angular
performance over full travel. Applications include
semiconductor wafer inspection and testing, noncontact
metrology, optical inspection systems, and laser processing
applications.
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Max
Verfahrweg |
60
mm |
Repeatability |
±300 nm |
Last |
10
kg |
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Verfahrweg |
50, 100, 150, 200
mm |
Geschwindigkeit |
300
mm/s |
Last |
15
kg |
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Verfahrweg |
50, 100, 150
mm |
Geschwindigkeit |
50
mm/s |
Last |
15
kg |
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VTS300 Vertical Translation Stage |
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Aerotech’s VTS300 accurately positions loads up to 450 kg
(1000 lb), and the small volume allows the positioning of high
loads in space-constricted applications. Typical applications
range from step and settle placement to large force generation.
Multiple units can be combined for lift and tip/tilt motion.
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Verfahrweg |
50, 100, 150, 200
mm |
Geschwindigkeit |
5
mm/s |
Last |
450
kg |
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