US
Patent 5,731,641 Others Pending
Der
ANT-4V stellt einen bedeutenden Durchbruch für die vertikale
Justage von hochpräzisen Komponenten dar. Dieser einzigartige
und patentierte Tisch vereint die besten Leistungen in sich:
hohe Geschwindigkeit (50 mm pro Sekunde), hohe Auflösung
(2 nm), hervorragende Positionsstabilität (4 nm) und hohe
Genauigkeit (200 nm).
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US
Patent 5,731,641 Others Pending
Der
AVL125 verbindet einen kontaktlosen Linearmotor als Antrieb,
ein hochgenaues Messsystem mit einem MXH Multiplikator zu 9
nm Auflösung, hoher Geschwindigkeit und Genauigkeit.
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Um
eine hohe laterale and rotative Steifigkeit zu erreichen, macht
sich der AVL1000 sein Keildesign, welches auf sehr steifen Lagern
angebracht ist, zunutze. Alle Bauteile des AVL1000 wurden ausgewählt,
um rund um die Uhr in industriellen Anwendungen betrieben zu
werden. Im Gegensatz zu Spindel- oder Piezoangetriebenen Hubtischen
erfordert der AVL1000 keine Wartung, sondern gewährleistet
viele Jahre einwandfreien Betrieb.
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Der
AVS100 ist ideal für Anwendungen, die sehr kleine inkrementale
Bewegungen fordern. Die kleine Bauweise zusammen mit der hohen
Präzision der Bewegungen machen den Hubtisch ideal für
die Bereiche Wafer-Inspektion und Test, Glasfasermontage und
Prüfung, automatische Werkzeugjustage, Bildverarbeitungssysteme
und Lasermaterialbearbeitung.
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