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ANT95-L Kreuzrollengelagerter Nanopositioniertisch ANT95-XY Kreuzrollengelagerter Nanopositioniertisch, Zwei Achsen ANT-130XY Kreuzrollengelagerter Nanopositioniertisch, Zwei Achsen

Aerotech’s Nanopositioniertische (ANT95-L, ANT95-L-H) mit Kreuzrollenlagern vereinen Geschwindigkeit, Genauigkeit, Auflösung, Wiederholbarkeit, Zuverlässigkeit und kompakte Größe in einem Paket. Sie werden in zwei Genauigkeitsstufen angeboten. Diese Tische sind eine Weiterentwicklung unserer ANT Serie und besitzen bessere Performance als diese. Produktoptimierungen wie 5 g Beschleunigung,Geschwindigkeiten bis 500 mm/s, verbesserte Lastkapazitäten und standadisierte, universelle Bohrbilder erlauben den Einsatz dieses flexiblen Tisches in einem noch weiteren Feld als dem seiner Vorgängerserie ANT.

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Die Aerotech NanoTranslationstische ANT95 mit Kreuzrollenlagern, Linearmotor sind XY-Positioniersysteme und die neueste Weiterentwicklung unserer ANT Serie. Der ANT95-XY und ANT95-XY-H erlauben zweidimensionales Positionieren (X und Y). Das Design ist mit 60mm sehr flach gehalten. Diese Tische sind direktangetrieben, haben kontaktlose Linearencoder, Limits, integriertes Kabelmanagement und sind in zwei Genauigkeitsgraden erhältlich.

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Die NanoTranslationstische ANT130-XY mit Kreuzrollenlagern, Linearmotor sind XY-Positioniersysteme und die neueste Weiterentwicklung unserer ANT Serie. Der ANT130-XY and ANT130-XY-H erlauben zweidimensionales Positionieren (X und Y). Das Design ist mit 85mm sehr flach gehalten. Erhältlich mit folgenden Verfahrwegen: 60 x 60 mm, 110 x 110 mm und 160 x 160 mm.

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Max. Verfahrweg

25 oder 50 mm

Genauigkeit

±250 nm

Last

7.0 kg

Max. Verfahrweg

25 x 25 oder 50 x 50 mm

Genauigkeit

±250 nm

Last

6.0 kg

Max Verfahrweg

60, 110, 160 mm

Genauigkeit

±250 nanometers

Speed

350 mm/s

Load

12 kg


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ANT130-L Kreuzrollengelagerter Nanopositioniertisch ANT95-L-Z Linear Motor Vertical Stage ANT130-L-Z Linear Motor Vertical Stage

Die Serie ANT130-L bietet die beste Geschwindigkeit, Genauigkeit, Auflösung, Wiederholbarkeit, Zuverlässigkeit und Verfahrweg seiner Klasse. Es gibt sie in zwei Genauigkeitsgraden. Das niedrige Profil und die hervorragenden Eigenschaften machen den ANT130-L zur ultimativen Lösung für hochgenaues Ausrichten und Positionieren bei Anwendungen wie Inspektion und Messstationen.

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The ANT95 series stages are the world’s first nanometer-level positioning systems with greater than 25 mm travel. The ANT95-L-Z and ANT95-L-Z-PLUS crossroller stages are the best-in-class in combining speed, accuracy, resolution, repeatability, reliability, and size, and are offered in two accuracy grades. As an evolution of the popular ANT stage family, these linear stages exhibit enhanced motion performance over Aerotech’s first generation ANT series.

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The ANT130 series stages are the world’s first nanometer-level positioning systems with greater than 25 mm travel. The ANT130-L-Z and ANT130-L-Z-PLUS crossed-roller stages are the best-in-class in combining speed, accuracy, resolution, repeatability, reliability, and size, and are offered in two accuracy grades. As an evolution of the popular ANT stage family, these linear stages exhibit enhanced motion performance over Aerotech’s first generation ANT series.

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Max. Verfahrweg

35, 60, 110, 160 mm

Genauigkeit

±250 nm

Last

12.0 kg

Max Verfahrweg

50 mm

Genauigkeit

±300 nm

Last

5.0 kg

Max Verfahrweg

60 mm

Repeatability

±300 nm

Last

10 kg


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ANT180-L Linearmotortisch ALS130H Linearmotortisch ALS130 Linearmotortisch

The ANT180-L continues the expansion of Aerotech’s line of high precision crossed-roller stages. With its sub-nanometer resolution, superior bi-directional repeatability, and exceptional low-velocity performance, it is the ultimate solution for high-accuracy alignment, measurement, scanning, and other demanding applications.

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Der ALS130H bietet Auflösungen im Sub-Nanometerbereich, ausgezeichnete bidirektionale Wiederholbarkeit und außergewöhnliche Performance bei langsamnen Geschwindigkeiten. Dies macht ihn zur beispiellosen Lösung für High-Performance Testen, Messen, Inspektion und weitere anspruchsvolle Applikationen.

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Mit seiner flachen Bauweise und seiner hervorragenden Performance ist der ALS130 die optimale Lösung für hochgenaue Justage- und Kontrollstationen.
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Max Verfahrweg

360 mm

Genauigkeit

±150 nm

Last

30.0 kg

Max. Verfahrweg

150 mm

Wiederholbarkeit

75 nm

Last

12.0 kg

Verfahrweg

150 mm

Genauigkeit

±0.3µm

Belastbarkeit

12.0 kg


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ALS135 Linearmotortisch ALS1000 Lineartisch PRO165LM Lineartisch

Den ALS135 erwartet durch seinen cogging-freien Linearmotor und seinen berührungslosen Glasmaßstab eine lange Lebensdauer. Da sich bei diesem Modell die Magnetschiene bewegt, entfällt das Kabelmanagement.
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Der ALS1000 ist ein kompakter Hochleistungstisch, der ebenso präzise wie vielseitig ist. Er hat einen kleinen Querschnitt, nimmt kleinere Lasten auf und ist eine rentable Alternative für Präzisionsanwendungen, bei denen eine kleine Auflagefläche und Abdeckungen gegen fliegende Partikel benötigt werden.
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The PRO165LM is a high-performance linear motor stage that is as accurate as it is versatile, providing a cost effective alternative for precision applications. A linear motion guide bearing system and high-performance brushless linear servomotor make the PRO165LM the stage of choice in industrial applications such as laser machining, medical component manufacturing, and other applications requiring high accuracy in a production environment.

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Verfahrweg

200 mm

Genauigkeit

±0.3 µm

Belastbarkeit

12 kg

Verfahrweg

450 mm

Genauigkeit

±1.0µm

Belastbarkeit

50 kg

Verfahrweg

100 mm - 1000 mm

Genauigkeit

±4 µm

Belastbarkeit

45 kg


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PRO225LM Lineartisch PRO280LM Lineartisch PRO560LM Lineartisch

The PRO225LM is the medium-sized offering in Aerotech’s PRO-LM series of high performance, cost-effective, and versatile linear motor stages. The PRO225LM is a good alternative to the PRO165LM for applications that require higher stiffness, have larger payloads, or require greater than 1 m of travel. A linear motion guide bearing system and high-performance brushless linear servomotor make the PRO225LM the stage of choice in industrial applications such as laser machining, medical component manufacturing, and other applications requiring high accuracy in a production environment.
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The PRO280LM is the full-sized offering in Aerotech’s PRO-LM series of high performance, cost-effective, and versatile linear motor stages. The PRO280LM is a good alternative to the PRO225LM for applications that require higher thrust force, higher stiffness, or have larger payloads. A linear motion guide bearing system and high performance brushless linear servomotor make the PRO280LM the stage of choice in industrial applications such as laser machining, medical component manufacturing, and other applications requiring high accuracy in a production environment.

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The PRO560LM is the full-sized, wide-body offering in Aerotech’s PRO-LM series of high performance, cost-effective, and versatile linear motor stages. The PRO560LM was designed to be used primarily as the lower axis of a PRO560LM/PRO280LM XY stack, but it may be used anywhere the wider support platform, increased roll stiffness, and extra motor thrust force may be of benefit. The PRO560LM is the stage of choice in industrial applications such as laser machining, medical component manufacturing, and other applications requiring high accuracy in a production environment.

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Max Travel

1500 mm

Accuracy

±1.5 µm

Belastbarkeit

100 kg

Max Travel
1500 mm
Accuracy
±2.0 µm
Belastbarkeit
150 kg
Max Travel
1500 mm
Accuracy
±2.0 µm
Belastbarkeit
150 kg

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ALS3600 Offener-Rahmen-Lineartisch ALS5000 Linearmotortisch ALS5000WB Linearmotortisch

Die Forderung nach einem robusten Offenen Rahmentisch mit hoher Präzision ist mit dem ALS3600 erfüllt. Der Zweiachsen-Offene Rahmentisch mit seinem großen Durchbruch adressiert die Anforderungen aus den Bereichen Mikroskopie, Wafer- und Leiterplatteninspektion und automatisierte Montage.
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Der ALS5000 wurde für die anspruchvollsten Applikationen entwickelt. Ein starrer Boden, versiegelte Metallabdeckungen und ein Hochleistungs-Linearmotor prädestinieren den ALS5000 für jegliche Anwendungen, die hohe Präzision erfordern wie z.B. Lasermaterial- oder Keramikbearbeitung.
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Der ALS5000WB ist die größere Version ALS5000 Tisches. Der Abstand seiner Lager ist doppelt so breit und macht ihn damit ideal für Anwendungen mit schweren, außermittigen Belastungen und großem Verfahrweg. Er wird üblicherweise als untere Achse in einer XY-Kombination verwendet.
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Verfahrweg

400 mm

Genauigkeit

±2.0 µm

Belastbarkeit

90.0 kg

Verfahrweg

1000 mm

Genauigkeit

±1.0 µm

Belastbarkeit

135 kg

Verfahrweg

1000 mm

Genauigkeit

±1.0 µm

Belastbarkeit

135 kg


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ALS20000 Lineartisch ALS25000 Linearmotortisch  

Seine exzellente Geschwindigkeitskonstanz, die geringen Vibrationen, hohe Genauigkeit und sehr hoher Durchsatz machen den ALS20000 zur idealen Lösung für Applikationen wie Imaging- und Präzisionsprüfung.
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Der ALS25000 wurde entwickelt, um Kunden, die geringere Lasten zu bewegen haben, die vollen Vorteile eines Linearmotortisches bieten zu können, der auch in schmutzigen Umgebungen problemlos arbeitet.
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Verfahrweg

600 mm

Genauigkeit

±1.0 µm

Belastbarkeit

70.0 kg

Verfahrweg

600 mm

Genauigkeit

±1.0 µm

Belastbarkeit

70 kg

 

  

 

 
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