Hochgenauer Piezo-Nanopositioniertisch für Mikroskop-Objektive und optische Instrumente

400µm-Closed-Loop- und 450µm-Open-Loop-Stellweg

Hervorragende Schritt- und Einschwingzeiten sowie beste Scan-Leistung

Für Objektive mit hoher numerischer Apertur

Freie Apertur mit 29mm Durchmesser

Aerotechs Nanopositioniertische der Serie Typs QFOCUS® QF-50 ermöglichen eine äußerst genaue Positionierung von Mikroskop-Objektiven und optischen Instrumenten. Sie bieten Stellwege von 400µm in der Closed-Loop-Ausführung bzw. 450µm in der Open-Loop-Ausführung, eine hohe Positioniergeschwindigkeit, eine Linearitätsabweichung von 0,01%, eine Schrittweite im Subnanometerbereich und eine bidirektionale Wiederholbarkeit von 4nm. Der QF-50 kann in Verbindung mit optischen Instrumenten und hochmodernen Prozessen für die Lasermikrobearbeitung eingesetzt werden. Aufgrund seiner hohen strukturellen Steifigkeit können mit dem QF-50 auch Objekte mit hoher numerischer Apertur positioniert werden. Dies ist ein deutlicher Vorteil gegenüber den Nanopositioniertischen des Wettbewerbs. Ein Einsatz des QF-50 bietet sich vor allem dann an, wenn optische Instrumente mit hoher Präzision, hohem Durchsatz und langen Stellwegen positioniert werden.

Äußerste Präzision
Der QFOCUS QF-50 wird durch spielfreie und hochgenaue Führungen positioniert, die mithilfe einer Finite-Elemente-Analyse berechnet und optimiert wurden. Dadurch sind eine hohe Steifigkeit und ein hoher Prozessdurchsatz sowie kurze Closed-Loop-Ansprechzeiten garantiert. Besonderes Augenmerk wurde bei der Konstruktion des QF-50 auf die Festkörpergelenke gelegt. Dadurch können eine beispiellose geometrische Performance sowie Geradheitsfehler von maximal 40nm über den gesamten Stellweg gewährleistet werden.

Direktes Feedback
Für den Closed-Loop-Betrieb können die Positioniertische wahlweise auch mit kapazitiven Sensoren ausgestattet werden. Dadurch werden eine Schrittweite im Subnanometerbereich und eine hohe Linearität gewährleistet. Im Gegensatz zu DMS-Sensoren oder piezoresistiven Sensoren ermöglichen kapazitive Sensoren eine direkte Positionsmessung und garantieren damit höchste Genauigkeit  und Wiederholbarkeit.

Flexible und genaue Steuerung
In Verbindung mit den Steuerungen und Antrieben aus der Q-Serie von Aerotech bieten die QF-50- Nanopositioniertische eine Positionsauflösung im Subnanometerbereich, beste Positionsstabilität (Positionsrauschen) mit einer hohen Positionierbandbreite. Fortschrittliche Software-Pakete wie Aerotechs Dynamic Controls Toolbox und Aerotechs Motion Designer enthalten zahlreiche hocheffiziente, benutzerfreundliche Tools, z. B. eine Iterativ Lernende Regelung (ILR), Harmonic Cancellation sowie das Command Shaping. So können etwaige Tracking-Fehler reduziert und schnellere Schritt- und Einschwingzeiten gewährleistet werden. Optional kann der Positioniertisch auch als OEM-Antrieb bestellt werden.

Flexible Montage
Erhältlich ist der QF-50 mit verschiedenen Gewindeadaptern, so dass er in den meisten Mikroskopen und Objektiven eingesetzt werden kann. Der Objekthalter des Mikroskops kann schnell und einfach positioniert und ausgerichtet werden. Über die Gewindebohrungen im Tischkörper können in den Maschinen oder optischen Instrumenten außerdem zusätzlich benutzerdefinierte Schnittstellen montiert werden. Der QF-50 ist standardmäßig mit einer freien Apertur von 29 mm erhältlich. Darüber hinaus können aber auch kundenspezifische Tischausführungen, Stellwege und Gewindeadapter geliefert werden.