Halbleitermarkt

Fachkompetenzen

  • Dünnschichtinspektion
  • Waferinspektion
  • Rasterkraftmikroskopie
  • Defekterkennung
  • Scannen von Partikeln
  • Röntgenstrahlinspektion
  • Elektrische und magnetische Analyse
  • Maskeninspektion

Aerotech konstruiert und fertigt seit vielen Jahren Bewegungssysteme und Komponenten für Halbleiterprozesse wie Waferkontrolle (Defekterkennung, Messungen, spezielle Abmessungen) und Waferbearbeitung (Wafer-Bumping, Lithographie). Ebenso bieten wir Lösungen für Ihre Vakuumanwendungen wie EUV-Lithographie und Rasterelektronenmikroskopie (SEM) in Form von Standard- oder kundenspezifischen Produkten für Endanwender, Integratoren und OEMs. Aerotech-Produkte stehen für Qualität, Performance, Flexibilität und einen optimalen Kosten-Nutzen-Faktor.

Waferinspektion

Aerotech ist der bevorzugte Lieferant von Komplettsystemen für Waferinspektion. Zum Einsatz kommen planare, luftgelagerte High-End-Bewegungsplattformen bis hin zu integrierten Tischsystemen mit Linearmotorantrieb.

Unsere Produkte und Lösungen:planardl_planardla



Halbleiter

Lithographie

Aerotech bietet mehrere planare High-Performance Luftlagersysteme für Lithographie-Anwendungen, darunter die Systeme PlanarHD und PlanarHDX. Diese Hochleistungstische in Kombination mit modernsten Steuerungsalgorithmen und leistungsstarker Steuerelektronik  sorgen für eine hochdynamische und genaue Positionierung.

Vorgestellte Produkte und Lösungen:planarhdx-andhd


Defekterkennung

Unsere hochpräzisen linearen luftgelagerten Bewegungssysteme und Rotationstische sind die erste Wahl für Makrodefekt-, Partikelkontaminations- und allgemeine Defektmessungen. Lineare Hochgeschwindigkeitstische und die passenden Drehtische in Kombination mit unserer Bewegungssteuerung sorgen für präzise Messungen bei hohem Durchsatz. Ob einfache Radialbewegungen oder genau kontrollierte Spiralinspektionsprofile: Aerotech hat die optimale Tischkombination.

Unsere Produkte und Lösungen:semiconductor_spindles


Rastersondenmikroskopie (SPM)

Viele Inspektionen erfordern eine besonders hohe Performance, nur wenige aber so strikte Leistungsanforderungen wie die Rastersondenmikroskopie (SPM). Daher führt Aerotech mehrere Systemlösungen, die hohe Dynamik, Nanometer-Schrittweiten und  Positionsstabilitäten im einstelligen Nanometerbereich bieten. Die Produktreihe von Aerotech umfasst hochdynamische, direkt angetriebene Piezo-Tische bis hin zu hochpräzisen planaren Luftlagerachsen. In Kombination mit einer Steuerung, die alle Achsen auf einer zentralen, benutzerfreundlichen Plattform regelt, finden Sie bei Aerotech die Gesamtlösung für all Ihre SPM-Anforderungen.

Unsere Produkte und Lösungen:semiconductor page

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Vakuumsysteme

Unsere Erfahrungen mit Vakuumtechnik und unsere vielseitige Produktpalette machen uns zum bevorzugten Partner für vakuumkompatible Bewegungssysteme. Weitere Informationen finden Sie auf unserer Vakuum-Seite.

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Videos

Weitere Informationen über unsere Produkte finden Sie in den Videos in unserer Videothek.