Vakuum

Fachkompetenzen

  • Materialauswahl
  • Oberflächenvorbereitung
  • Eliminierung virtueller Lecks
  • Schmiermittelauswahl
  • Reinigung
  • Ausheizen
  • Handhabung
  • Temperaturmanagement

Der Aerotech-Vakuumvorteil

Die eindrucksvollen Anwendungserfahrungen, der einmalige Produktumfang und die umfassenden technischen Fähigkeiten von Aerotech machen uns zum bevorzugten Partner für vakuumkompatible Bewegungssysteme. Seit Gründung des Unternehmens entwickelt und fertigt Aerotech Bewegungssteuerungs- und Positioniersysteme mit den höchsten verfügbaren Performance-Werten, und unsere vakuumkompatiblen Plattformen bilden da keine Ausnahme. Aerotech stellt seit mehr als 30 Jahren Standard- und kundenspezifische Vakuumsysteme her. Unsere Vakuumanwendungserfahrung umfasst die Bereiche Militär/Luft- und Raumfahrt, Forschung, Halbleiter und Materialverarbeitung. Typische Anwendungsbereiche:
  • EUV-Lithographie
  • Rasterelektronenmikroskopie (SEM)
  • Ionenstrahl-Profilerstellung
  • Beschichtung
  • Testen von Satellitenkomponenten
  • Transmissionselektronenmikroskopie (TEM)
  • Ionenimplantation
  • Optikpolitur
  • Wissenschaftliche Forschung
  • Röntgentomographie
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Kundenspezifische Systeme:
ALS20000/ADRS‑150/ADRS‑150

Aerotech: Ihr Partner erster Wahl für Vakuumbewegungsplattformen


Vakuumkonstruktionserfahrung

Unsere umfassenden Testkapazitäten ermöglichen die volle Qualifizierung aller Bewegungssysteme vor der Lieferung. Aerotech ist ein stark integrierter Lieferant von Bewegungssystemen und in der Lage, das komplette Bewegungssystem vollständig zu optimieren. Für hochdynamische Systeme bietet Aerotech mehrere aktive Kühlungsoptionen, die auf thermischer Modellierung und praktischer Erfahrung basieren.

Für Anwendungen, die Magnetfeldern gegenüber besonders anfällig sind, bietet Aerotech umfassende Erfahrungen mit Methoden zur Magnetfeldschirmung und -eindämmung. Die talentierten und engagierten technischen Mitarbeiter von Aerotech besitzen eine hohe Kompetenz in allen Bereichen der Bewegungstechnologie:

Vakuum Web Page4Kundenspezifisches Hochvakuumsystem mit wassergekühlter Linearmotor-Abtastachse und mit Schrittachse mit Schraubenantrieb

  • Präzisionsmaschinenbau
  • Schwingung und Kontrollen
  • Magnetkreisdesign
  • Leistungselektronikdesign
  • Servosysteme
  • Softwareentwicklung

Anlagen für die Vakuumherstellung

Aerotech verfügt über eine umfassende Fertigungsanlage einschließlich Reinraum der ISO-Klasse 6, die ideale kontrollierte Umgebung zum Bau von UHV-Systemen. Unsere Werkstatt ist für die Herstellung vakuumkompatibler Komponenten in jeder Hinsicht qualifiziert. Wir verfügen über eine Vakuumtestkammer, vollständige Teilereinigungseinrichtungen vor Ort und das nötige, umfassend geschulte und ausgebildete Montage- und Testpersonal.
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Großflächiger Reinraum der ISO-Klasse 6 von Aerotech

Vakuumtisch-Konstruktionselemente


Viele verschiedene Standard-Tischprodukte von Aerotech sind in vakuumvorbereiteten Versionen verfügbar. Zusätzlich zu unseren Standardplattformen stellt Aerotech routinemäßig kundenspezifische Systeme her, die ganz auf anwendungsspezifische Anforderungen zugeschnitten sind. Alle vakuumkompatiblen Bewegungsplattformen von Aerotech minimieren die Pumpenausfall-/stillstandszeit, Kammerverunreinigung und thermische Probleme. Darüber hinaus können in diesen Systemen wichtige Anwendungsaspekte wie die Reduzierung von Magnetfeldern berücksichtigt werden.

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Hochvakuum-Rotationstisch AGR-50 mit unbegrenztem Verfahrweg

Aerotech ist versiert in:

  • Materialauswahl
  • Oberflächenvorbereitung
  • Eliminierung virtueller Lecks
  • Schmiermittelauswahl
  • Reinigung
  • Ausheizen
  • Handhabung
  • Temperaturmanagement
  • Magnetfeldkontrolle
  • Verpackung

Von Aerotech verfügbare Vakuumoptionen

Stufe Torr mBar kPa
Niedrigvakuum (VAC3) 1,0 x 10-3 1,3 x 10-3 1,3 x 10-4
Hochvakuum (VAC6) 1,0 x 10-6 1,3 x 10-6 1,3 x 10-7
Ultrahochvakuum (UHV) ≤1,0 x 10-7 ≤1,3 x 10-7 ≤1,3 x 10-8

Materialauswahl

Weil die akzeptablen Materialien je nach Vakuumstufe, Anwendung, Betriebstemperatur usw. variieren, bietet Aerotech eine Vielzahl von Optionen, die den Gesamtmasseverlust (TML) und die aufgefangenen flüchtigen, kondensierbaren Anteile (CVCM) steuern.

Schmierstoffe: Die ausgewählten Schmierstoffe haben einen geringen Dampfdruck, sodass sie mit der Vakuumstufe und dem Kundenprozess kompatibel sind.
Kabelmanagementsystem (CMS): CMS-Produkte und Materialien verwenden in der Regel mit Teflon® isolierte Leiter (MIL-C-27500) oder Kapton sowie spezielle elektrische Anschlüsse, die verschiedene Materialien einschließlich PEEK™ einsetzen. Viele verschiedene Anschlussoptionen verfügbar.
Oberflächenausführung: Für die Oberflächenausführung werden folgende Optionen angeboten: blankes Aluminium, chemische Vernickelung, rostfreier Stahl und vakuumkompatible Lackierung (Aeroglaze Z306).
RGA-RGA-Plot eines XY-Systems

Hardware: Die Systeme verwenden Hindurchführungen oder entlüftete Befestigungsteile aus rostfreiem Stahl für alle Sackbohrungen.

Aerotech arbeitet stets sehr eng mit seinen Kunden zusammen, damit das System alle Ausgasanforderungen erfüllt oder übertrifft.

Konstruktionselemente


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Kundenspezifischer Linear-Aktuator, Hochvakuum, mit 1 m Verfahrweg

Temperaturmanagement

Das Temperaturmanagement ist bei Vakuum Web Page10Vakuumsystemen besonders wichtig, weil sie sich für die Ableitung der Wärme von Motoren und Lagern nicht auf die Konvektion verlassen können. Ohne geeignete Temperaturmanagement-Methoden kann die Tisch-Performance beeinträchtigt und die Lebensdauer im Vergleich zu einem in einer Atmosphärenumgebung betriebenen, äquivalenten System reduziert werden. Deshalb ist Aerotech besonders bemüht, thermische Isolierungsmethoden und passive sowie aktive Kühlverfahren zu entwickeln. Diese Techniken maximieren die Leit- und Strahlungsmodi der Kühlung und reduzieren oder eliminieren die Auswirkungen von Wärmequellen im Innern der Kammer.

Servomotoren

Das Design von Linear- und Servodrehmotoren ist für den Vakuumsystembetrieb von größter Bedeutung, weil es sich dabei um die primäre Wärmequelle handelt. Deswegen entwickelt und baut Aerotech Motoren, die speziell Probleme von Motoren in einem Vakuum bekämpfen. Von Spezialkonstruktionsmaterialen bis zum Design magnetischer Kreise werden Aerotech-Servomotoren auf minimales Ausgasen, hohe Kraft/Drehzahl pro Einheitsvolumen und eine lange Lebensdauer optimiert.

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UHV NEMA 23 (BMS60) Rotationsmotor

Aerotech-High-Vacuum-Systems-New

Magnetfeldmessung über eine Zielzone mit einem Durchmesser von 300 mm
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