ANT130V-5 Mechanisch gelagerter Hubtisch mit Direktantrieb, 5 mm Travel

Produktbeschreibung

Design Features

  • Nanometer-Performance mit vertikalem 5-mm-Verfahrweg
  • Hohe Auflösung (2 nm), Wiederholbarkeit (100 nm) und Genauigkeit (200 nm)
  • <2 nm Positionsstabilität
  • Kreuzrollenlager mit Kriechschutz
  • Hohe dynamische Performance

Einführung

Die ANT-Tische von Aerotech sind die weltweit ersten Positionierungssysteme auf Nanometerebene mit mehreren Millimetern Verfahrweg. Der ANT130V-5 und der ANT130V-5-PLUS sind Vertikalhubtische mit Linearmotorantrieb in Keilbauweise. Die Tische sind auf die nahtlose Integration mit anderen Tischen in der Produktreihe ANT130 ausgelegt, bieten eine ausgezeichnete Mehrachsenleistung und werden in zwei Genauigkeitsgraden angeboten.

Berührungsloser Direktantrieb

Bei der Produktreihe ANT130V-5 wurden alle Vorteile des Direktantriebs von der ursprünglichen ANT-Serie übernommen. Nur eine berührungslose Direktantriebstechnologie bietet die robuste, präzise Hochgeschwindigkeits-Positionierung, die für die Massenfertigung von Präzisionsbauteilen erforderlich ist. Der ANT130V-5 verwendet eine hochmoderne Direktantriebstechnik, die von Aerotech entwickelt wurde und eine extrem hohe Positionierungsleistung erzielt. Diese Direktantriebstechnik bietet eine hohe Performance, ist cogging-frei und berührungslos; ferner bietet sie hohe Geschwindigkeiten und eine hohe Auflösung und Präzision. Die einzigartige, extrem kompakte Antriebs-Lager-Kombination mit kleiner Stellfläche bietet deutliche Vorteile in vielen Anwendungen wie Hochpräzisions-Positionierung, Festplattenherstellung, Faserausrichtung, Aktivierung optischer Verzögerungsglieder, Sensorprüfungen und Rasteruntersuchungsverfahren, die eine gleichmäßige und präzise Bewegung erfordern.

Flexible Systemauslegung

Die Produktreihe ANT130V-5 hat universelle Montage- und Verfahrschlittenmuster für eine einfache Systemintegration. Zwei, drei oder mehr Achsen können ganz einfach kombiniert werden und ermöglichen flexible Systemauslegungen sowie Mehrachsenkonfigurationen.

Systemeigenschaften

Extreme Genauigkeit, Positionswiederholbarkeit und Positionsstabilität erfordern eine hohe Systemauflösung. Die branchenführende inkrementelle Mindestschrittgröße des ANT130V-5 von 2 nm bietet einen besonders hohen Performance-Grad. Die hervorragende Positionsstabilität wird unterstützt von hochwertigen Kreuzrollenlagern mit Kriechschutz. Der Tisch zeichnet sich durch einen praktisch wartungsfreien Betrieb über die gesamte Lebensdauer aus. Die Direktantriebstechnik ist hysterese- und umkehrspielfrei und ermöglicht genaue und wiederholbare Bewegungen im Nanometerbereich.

Spezifikationen

ANT130-5-V - Spezifikationen

ModellANT130V-5
Verfahrweg 5 mm
Genauigkeit(1) Grundlegend ±2 µm
  PLUS ±200 nm
Auflösung 2 nm
Bidirektionale Wiederholbarkeit(1) Grundlegend ±150 nm
PLUS ±100 nm
Unidirektionale Wiederholbarkeit ±75 nm
Geradheit(2) ±1,0 µm
Nicken(1) 20 Winkelsekunden
Rollen 10 Winkelsekunden
Gieren(1) 10 Winkelsekunden
Max. Geschwindigkeit 75 mm/s
Max. Beschleunigung 0,7 g (ohne Last)
Einschwingzeit Für die typische Performance siehe Grafik
Positionsstabilität(3) <2 nm
Max. Kraft (kontinuierlich) 100 N
Tragfähigkeit(4) 3,0 kg
Bewegte Masse 1,8 kg
Tischmasse 3,1 kg
Material Aluminiumkörper/schwarze Hartstoffbeschichtung/schwarz eloxiert
MTBF (Mean Time Between Failure, mittlere Betriebsdauer zwischen Ausfällen) 30.000 Stunden
  1. Bei jedem Tisch geprüft.
  2. Senkrecht oder parallel zur Keilrichtung gemessen.
  3. Angegebene Positionsstabilität ist 3-Sigma-Wert.
  4. Setzt eine Last entlang der Verfahrachse voraus.
  5. Die Spezifikationen gelten pro Achse, 25 mm über dem Verfahrschlitten gemessen. Die Performance von Mehrachsensystemen hängt von der Last und vom Arbeitspunkt ab. Informationen zu mehrachsigen und Sonderanwendungen erhalten Sie direkt beim Hersteller.
  6. -PLUS kann nur mit einer Aerotech-Steuerung genutzt werden.

Elektrische Daten

Antriebssystem Bürstenloser Linearservomotor
Feedback Berührungsloser Linear-Encoder
Maximale Busspannung ±40 V DC
Endschalter 5 V, Öffner
Referenzpunktschalter Nähe Mitte

Empfohlene Steuerung

Mehrere Achsen A3200 Npaq MXR
Npaq MR-MXH
Ndrive ML-MXH
Ensemble Epaq MXH
Epaq MR-MXH
Ensemble ML-MXH
Einzelachse Soloist Soloist ML-MXH
  1. Die angegebenen Spezifikationen werden nur mit einem Linearverstärker erreicht. Zusätzlich sind weitere Optionen verfügbar.

Hinweis: Um die Einhaltung und Wiederholbarkeit der Spezifikationen über längere Zeit zu gewährleisten, muss die Umgebungstemperatur auf einen Wert innerhalb von 0,25 °C/24 Stunden geregelt werden. Ist dies nicht möglich, stehen Alternativprodukte zur Verfügung. Weitere Informationen erhalten Sie von Aerotech Sales Engineering.

  • ANT130V-5-Plus Step Plot
  • ANT130V-5 Performance Graphs

Maße

Bestellinformationen

Direkt angetriebener Einzelachsen-Nanopositionierungstisch ANT130V-5, 5 mm Verfahrweg

Stecker (erforderlich)

OptionBeschreibung
-CN1 Einzelner Stecker, 25DU für Motor/Fbk
-CN2 Zwei Stecker, 4DU Motor, 25DU Fbk
    Hinweis: Der optionale einfache 25-polige Stecker 25DU ist nicht für Systeme mit Busspannungen über 80 V geeignet.

Montageplatte (optional)

OptionBeschreibung
-MP Montageplatte

Performance-Grad (erforderlich)

OptionBeschreibung
-PL1 Basis-Performance
-PL2 Hochpräzisions-Performance, PLUS

Integration (erforderlich)

Aerotech bietet sowohl Standard- als auch benutzerdefinierte Integrationsleistungen, damit Ihr System so schnell wie möglich betriebstüchtig ist. Für dieses System stehen folgende Standardintegrationsoptionen zur Verfügung. Wenn Sie sich nicht sicher sind, welche Integrationsstufe Sie benötigen, oder benutzerdefinierten Integrationssupport mit Ihrem System wünschen, wenden Sie sich bitte an Aerotech.

OptionBeschreibung
-TAS Integration – Test as System (als System testen)
Testen, Integration und Dokumentation einer Gruppe von Komponenten als Komplettsystem, das zusammen verwendet wird (z. B. Antrieb, Steuerung und Tisch). Dies umfasst Parameterdatei-Erstellung, Systemfeineinstellung und Dokumentation der Systemkonfiguration.
-TAC Integration – Test as Components (einzelne Komponenten testen)
Testen und Integration der einzelnen Bestandteile als eigene Komponenten. Wird in der Regel für Ersatzteile oder Artikel verwendet, die nicht zusammen verwendet werden (z. B. nur Tisch). Diese Komponenten können Teil eines größeren Systems sein, müssen aber nicht.