ANT95LZ Mechanisch gelagerter Z-Achsen-Tisch mit Direktantrieb

Produktbeschreibung

Design Features

  • Nanometer-Performance bei gleichzeitig großem Verfahrweg (25 und 50 mm)
  • Hohe Auflösung (2 nm), Wiederholbarkeit (75 nm) und Genauigkeit (300 nm)
  • <2 nm Positionsstabilität
  • Kreuzrollenlager mit Kriechschutz
  • Hohe dynamische Performance

Einführung

Die Kreuzrollentische ANT95LZ bieten die beste Kombination aus Geschwindigkeit mit hoher Präzision, Auflösung, Wiederholbarkeit, Zuverlässigkeit und Größe und werden darüber hinaus in zwei verschiedenen Genauigkeitsstufen angeboten.

Berührungsloser Direktantrieb

Nur ein berührungsloser Direktantrieb bietet die robuste, präzise Hochgeschwindigkeits-Positionierung, die für die Massenfertigung von Präzisionsbauteilen erforderlich ist. Die Tische der Serie ANT95LZ arbeiten mit einem modernen, von Aerotech entwickelten Direktantrieb und erreichen eine sehr gute Positionierungsleistung für hochpräzise Positionierung, Festplattenherstellung, Faserausrichtung, Aktivierung optischer Verzögerungsglieder, Sensorprüfungen und Rasteruntersuchungsverfahren, die eine gleichmäßige und präzise Bewegung erfordern.

Die Tische der Serie ANT95LZ besitzen einen nahezu reibungsfreien Mechanismus zum Gewichtsausgleich, der hohe Performance-Werte bei gleichbleibend geringer Motorerwärmung ermöglicht. Das Ausgleichsgewicht ist vom Anwender auf 0 bis 5 kg einstellbar.

Flexible Systemauslegung

Die Produktreihe ANT95LZ weist universelle Montage- und Verfahrschlittenmuster auf, die eine einfache Systemintegration ermöglichen. Zwei, drei oder mehr Achsen können ganz einfach kombiniert werden und ermöglichen flexible Systemauslegungen sowie mehrachsige Konfigurationen.

Systemeigenschaften

Extreme Genauigkeit, Positionswiederholbarkeit und Positionsstabilität erfordern eine hohe Systemauflösung. Die branchenführende inkrementelle Mindestschrittweite des ANT95LZ von 2 nm bietet eine besonders hohe Performance. Die hervorragende Positionsstabilität wird von hochwertigen Kreuzrollenlagern mit Kriechschutz unterstützt. Der Tisch zeichnet sich durch einen praktisch wartungsfreien Betrieb über seine gesamte Lebensdauer aus. Die Direktantriebstechnologie ist hysterese- und umkehrspielfrei und ermöglicht genaue und wiederholbare Bewegungen im Nanometerbereich.

Spezifikationen

Mechanische Spezifikationen

ModellANT95LZ-025ANT95LZ-050
Verfahrweg 25 mm 50 mm
Genauigkeit(1) Grundlegend ±4.0 µm ±4.0 µm
PLUS ±300 nm ±300 nm
Auflösung (minimale Inkrementbewegung) 2 nm 2 nm
Bidirektionale Wiederholbarkeit(1) Grundlegend ±100 nm ±100 nm
PLUS ±75 nm ±75 nm
Unidirectional Repeatability ±50 nm ±50 nm
Geradheit(1) ±2.25 µm ±3.0 µm
Ebenheit(1) ±3.5 µm ±4.0 µm
Nicken 10 Winkelsekunden 10 Winkelsekunden
Rollen 10 Winkelsekunden 10 Winkelsekunden
Yaw 5 Winkelsekunden 5 Winkelsekunden
Max. Geschwindigkeit 200 mm/s 200 mm/s
Max. Beschleunigung 1 g (ohne Last) 1 g (ohne Last)
Positionsstabilität(2) <2 nm <2 nm
Max. Kraft (kontinuierlich) 7,75 N 9,5 N
Tragfähigkeit(3) Vertikal 5,0 kg 5,0 kg
Bewegte Masse 0,46 kg 0,52 kg
Tischmasse 1,9 kg 2,5 kg
Material Aluminiumkörper/schwarze Hartstoffbeschichtung
MTBF (Mean Time Between Failure, mittlere Betriebsdauer zwischen Ausfällen) 30.000 Stunden
  1. Bei jedem Tisch geprüft.
  2. Angegebenes Positionsrauschen ist 3-Sigma-Wert.
  3. Achsenorientierung für Achsenbelastung wird aufgeführt.
  4. Die Versorgungsluft muss sauber, trocken bis -17,8° C Taupunkt und auf 0,25 µm oder feiner gefiltert sein; Stickstoff mit einer Reinheit von 99,9 % wird empfohlen. Der benötigte Luftdruck ist abhängig von der Traglast des Tisches.

• Die technischen Daten gelten für Einzelachsensysteme, gemessen bei 25 mm über dem Verfahrschlitten. Die Performance bei kombinierten mehrachsigen Systemen ist abhängig von Last und Arbeitspunkt. Wenden Sie sich bezüglich mehrachsiger und nicht standardmäßiger Anwendungen an das Werk.
• -PLUS erfordert Verwendung einer Aerotech-Steuerung.

Elektrische Daten

Antriebssystem Bürstenloser Linearservomotor
Feedback Berührungsloser Linear-Encoder
Maximale Busspannung ±40 VDC
Endschalter 5 V, Öffner
Referenzpunktschalter Nähe Mitte

Empfohlene Steuerungen

Mehrere Achsen A3200 Npaq MXR
Npaq MR-MXH
Ndrive ML-MXH
Ensemble Epaq MXH
Epaq MR-MXH
Ensemble ML-MXH
Einzelachse Soloist Soloist ML-MXH
  1. Die angegebenen Spezifikationen werden nur mit einem Linearverstärker erreicht. Zusätzlich sind weitere Optionen verfügbar.

Hinweis: Um die Einhaltung und Wiederholbarkeit der Spezifikationen über längere Zeit zu gewährleisten, muss die Umgebungstemperatur auf einen Wert innerhalb von 0,25 °C/24 Stunden geregelt werden. Ist dies nicht möglich, stehen Alternativprodukte zur Verfügung. Weitere Informationen erhalten Sie bei Aerotech.

  • ANT95LZ Step Plot
  • ANT95LZ Performance Graphs

Maße

Bestellinformationen

Direkt angetriebener Einzelachsen-Z-Nanopositioniertisch ANT95LZ

Verfahrweg (erforderlich)

OptionBeschreibung
-025 25 mm Verfahrweg
-050 50 mm Verfahrweg

Kabelausrichtung (erforderlich)

OptionBeschreibung
-CBL1 Kabelabgang rechts
-CBL2 Kabelabgang links

Performance-Grad (erforderlich)

OptionBeschreibung
-PL1 Basis-Performance
-PL2 Hochpräzisions-Performance, PLUS

Integration (erforderlich)

Aerotech bietet sowohl Standard- als auch benutzerdefinierte Integrationsleistungen, damit Ihr System so schnell wie möglich betriebstüchtig ist. Für dieses System stehen folgende Standardintegrationsoptionen zur Verfügung. Wenn Sie sich nicht sicher sind, welche Integrationsstufe Sie benötigen, oder benutzerdefinierten Integrationssupport mit Ihrem System wünschen, wenden Sie sich bitte an Aerotech.

OptionBeschreibung
-TAS Integration – Test as System (als System testen)
Testen, Integration und Dokumentation einer Gruppe von Komponenten als Komplettsystem, das zusammen verwendet wird (z. B. Antrieb, Steuerung und Tisch). Dies umfasst Parameterdatei-Erstellung, Systemfeineinstellung und Dokumentation der Systemkonfiguration.
-TAC Integration – Test as Components (einzelne Komponenten testen)
Testen und Integration der einzelnen Bestandteile als eigene Komponenten. Wird in der Regel für Ersatzteile oder Artikel verwendet, die nicht zusammen verwendet werden (z. B. nur Tisch). Diese Komponenten können Teil eines größeren Systems sein, müssen aber nicht.