ANT130L Direkt angetriebener Lineartisch mit mechanischen Lagern

Produktbeschreibung

Design Features

  • Performance im Nanometerbereich bei großem Verfahrwegformat
  • Hohe Auflösung (1 nm), Wiederholbarkeit (75 nm) und Genauigkeit (250 nm)
  • Positionsstabilität von <1 nm
  • Kreuzrollenlager mit Kriechsperre
  • Hohe dynamische Performance
  • Große Auswahl - 8 Modelle mit verschiedenen Verfahrwegen und Genauigkeiten

Die Tische der Serie ANT130L bieten eine Performance im Nanometerbereich bei Verfahrwegen bis 160 mm. Mit seinem Niedrigprofil und seinen hervorragenden Leistungsmerkmalen ist der ANT130L die ultimative Lösung für Hochpräzisions-Ausrichtungs-, Inspektions-, Positionierungs- und Messstationen.

Berührungsloser Direktantrieb

Der Linearmotorantrieb bietet auch den Vorteil höherer Geschwindigkeiten und Beschleunigungen. Der kompakte, aber leistungsstarke Linearmotor bringt den ANT130L auf eine Spitzenbeschleunigung ohne Last von 1 g und eine maximale Geschwindigkeit von 350 mm/s. Das Ergebnis: ein hochgenaues Gerät mit hervorragendem Durchsatz, das die Performance vergleichbarer spindelgetriebener Hochpräzisionstische oder anderer Tische seiner Klasse signifikant übertrifft.

Hervorragende Auflösung

Für Ausrichtungsanwendungen ist eine hervorragende Schritt-für-Schritt-Auflösung unabdingbar. Der ANT130L erfüllt diese Anforderungen mit einer inkrementellen Schrittweite von 1 nm in Verbindung mit Antrieben und Steuerungen von Aerotech. Der direkt angetriebene Linearmotor ermöglicht dem ANT130L präzise, kleine Auflösungsschritte. Das ist besonders bei Ausrichtungsanwendungen wichtig, bei denen es besonders auf die Schrittgenauigkeit ankommt.

Lange Lebensdauer

Wie alle Tische der Aerotech-Produktreihe ist der ANT130L auf eine hervorragende Performance über lange Zeit ausgelegt. Sowohl der Linearmotor als auch der Linear-Encoder sind berührungslose Geräte, was bedeutet, dass sie nicht nur eine lange Lebensdauer bieten, sondern auch völlig wartungsfrei sind.

Präzisionsausrichtung

Tische der Serie ANT130L können einfach als XY-Baugruppen konfiguriert werden. Zu den angebotenen Optionen gehören Rechtwinkligkeits-Präzisionsausrichtung auf 5 Winkelsekunden und vertikale Achslösungen.

Spezifikationen

Mechanische Spezifikationen

ModellANT130L-035ANT130L-060
Verfahrweg 35 mm 60 mm
Genauigkeit(1) Grundlegend ±2 µm ±2 µm
PLUS ±250 nm ±250 nm
Auflösung (minimale Inkrementbewegung) 1 nm 1 nm
Wiederholbarkeit (bidirektional)(1) Grundlegend ±100 nm ±100 nm
PLUS ±75 nm ±75 nm
Wiederholbarkeit (unidirektional) ±25 nm ±25 nm
Geradheit(1) ±1.0 µm ±1.0 µm
Ebenheit(1) ±1.0 µm ±1.0 µm
Nicken 10 Winkelsek. 10 Winkelsek.
Rollen 10 Winkelsek. 10 Winkelsek.
Yaw 5 Winkelsek. 5 Winkelsek.
Max. Geschwindigkeit 350 mm/s 350 mm/s
Max. Beschleunigung 1 g (ohne Last) 1 g (ohne Last)
Geschwindigkeitsstabilität Für die typische Performance siehe Grafik
Einschwingzeit Für die typische Performance siehe Grafik
Positionsstabilität(2) <1 nm <1 nm
Max. Kraft (kontinuierlich) 23 N 23 N
Tragfähigkeit(3) Horizontal 12,0 kg 12,0 kg
Seitlich 10 kg 10 kg
Bewegte Masse 1,2 kg 1,4 kg
Tischmasse 2,1 kg 2,5 kg
Material Aluminiumkörper/schwarze Hartstoffbeschichtung
MTBF (Mean Time Between Failure, mittlere Betriebsdauer zwischen Ausfällen) 30.000 Stunden
  1. Bei jedem Tisch geprüft.
  2. Angegebenes Positionsrauschen ist 3-Sigma-Wert.
  3. Achsenorientierung für Achslast wird aufgeführt.
  • Spezifikationen gelten für Einzelachsensysteme, gemessen bei 25 mm über dem Verfahrschlitten. Performance von kombinierten mehrachsigen Systemen hängt von der Last und vom Arbeitspunkt ab. Wenden Sie sich bezüglich mehrachsiger und nicht standardmäßiger Anwendungen an Aerotech.
  • -PLUS kann nur mit einer Aerotech-Steuerung genutzt werden.
ModellANT130L-110ANT130L-160
Verfahrweg 110 mm 160 mm
Genauigkeit(1) Grundlegend ±3 µm ±4 µm
PLUS ±300 nm ±300 nm
Auflösung (minimale Inkrementbewegung) 1 nm 1 nm
Wiederholbarkeit (bidirektional)(1) Grundlegend ±100 nm ±100 nm
PLUS ±75 nm ±75 nm
Wiederholbarkeit (unidirektional) ±25 nm ±25 nm
Geradheit(1) ±1.0 µm ±1.5 µm
Ebenheit(1) ±1.0 µm ±1.5 µm
Nicken 10 Winkelsekunden 10 Winkelsekunden
Rollen 10 Winkelsekunden 10 Winkelsekunden
Yaw 5 Winkelsekunden 5 Winkelsekunden
Max. Geschwindigkeit 350 mm/s 350 mm/s
Max. Beschleunigung 1 g (ohne Last) 1 g (ohne Last)
Geschwindigkeitsstabilität Für die typische Performance siehe Grafik
Einschwingzeit Für die typische Performance siehe Grafik
Positionsstabilität(2) <1 nm <1 nm
Max. Kraft (kontinuierlich) 23 N 23 N
Tragfähigkeit(3) Horizontal 12,0 kg 12,0 kg
Seitlich 10 kg 10 kg
Bewegte Masse 1,9 kg 2,3 kg
Tischmasse 3,3 kg 3,9 kg
Material Aluminiumkörper/schwarze Hartstoffbeschichtung
MTBF (Mean Time Between Failure, mittlere Betriebsdauer zwischen Ausfällen) 30.000 Stunden
  1. Bei jedem Tisch geprüft.
  2. Angegebenes Positionsrauschen ist 3-Sigma-Wert.
  3. Achsenorientierung für Achslast wird aufgeführt.
  • Spezifikationen gelten für Einzelachsensysteme, gemessen bei 25 mm über dem Verfahrschlitten. Performance von kombinierten mehrachsigen Systemen hängt von der Last und vom Arbeitspunkt ab. Wenden Sie sich bezüglich mehrachsiger und nicht standardmäßiger Anwendungen an Aerotech.
  • -PLUS erfordert die Verwendung einer Aerotech-Steuerung.

Elektrische Daten

Antriebssystem Bürstenloser Linearservomotor
Feedback Berührungsloser Linear-Encoder
Max. Busspannung 320 VDC (-4DU-25DU), 80 VDC (-25DU)
Endschalter 5 V, Öffner
Referenzpunktschalter Nähe Mitte

Empfohlene Steuerung

Mehrere Achsen A3200 Npaq MXR
Npaq MR-MXH
Ndrive ML-MXH
Ensemble Epaq MXH
Epaq MR-MXH
Ensemble ML-MXH
Einzelachse Soloist Soloist ML-MXH
  1. Linearverstärker erforderlich, um die angegebenen Spezifikationen zu erfüllen. Zusätzlich sind weitere Optionen verfügbar.

Hinweis: Um die Einhaltung und Wiederholbarkeit der Spezifikationen über längere Zeit zu gewährleisten, muss die Umgebungstemperatur auf einen Wert innerhalb von 0,25 °C/24 Stunden geregelt werden. Ist dies nicht möglich, stehen Alternativprodukte zur Verfügung. Weitere Informationen erhalten Sie bei Aerotech.

  • ANT130L Step Plot
  • ANT130L Performance Graphs

Maße

Bestellinformationen

Direkt angetriebener Einzelachsen-Nanopositioniertisch der Serie ANT130L

Verfahrweg (erforderlich)

OptionBeschreibung
-035 35 mm Verfahrweg
-060 60 mm Verfahrweg
-110 110 mm Verfahrweg
-160 160 mm Verfahrweg

Stecker (erforderlich)

OptionBeschreibung
-CN1 Einfacher 25-poliger D-Stecker, 25DU
-CN2 Zwei Stecker, 4-poliger HPD- und 25-poliger D-Stecker, 4DU-25DU
    Hinweis: CN1-Option ist nicht für Systeme mit Busspannungen über 80 V geeignet.

Montageplatte (optional)

OptionBeschreibung
-MP Montageplatte

Performance-Grad (erforderlich)

OptionBeschreibung
-PL1 Basis-Performance
-PL2 Hochpräzisions-Performance, PLUSn)

Integration (erforderlich)

Aerotech bietet sowohl Standard- als auch benutzerdefinierte Integrationsleistungen, damit Ihr System so schnell wie möglich betriebstüchtig ist. Für dieses System stehen folgende Standardintegrationsoptionen zur Verfügung. Wenn Sie sich nicht sicher sind, welche Integrationsstufe Sie benötigen, oder benutzerdefinierten Integrationssupport mit Ihrem System wünschen, wenden Sie sich bitte an Aerotech.
-TAS Integration – Test as System (als System testen)
Testen, Integration und Dokumentation einer Gruppe von Komponenten als Komplettsystem, das zusammen verwendet wird (z. B. Antrieb, Steuerung und Tisch). Dies umfasst Parameterdatei-Erstellung, Systemfeineinstellung und Dokumentation der Systemkonfiguration.
-TAC Integration – Test as Components (einzelne Komponenten testen)
Testen und Integration der einzelnen Bestandteile als eigene Komponenten. Wird in der Regel für Ersatzteile oder Artikel verwendet, die nicht zusammen verwendet werden (z. B. nur Tisch). Diese Komponenten können Teil eines größeren Systems sein, müssen aber nicht.