ANT95L Direkt angetriebener Lineartisch mit mechanischen Lagern

Produktbeschreibung

Design Features

  • >Performance im Nanometerbereich bei großen Verfahrwegen
  • Hohe Auflösung (1 nm), Wiederholbarkeit (75 nm) und Genauigkeit (250 nm)
  • Positionsstabilität von <1 nm
  • Kreuzrollenlager mit Kriechschutz
  • Hohe dynamische Performance

Einführung

Die Tischserie ANT95L von Aerotech stellt die ersten Positioniersysteme auf Nanometer-Ebene mit einem Verfahrweg von mehr als 25 mm dar. Die Kreuzrollentische ANT95L und ANT950L-PLUS sind Best-in-Class-Tische und kombinieren Geschwindigkeit, Präzision, Auflösung, Wiederholbarkeit, Zuverlässigkeit und Größe und werden auch in zwei verschiedenen Genauigkeitsgraden angeboten. Diese Lineartische weisen eine Beschleunigung von bis zu 5 g auf, eine Geschwindigkeit von bis zu 500 m/s sowie eine erweiterte Tragfähigkeit. Sie sind mit standardisierten, universellen Grundplatten-Bohrbildern lieferbar, wodurch sie in einer Vielzahl verschiedener Konfigurationen verwendet werden können.

Berührungsloser Direktantrieb

Nur eine berührungslose Direktantriebstechnologie bietet die robuste, präzise Hochgeschwindigkeits-Positionierung, die für die Massenfertigung von Präzisionsgeräten erforderlich ist. ANT95L-Tische verwenden eine neu von Aerotech entwickelte, fortgeschrittene Direktantriebstechnologie, um eine möglichst hohe Positionierungsleistung zu erzielen. Diese Direktantriebstechnologie bietet hohe Performance, ist coggingfrei, berührungslos, bietet hohe Geschwindigkeiten, eine hohe Auflösung und genaue Präzision. Die einzigartige Antriebs-Lager-Kombination mit extrem kleinem Profil und geringer Stellfläche bietet deutliche Vorteile in vielen Anwendungen wie Hochpräzisions-Positionierung, Laufwerksherstellung, Faserausrichtung, Aktivierung optischer Verzögerungselemente, Sensortests und Scanprozesse, die eine gleichmäßige und präzise Bewegung erfordern.

Flexibles Systemdesign

Die Produktreihe ANT95L weist universelle Montage- und Verfahrschlittenmuster auf, die eine einfache Systemintegration ermöglichen. Zwei, drei oder mehr Achsen können ganz einfach kombiniert werden, um flexible Systemdesigns und mehrachsige Konfigurationen zu ermöglichen.

Systemmerkmale

Hervorragende Genauigkeit, Positionswiederholbarkeit und Positionsstabilität erfordern eine hohe Systemauflösung. Die branchenführende inkrementelle Mindesttischgröße des ANT95L von 1 nm bietet eine besonders hohe Performance. Die Direktantriebstechnologie ist hysterese- und umkehrspielfrei und ermöglicht genaue und wiederholbare Bewegungen im Nanometerbereich.

Spezifikationen

Mechanische Spezifikationen

ModellANT95L-025ANT95L-050
Verfahrweg 25 mm 50 mm
Genauigkeit(1) Basis ±2,5 µm (±100 µin) ±2,5 µm (±100 µin)
PLUS ±250 nm (±10 µin) ±250 nm (±10 µin)
Auflösung (minimale Inkrementbewegung) 1 nm (0,04 µin) 1 nm (0,04 µin)
Wiederholbarkeit (bidirektional)(1) Basis ±100 nm (±4 µin) ±100 nm (±4 µin)
PLUS ±75 nm (±3 µin) ±75 nm (±3 µin)
Wiederholbarkeit (unidirektional) ±25 nm (±1 µin) ±25 nm (±1 µin)
Geradheit(1) ±1,0 µm (±40 µin) ±1,0 µm (±40 µin)
Ebenheit(1) ±1,0 µm (±40 µin) ±1,0 µm (±40 µin)
Nicken 10 Winkelsek. 10 Winkelsek.
Rollen 10 Winkelsek. 10 Winkelsek.
Yaw 5 Winkelsek. 5 Winkelsek.
Max. Geschwindigkeit 500 mm/s (20 in/s) 500 mm/s (20 in/s)
Max. Beschleunigung 5 g (ohne Last) 4 g (ohne Last)
Geschwindigkeitsstabilität Für die typische Performance siehe Grafik
Einschwingzeit Für die typische Performance siehe Grafik
Positionsstabilität(2) <1 nm (<0.04 µin) <1 nm (<0.04 µin)
Max. Kraft (kontinuierlich) 7,75 N 9,5 N
Tragfähigkeit(3) Horizontal 5,0 kg 7,0 kg
Seitlich 5,0 kg 5,0 kg
Bewegte Masse 0,46 kg 0,52 kg
Tischmasse 0,8 kg 1,2 kg
Material Aluminiumkörper/schwarze Hartstoffbeschichtung
MTBF (Mean Time Between Failure, mittlere Betriebsdauer zwischen Ausfällen) 30.000 Stunden
  1. Bei jedem Tisch geprüft.
  2. Angegebenes Positionsrauschen ist 3-Sigma-Wert.
  3. Achsenorientierung für Achslast wird aufgeführt.
  • Spezifikationen gelten für Einzelachsensysteme, gemessen bei 25 mm über dem Verfahrschlitten. Performance von kombinierten mehrachsigen Systemen hängt von der Last und vom Arbeitspunkt ab. Wenden Sie sich bezüglich mehrachsiger und nicht standardmäßiger Anwendungen an Aerotech.
  • -PLUS kann nur mit einer Aerotech-Steuerung genutzt werden.
ModellANT95L-075ANT95L-100
Verfahrweg 75 mm 100 mm
Genauigkeit(1) Basis ±4,0 µm (±160 µin) ±5,0 µm (±200 µin)
PLUS ±275 nm (±11 µin) ±275 nm (±11 µin)
Auflösung (minimale Inkrementbewegung) 1 nm (0,04 µin) 1 nm (0,04 µin)
Wiederholbarkeit (bidirektional)(1) Basis ±100 nm (±4 µin) ±100 nm (±4 µin)
PLUS ±75 nm (±3 µin) ±75 nm (±3 µin)
Wiederholbarkeit (unidirektional) ±25 nm (±1 µin) ±25 nm (±1 µin)
Geradheit(1) ±2,0 µm (±80 µin) ±2,5 µm (±80 µin)
Ebenheit(1) ±2,0 µm (±80 µin) ±2,5 µm (±80 µin)
Nicken 10 Winkelsekunden 10 Winkelsekunden
Rollen 10 Winkelsekunden 10 Winkelsekunden
Yaw 5 Winkelsekunden 5 Winkelsekunden
Max. Geschwindigkeit 500 mm/s (20 in/s) 500 mm/s (20 in/s)
Max. Beschleunigung 3 g (ohne Last) 3 g (ohne Last)
Geschwindigkeitsstabilität Für die typische Performance siehe Grafik
Einschwingzeit Typische Performance siehe Diagramm
Positionsstabilität(2) <1 nm (<0.04 µin) <1 nm (<0.04 µin)
Max. Kraft (kontinuierlich) 9,5 N 12,9 N
Tragfähigkeit(3) Horizontal 7,0 kg 7,0 kg
Seitlich 5,0 kg 5,0 kg
Bewegte Masse 0,72 kg 0,91 kg
Tischmasse 1,64 kg 2,1 kg
Material Aluminiumkörper/schwarze Hartstoffbeschichtung
MTBF (Mean Time Between Failure, mittlere Betriebsdauer zwischen Ausfällen) 30.000 Stunden
  1. Bei jedem Tisch geprüft.
  2. Angegebenes Positionsrauschen ist 3-Sigma-Wert.
  3. Achsenorientierung für Achslast wird aufgeführt.
  • Spezifikationen gelten für Einzelachsensysteme, gemessen bei 25 mm über dem Verfahrschlitten. Performance von kombinierten mehrachsigen Systemen hängt von der Last und vom Arbeitspunkt ab. Wenden Sie sich bezüglich mehrachsiger und nicht standardmäßiger Anwendungen an Aerotech.
  • -PLUS erfordert die Verwendung einer Aerotech-Steuerung.
Elektrische DatenANT95L
Antriebssystem Bürstenloser Linearservomotor
Feedback Berührungsloser Linear-Encoder
Maximale Busspannung ±40 VDC
Endschalter 5 V, Öffner
Referenzpunktschalter Nähe Mitte

Empfohlene SteuerungANT95L
Mehrere Achsen A3200 Npaq MXR
Npaq MR-MXH
Npaq ML-MXH
Ensemble Epaq MXH
Epaq MR-MXH
Ensemble ML-MXH
Einzelachse Soloist Soloist ML-MXH

 

  1. Die angegebenen Spezifikationen werden nur mit einem Linearverstärker erreicht. Zusätzlich sind weitere Optionen verfügbar.

Hinweis: Um die Einhaltung und Wiederholbarkeit der Spezifikationen über längere Zeit zu gewährleisten, muss die Umgebungstemperatur auf einen Wert innerhalb von 0,25 °C/24 Stunden geregelt werden. Ist dies nicht möglich, stehen Alternativprodukte zur Verfügung. Weitere Informationen erhalten Sie bei Aerotech.

  • Step Plot
  • Performance Graphs

Maße

Bestellinformationen

Direkt angetriebener Einzelachsen-Linear-Nanopositioniertisch ANT95L

Verfahrweg (erforderlich)

OptionBeschreibung
-025 25 mm Verfahrweg
-050 50 mm Verfahrweg
-075 75 mm Verfahrweg
-100 100 mm Verfahrweg

Montageplatte (optional)

OptionBeschreibung
-MP Montageplatte

Performance-Grad (erforderlich)

OptionBeschreibung
-PL1 Basis-Performance
-PL2 Hochpräzisions-Performance, PLUS

Integration (erforderlich)

Aerotech bietet sowohl Standard- als auch benutzerdefinierte Integrationsleistungen, damit Ihr System so schnell wie möglich betriebstüchtig ist. Für dieses System stehen folgende Standardintegrationsoptionen zur Verfügung. Wenn Sie sich nicht sicher sind, welche Integrationsstufe Sie benötigen, oder benutzerdefinierten Integrationssupport mit Ihrem System wünschen, wenden Sie sich bitte an Aerotech.
-TAS Integration – Test as System (als System testen)
Testen, Integration und Dokumentation einer Gruppe von Komponenten als Komplettsystem, das zusammen verwendet wird (z. B. Antrieb, Steuerung und Tisch). Dies umfasst Parameterdatei-Erstellung, Systemfeineinstellung und Dokumentation der Systemkonfiguration.
-TAC Integration – Test as Components (einzelne Komponenten testen)
Testen und Integration der einzelnen Bestandteile als eigene Komponenten. Wird in der Regel für Ersatzteile oder Artikel verwendet, die nicht zusammen verwendet werden (z. B. nur Tisch). Diese Komponenten können Teil eines größeren Systems sein, müssen aber nicht.