ANT130R Direkt angetriebene Einzelachsen-Rotations-Nanopositioniertische

Produktbeschreibung

Design Features

  • Auflösung: 0,01 Winkelsekunden
  • Positionsstabilität: 0,005 Winkelsekunden
  • Erhältlich mit begrenzter und unbegrenzter Rotation
  • Hervorragende Fehlerbewegungsspezifikationen
  • Mehrachsenkonfigurationen
  • Hohe dynamische Performance

Die direkt angetriebenen Rotationstische ANT130R sind Teil der Produktreihe „nano Motion Technology“ von Aerotech. Unsere Rotationstische überzeugen durch eine beispiellose Positionsstabilität (0,005 Winkelsekunden) und eine Inkrementbewegung von unter 0,01 Winkelsekunden. Sie werden in zwei Genauigkeitsstufen angeboten.

Für Mehrachsenkonfigurationen geeignet

Die Serie ANT130R ist kompatibel mit den ANT-Lineartischen von Aerotech und lässt sich problemlos integrieren. Gemeinsam bieten diese Tische ein hohes Maß an Genauigkeit, Stabilität und Performance auch bei Kleingrößen für nahezu alle Anwendungen in der Nanofertigung und bei Qualitätskontrollen.

Dynamische Performance

Zusätzlich zu ihrer hohen Präzision erreichen diese Systeme eine hohe dynamische Performance und einen schnellen Durchsatz und eignen sich ideal für Prozesse, bei denen es auf Geschwindigkeit und Präzision ankommt.

Langlebigkeit

Die Serie ANT130R ist auf den Einsatz in 24/7-Produktionsumgebungen ausgelegt. Im Gegensatz zu anderen Rotationsgeräten braucht der ANT130R keine regelmäßige Wartung und garantiert einen jahrelang störungsfreien Betrieb.

Spezifikationen

ANT130-R - Spezifikationen

ModellANT130-
20-R
ANT130-
180-R
ANT130-
360-R
Rotationswinkel 20° 180° ±360° kontinuierlich
Genauigkeit(1) Grundlegend 10
Winkel-sekunden
10 Winkel-sekunden 10
Winkel-sekunden
PLUS 3
Winkel-sekunden
3
Winkel-sekunden
3
Winkel-sekunden
Auflösung 0,01
Winkel-sekunden
0,01
Winkel-sekunden
0,01
Winkel-sekunden
Bidirektionale Wiederholbarkeit(1) Grundlegend 1,5
Winkel-sekunden
1,5
Winkel-sekunden
1,5
Winkel-sekunden
PLUS 1,5
Winkel-sekunden
1,5
Winkel-sekunden
1,5
Winkel-sekunden
Unidirektionale Wiederholbarkeit 0,5
Winkel-sekunden
0,5
Winkel-sekunden
0,5
Winkel-sekunden
Tilt-Fehlerbewegung Synchron k.A. k.A. 10
Winkel-sekunden
Asynchron k.A. k.A. 3
Winkel-sekunden
Axiale Fehlerbewegung(1) Synchron k.A. k.A. 2 µm
Asynchron k.A. k.A. 0,5 µm
Radiale Fehlerbewegung(1) Synchron k.A. k.A. 3 µm
Asynchron k.A. k.A. 1 µm
Max. Drehzahl 20 U/min 20 U/min 200 U/min
Max. Beschleunigung 400 rad/s2 400 rad/s2 400 rad/s2
Positionsstabilität(2) 0,005 Winkel-sekunden 0,005 Winkel-sekunden 0,005 Winkel-sekunden
Apertur 11 mm 11 mm 11 mm
Max. Drehmoment (kontinuierlich) 0,2 Nm 0,2 Nm 0,2 Nm
Tragfähigkeit(3) Axial 3,0 kg 3,0 kg 3,0 kg
Radial 2,0 kg 2,0 kg 2,0 kg
Moment 3 Nm 3 Nm 3 Nm
Rotorträgheit (ohne Last) 0,001 kgm2 0,001 kgm2 0,0016 kgm2
Tischmasse 1,5 kg 1,5 kg 1,7 kg
Material Aluminiumkörper/schwarze Hartstoffbeschichtung
MTBF (Mean Time Between Failure, mittlere Betriebsdauer zwischen Ausfällen) 30.000 Stunden
  1. Bei jedem Tisch geprüft. Kann nur mit einer Aerotech-Steuerung genutzt werden.
  2. Angegebenes Positionsrauschen ist 3-Sigma-Wert.
  3. Achsenorientierung für Achslast wird aufgeführt.
  • Die technischen Daten gelten pro Achse, 25 mm über dem Tabletop gemessen. Informationen zu Mehrachsen- und Sonderanwendungen erhalten Sie direkt beim Hersteller.
  • Alle Fehlerbewegungsspezifikationen werden bei 60 U/min gemessen.
  • Beim Betrieb mit hoher Drehzahl muss die kundenspezifische Nutzlast gemäß ISO 1940 auf G1,0 ausgeglichen werden.

Elektrische Daten

Antriebssystem Eisenloser, bürstenloser, direkt angetriebener Drehmotor
Feedback Berührungsloser Drehgeber
Maximale Busspannung ±40 V DC
Endschalter 5 V, Öffner
Referenzpunktschalter Nähe Mitte

Empfohlene Steuerung

Mehrere Achsen A3200 Npaq MXR
Npaq MR-MXH
Ndrive ML-MXH
Ensemble Epaq MXR
Epaq MR-MXH
Ensemble ML-MXH
Einzelachse Soloist Soloist ML-MXH
  1. Die angegebenen Spezifikationen werden nur mit einem Linearverstärker erreicht. Zusätzlich sind weitere Optionen verfügbar.

Hinweis: Um die Einhaltung und Wiederholbarkeit der Spezifikationen über längere Zeit zu gewährleisten, muss die Umgebungstemperatur auf einen Wert innerhalb von 0,25 °C/24 Stunden geregelt werden. Ist dies nicht möglich, stehen Alternativprodukte zur Verfügung. Weitere Informationen erhalten Sie von Aerotech.

  • ANT130R Step Plot
  • ANT130R Series Specifications Images

Maße

Bestellinformationen

Direkt angetriebener Einzelachsen-Rotations-Nanopositioniertisch der Serie ANT130R

Verfahrweg (erforderlich)

OptionBeschreibung
-360 Kontinuierlicher Verfahrweg
-020 Begrenzter Verfahrweg, +/- 10 Grad
-180 Begrenzter Verfahrweg, +/- 90 Grad

Montageplatte (optional)

OptionBeschreibung
-MP Montageplatte

Performance-Grad (erforderlich)

OptionBeschreibung
-PL1 Basis-Performance
-PL2 Hochpräzisions-Performance, PLUS

Integration (erforderlich)

Aerotech bietet sowohl Standard- als auch benutzerdefinierte Integrationsleistungen, damit Ihr System so schnell wie möglich betriebstüchtig ist. Für dieses System stehen folgende Standardintegrationsoptionen zur Verfügung. Wenn Sie sich nicht sicher sind, welche Integrationsstufe Sie benötigen, oder benutzerdefinierten Integrationssupport mit Ihrem System wünschen, wenden Sie sich bitte an Aerotech.

OptionBeschreibung
-TAS Integration – Test as System (als System testen)
Testen, Integration und Dokumentation einer Gruppe von Komponenten als Komplettsystem, das zusammen verwendet wird (z. B. Antrieb, Steuerung und Tisch). Dies umfasst Parameterdatei-Erstellung, Systemfeineinstellung und Dokumentation der Systemkonfiguration.
-TAC Integration – Test as Components (einzelne Komponenten testen)
Testen und Integration der einzelnen Bestandteile als eigene Komponenten. Wird in der Regel für Ersatzteile oder Artikel verwendet, die nicht zusammen verwendet werden (z. B. nur Tisch). Diese Komponenten können Teil eines größeren Systems sein, müssen aber nicht.