WaferMaxT Mechanisch gelagerter Rotationstisch mit Direktantrieb

Produktbeschreibung

Design Features

  • Niedrigprofil für Anwendungen mit beengten Platzverhältnissen
  • Direkt angetriebener, bürsten- und eisenloser Servomotor
  • Direkt gekoppelter, hochpräziser Drehgeber
  • 25 mm große Apertur
  • Optionale Drehdurchführung für Saugleitungen

Der Rotationstisch WaferMaxT von Aerotech ist die erste Wahl für Anwendungen mit hohem Leistungsbedarf bei gleichzeitig flacher Bauhöhe. Ursprünglich wurde der Tisch für hochgenaue Wafer-Qualitätsinspektionen entwickelt. Seither wird der WaferMaxT aber auch für viele weitere Anwendungen eingesetzt. Die serienmäßig 25 mm große Apertur bietet bei Anwendungen mit begrenzter Drehbewegung freien Durchgang für die Saugleitungen. Wenn eine kontinuierliche Drehbewegung erwünscht ist, kann eine optionale Einfach- oder Doppeldrehdurchführung integriert werden. Die Tischplatte (Tabletop) umfasst ein Standard-Bohrbild für die problemlose Wafer-Chuck-Montage.

Hervorragende Mechanik

Schräglager sorgen für außergewöhnlich gute Werte in Sachen Taumeleigenschaften, Momentensteifigkeit und Reibungsfreiheit. Eine dickwandige, präzisionsgeschliffene Welle minimiert die Taumeleigenschaften noch weiter.

Dank integrierter Anschlüsse für Motorstrom und Feedback ist das Kabelmanagement ein Kinderspiel. Da der WaferMaxT ein eigenständiges Gerät ist, lässt er sich nahtlos in mehrstufige Stacks integrieren. Vervollständigt wird diese höchst zuverlässige Lösung durch eine Wartungsschleife oder ein integriertes Kabelmanagement-System (CMS) von Aerotech.

Bürstenloser Direktantrieb

Um die Positionierungsleistung zu maximieren, verwendet der WaferMaxT den eisen- und bürstenlosen Motor der S-Serie von Aerotech. Dieser Motor bietet alle Vorteile eines bürstenlosen Direktantriebsmotors: keine verschleißanfälligen Bürsten, keine wartungsaufwändigen Getriebe, dafür aber eine schnelle Beschleunigung und hohe Drehzahlen. Weil es sich um einen eisenlosen Motor handelt, ist er cogging-frei, das heißt, das System ist absolut geschwindigkeitsstabil. Dadurch ist der WaferMaxT sehr gut für Anwendungen geeignet, bei denen es auf Konturbewegungen, eine gleichmäßige Abtastgeschwindigkeit oder präzise Inkrementalschritte ankommt. Die geringe Trägheit und das nicht vorhandene Umkehrspiel machen den WaferMaxT ideal für Anwendungen mit häufigem Richtungswechsel.

Genaue Positionierung

Die Performance des Geräts wird mit mit einem Encoder mit 10.000 Linien pro Umdrehung und einer Auflösung von 0,065 Winkelsekunden gewährleistet. Zusätzlich wird eine Variante mit 2048 Linien angeboten. Der Motor und der Hochleistungs-Encoder sind direkt an eine gemeinsame Welle gekoppelt.

Flexible Konfigurationen

Aerotech stellt viele verschiedene Servoverstärker und hochentwickelte Steuerungen her und kann daher ein integriertes Komplettpaket anbieten.

Spezifikationen

WaferMaxT - Spezifikationen

ModellWaferMaxT
Verfahrweg 360°, kontinuierlich
Tischplatten- (Tabletop)-Durchmesser 106,7 mm
Antriebssystem Bürstenloser Servomotor mit Direktantrieb
Busspannung Max. 340 V DC
Max. Drehmoment(kontinuierlich) 5,99 N·m
Encoder Grundschwingung 2048 Linien/Umdr., Grundschwingung 10000 Linien/Umdr.
Genauigkeit(1) ±25 µrad (±5 Winkelsekunden)
Bidirektionale Wiederholbarkeit ±10 µrad (±2 Winkelsekunden)
Tilt-Fehlerbewegung 97 µrad (20 Winkelsekunden)
Axiale Fehlerbewegung 5 µm
Radiale Fehlerbewegung 5 µm
Max. Drehzahl 400 U/min (ohne Last)
Maximale Last(2) Axial 40 kg
Radial 20 kg
Trägheit 0,008130 kgm2
Masse 7,0 kg
Material Aluminium
Oberflächenbearbeitung Schwarz eloxiert
  1. Mit Aerotech-Steuerungen lieferbar.
  2. Die Maximallasten schließen sich gegenseitig aus.
  3. Die Spezifikationen beziehen sich auf einachsige Systeme, gemessen 50 mm über der Tischplatte (Tabletop). Die Performance von Mehrachsensystemen hängt von der Last und vom Arbeitspunkt ab. Informationen zu mehrachsigen und Sonderanwendungen erhalten Sie direkt beim Hersteller.
  • Axial and Radial Cantilevered Load Capability (WaferMax T)

Maße

Bestellinformationen

Direkt angetriebener Rotationstisch mit freier 25-mm-Apertur WaferMaxT

Feedback

OptionBeschreibung
-E1 Inkremental-Encoder, 2048 Linien/U, 1 Vss
-E2 Inkremental-Encoder, 10000 Linien/U, 1 Vss

WaferMaxT-Optionen

OptionBeschreibung
-RU1 Einzelanschluss-Drehdurchführung für Luft/Vakuum-Hindurchführung

Integration (erforderlich)

Aerotech bietet sowohl Standard- als auch benutzerdefinierte Integrationsleistungen, damit Ihr System so schnell wie möglich betriebstüchtig ist. Für dieses System stehen folgende Standardintegrationsoptionen zur Verfügung. Wenn Sie sich nicht sicher sind, welche Integrationsstufe Sie benötigen, oder benutzerdefinierten Integrationssupport mit Ihrem System wünschen, wenden Sie sich bitte an Aerotech.

OptionBeschreibung
-TAS Integration – Test as System (als System testen)
Testen, Integration und Dokumentation einer Gruppe von Komponenten als Komplettsystem, das zusammen verwendet wird (z. B. Antrieb, Steuerung und Tisch). Dies umfasst Parameterdatei-Erstellung, Systemfeineinstellung und Dokumentation der Systemkonfiguration.
-TAC Integration – Test as Components (einzelne Komponenten testen)
Testen und Integration der einzelnen Bestandteile als eigene Komponenten. Wird in der Regel für Ersatzteile oder Artikel verwendet, die nicht zusammen verwendet werden (z. B. nur Tisch). Diese Komponenten können Teil eines größeren Systems sein, müssen aber nicht.