ANT130XY Mechanisch gelagerter XY-Lineartisch mit Direktantrieb

Produktbeschreibung

Design Features

  • Mit integriertem, flachem XY-Linearmotor
  • Nanometer-Performance in großem Verfahrwegformat
  • Hohe Auflösung (1 nm), Wiederholbarkeit (75 nm) und Genauigkeit (250 nm)
  • Positionsstabilität von <1 nm
  • Kreuzrollenlager mit Kriechschutz
  • Hohe dynamische Performance [with direct-drive technology]
  • Ultra-Performance-Grad-Option

Einführung

Die Tische der Serie ANT130XY bieten eine Performance im Nanometerbereich bei Verfahrwegen bis 160 mm. Die schlanke Bauweise ermöglicht ein extrem flaches Profil von nur 85 mm. Der Tisch zeichnet sich aus durch einen eigens entwickelten Direktantriebsmotor, berührungslose Linear-Encoder, Endschalter, ein integriertes Kabelmanagement-System und drei Genauigkeitsstufen.

Ultrapräzises Design

Die Auslegung des ANT130XY ermöglicht die Optimierung kritischer Elemente wie Rechtwinkligkeit, Geradheit und Ebenheit, was diesem Tisch außergewöhnliche geometrische Toleranzen verleiht. Die Direktantriebstechnik von Aerotech ist hysterese- und umkehrspielfrei und ermöglicht in der X- und Y-Dimension genaue und wiederholbare Bewegungen im Nanometerbereich. Alle Verfahrwegoptionen (60 × 60 mm, 110 × 110 mm, 160 × 160 mm) haben eine Profilhöhe von 85 mm. Das integrierte Kabelmanagement-System ist auf eine lange Lebensdauer und minimale Zugkräfte ausgelegt.

Berührungsloser Direktantrieb

Nur ein berührungsloser Direktantrieb bietet die robuste, präzise Hochgeschwindigkeits-Positionierung, die für die Massenfertigung von Präzisionsgeräten erforderlich ist. Der ANT130XY arbeitet mit modernster Direktantriebstechnik, die von Aerotech entwickelt wurde und eine extrem hohe Positionierungsleistung erzielt. Dieser Direktantrieb bietet hohe Performance, ist cogging-frei, berührungslos und arbeitet mit hohen Geschwindigkeiten, hoher Auflösung und höchster Präzision. Die einzigartige, extrem kompakte Antriebs-Lager-Kombination mit kleiner Stellfläche bietet deutliche Vorteile in vielen Anwendungen wie Hochpräzisions-Positionierung, Festplattenherstellung, Faserausrichtung, Bewegung optischer Verzögerungsglieder, Sensorprüfungen und Rasteruntersuchungsverfahren, die eine gleichmäßige und präzise Bewegung erfordern.

Mehrachsenkonfigurationen

Der ANT130XY lässt sich mit anderen ANT-Produkten von Aerotech kombinieren (Vertikalhubtische, direkt angetriebene Rotationstische und Goniometer). Das Ergebnis: einzigartige, leistungsstarke Mehrachsensysteme.

Ultra-Genauigkeitsstufe

Damit Ihr System mit unseren mehrachsigen Nanopositionierern die höchstmögliche Systemgenauigkeit erreicht, hat Aerotech ein fortschrittliches, interaktives, dynamisches Trajektorien-Kalibrierung-System entwickelt. Um die Vorteile dieses ausgereiften Kalibriersystems nutzen zu können, muss die Mechanik vor der Kalibrierung in unseren branchenführenden Messlaboren komplett montiert und auf einwandfreie Funktion geprüft werden. Genauigkeiten im Nanometerbereich können nur erreicht werden unter strengen Umgebungsbedingungen und durch das Kalibrieren mit bestem Testequipment, das höchste präzise mechanische Elemente nutzt.Zusammen mit dem Trajektorien-Kalibrierung-System ULTRA erreicht der ANT130XY eine zweidimensionale Genauigkeit von mindestens ±250 nm.

An den Plots in den technischen Daten sind die Leistungsunterschiede zwischen einem Standardtisch ANT130XY und der -ULTRA-Ausführung zu erkennen. Gierungsbedingte Geradheits-, Rechtwinkligkeits- und Genauigkeitsfehler sind praktisch ausgeschlossen.

Spezifikationen

ANT130-XY Spezifikationen

  ANT130XY-060
Basis PLUS(1,3) ULTRA(1,3)
Verfahrweg 60 mm
Genauigkeit(1,2) ±2,5 µm ±250 nm ±250 nm
Auflösung (Minimale inkrementelle Bewegung) 1 nm
Wiederholbarkeit
(bidirektional)(2)
±100 nm ±75 nm ±75 nm
Wiederholbarkeit (unidirektional) ±25 nm ±25 nm ±25 nm
Geradheit(2) ±1,5 µm ±1,5 µm ±250 nm
Ebenheit(2) ±1,5 µm ±1,5 µm ±1,0 µm
Nicken 49 µrad (10 winkelsek.) 49 µrad (10 winkelsek.) 49 µrad (10 winkelsek.)
Rollen 49 µrad (10 winkelsek.) 49 µrad (10 winkelsek.) 49 µrad (10 winkelsek.)
Gieren 24 µrad (5 winkelsek.) 24 µrad (5 winkelsek.) 24 µrad (5 winkelsek.)
Rechtwinkligkeit(3) 49 µrad (10 winkelsek.) 15 µrad (3 winkelsek.) 4.8 µrad (1 winkelsek.)
Max. Geschwindigkeit(4) 350 mm/s (obere Achse)
Max. Beschleunigung(4) 1 g - 10 m/s2 (ohne Last) (obere Achse)
Geschwindigkeitsstabilität Für die typische Performance siehe Grafik
Einschwingzeit Für die typische Performance siehe Grafik
Positionsstabilität(5) <1 nm
Max. Kraft (kontinuierlich) 23 N
Tragfähigkeit(6) Horizontal 12,0 kg
Bewegte Masse Obere Achse 1,5 kg
Untere Achse 4,2 kg
Tischmasse 5,5 kg
Material Aluminiumkörper/schwarze Hartstoffbeschichtung
MTBF (Mean Time Between Failure, mittlere Betriebsdauer zwischen Ausfällen) 30.000 Stunden
  1. Die Spezifikationen für die Optionen -BASE und -PLUS gelten pro Achse und wurden 25 mm über dem Tabletop gemessen. Die Spezifikationen für die Option -ULTRA gilt für XY und wurden 25 mm über dem Tabletop gemessen.
  2. Bei jedem Tisch geprüft.
  3. Erfordern Verwendung einer Aerotech-Steuerung.
  4. Erfordert die Auswahl eines passenden Verstärkers mit ausreichend Versorgungsspannung und Leistung.
  5. Angegebenes Positionsrauschen ist 3-Sigma-Wert.
  6. Achsenorientierung für Achsenbelastung wird aufgeführt.

 

      ANT130XY-110
    Basis PLUS(1,3) ULTRA(1,3)
    Verfahrweg 110 mm
    Genauigkeit(1,2) ±4,0 µm ±300 nm ±300 nm
    Auflösung (Minimale inkrementelle Bewegung) 1 nm
    Wiederholbarkeit (bidirektional)(2) ±100 nm ±75 nm ±75 nm
    Wiederholbarkeit (unidirektional) ±25 nm ±25 nm ±25 nm
    Geradheit(2) ±1,5 µm ±1,5 µm ±300 nm
    Ebenheit(2) ±1,5 µm ±1,5 µm ±1,0 µm
    Nicken 58 µrad (12 winklesek.) 58 µrad (12 winklesek.) 58 µrad (12 winklesek.)
    Rollen 58 µrad (12 winklesek.) 58 µrad (12 winklesek.) 58 µrad (12 winklesek.)
    Gieren 29 µrad (6 winklesek.) 29 µrad (6 winklesek.) 29 µrad (6 winklesek.)
    Rechtwinkligkeit(3) 49 µrad (10 winklesek.) 15 µrad (3 winklesek.) 2,4 µrad (0,5 Winkelsek.)
    Max. Geschwindigkeit(4) 350 mm/s (obere Achse)
    Max. Beschleunigung(4) 1 g - 10 m/s2 (ohne Last) (obere Achse)
    Geschwindigkeitsstabilität Für die typische Performance siehe Grafik
    Einschwingzeit Für die typische Performance siehe Grafik
    Positionsstabilität(5) <1 nm
    Max. Kraft (kontinuierlich) 23 N
    Tragfähigkeit(6) Horizontal 12,0 kg
    Bewegte Masse Obere Achse 2,1 kg
    Untere Achse 5,7 kg
    Tischmasse 7,4 kg
    Material Aluminiumkörper/schwarze Hartstoffbeschichtung
    MTBF (Mean Time Between Failure, mittlere Betriebsdauer zwischen Ausfällen) 30.000 Stunden
    1. Die Spezifikationen für die Optionen -BASE und -PLUS gelten pro Achse und wurden 25 mm über dem Tabletop gemessen. Die Spezifikationen für die Option -ULTRA gilt für XY und wurden 25 mm über dem Tabletop gemessen.
    2. Bei jedem Tisch geprüft.
    3. Erfordern Verwendung einer Aerotech-Steuerung.
    4. Erfordert die Auswahl eines passenden Verstärkers mit ausreichend Versorgungsspannung und Leistung.
    5. Angegebenes Positionsrauschen ist 3-Sigma-Wert.
    6. Achsenorientierung für Achsenbelastung wird aufgeführt.
    ANT130XY-160
    Basis PLUS(1,3) ULTRA(1,3)
    Verfahrweg 160 mm
    Genauigkeit(1,2) ±5,0 µm ±300 nm ±300 nm
    Auflösung (Minimale inkrementelle Bewegung) 1 nm
    Wiederholbarkeit (bidirektional)(2) ±100 nm ±75 nm ±75 nm
    Wiederholbarkeit (unidirektional) ±25 nm ±25 nm ±25 nm
    Geradheit(2) ±2,0 µm ±2,0 µm ±300 nm
    Ebenheit(2) ±2,0 µm ±2,0 µm ±1,0 µm
    Nicken 73 µrad (15 winklesek.) 73 µrad (15 winklesek.) 58 µrad (12 winklesek.)
    Rollen 73 µrad (15 winklesek.) 73 µrad (15 winklesek.) 58 µrad (12 winklesek.)
    Gieren 39 µrad (8 winklesek.) 39 µrad (8 winklesek.) 29 µrad (6 winklesek.)
    Rechtwinkligkeit(3) 49 µrad (10 winklesek.) 15 µrad (3 winklesek.) 2,4 µrad (0,5 Winkelsek.)
    Max. Geschwindigkeit(4) 350 mm/s (obere Achse)
    Max. Beschleunigung(4) 1 g - 10 m/s2 (ohne Last) (obere Achse)
    Geschwindigkeitsstabilität Für die typische Performance siehe Grafik
    Einschwingzeit Für die typische Performance siehe Grafik
    Positionsstabilität(5) <1 nm
    Max. Kraft (kontinuierlich) 23 N
    Tragfähigkeit(6) Horizontal 12,0 kg
    Bewegte Masse Obere Achse 2,4 kg
    Untere Achse 6,9 kg
    Tischmasse 8,9 kg
    Material Aluminiumkörper/schwarze Hartstoffbeschichtung
    MTBF (Mean Time Between Failure, mittlere Betriebsdauer zwischen Ausfällen) 30.000 Stunden
    1. Die Spezifikationen für die Optionen -BASE und -PLUS gelten pro Achse und wurden 25 mm über dem Tabletop gemessen. Die Spezifikationen für die Option -ULTRA gilt für XY und wurden 25 mm über dem Tabletop gemessen.
    2. Bei jedem Tisch geprüft.
    3. Erfordern Verwendung einer Aerotech-Steuerung.
    4. Erfordert die Auswahl eines passenden Verstärkers mit ausreichend Versorgungsspannung und Leistung.
    5. Angegebenes Positionsrauschen ist 3-Sigma-Wert.
    6. Achsenorientierung für Achsenbelastung wird aufgeführt.

    Elektrische Daten

    Antriebssystem Bürstenloser Linearservomotor
    Feedback Berührungsloser Linear-Encoder
    Maximale Busspannung 320 V DC (-4DU-25DU), 80 V DC (-25DU)
    Endschalter 5 V, Öffner
    Referenzpunktschalter Nähe Mitte

    Empfohlene Steuerung

    Mehrere Achsen A3200 Npaq MXR
    Npaq MR-MXH
    Ndrive ML-MXH
    Ensemble Epaq MXH
    Epaq MR-MXH
    Ensemble ML-MXH
    Ensemble LAB
    Einzelachse Soloist Soloist ML-MXH

    Hinweis: Die angegebenen Spezifikationen werden nur mit einem Linearverstärker erreicht. Zusätzlich sind weitere Optionen verfügbar.

    Hinweis: Um die Einhaltung und Wiederholbarkeit der Spezifikationen über längere Zeit zu gewährleisten, muss die Umgebungstemperatur auf einen Wert innerhalb von 0,25 °C/24 Stunden geregelt werden. Ist dies nicht möglich, stehen Alternativprodukte zur Verfügung. Weitere Informationen erhalten Sie von Aerotech.

    • ANT130XY Plots 1
    • ANT130XY Plots 2

    Maße

    Bestellinformationen

    Direkt angetriebener Zweiachsen-Nanopositioniertisch ANT130XY

    Verfahrweg (erforderlich)

    OptionBeschreibung
    -060 60 mm Verfahrweg
    -110 110 mm Verfahrweg
    -160 160 mm Verfahrweg

    Stecker (erforderlich)

    OptionBeschreibung
    -CN1 Einfacher 25-poliger D-Stecker, 25DU
    -CN2 Zwei Stecker, 4-poliger HPD- und 25-poliger D-Stecker, 4DU-25DU
      Hinweis: CN1-Option ist nicht für Systeme mit Busspannungen über 80 V geeignet.

    Kabelmanagement (erforderlich)

    OptionBeschreibung
    -CMS2 Anschluss für zweiachsige Kabelverankerung
    -CMS3 Anschluss für dreiachsige Kabelverankerung

    Montageplatte (optional)

    OptionBeschreibung
    -MP Montageplatte

    Performance-Grad (erforderlich)

    OptionBeschreibung
    -PL1 Basis-Performance
    -PL3 Hochpräzisions-Performance, PLUS
    -PL4 Besonders genaue Performance, ULTRA

    Integration (erforderlich)

    Aerotech bietet sowohl Standard- als auch benutzerdefinierte Integrationsleistungen, damit Ihr System so schnell wie möglich betriebstüchtig ist. Für dieses System stehen folgende Standardintegrationsoptionen zur Verfügung. Wenn Sie sich nicht sicher sind, welche Integrationsstufe Sie benötigen, oder benutzerdefinierten Integrationssupport mit Ihrem System wünschen, wenden Sie sich bitte an Aerotech.
    -TAS Integration – Test as System (als System testen)
    Testen, Integration und Dokumentation einer Gruppe von Komponenten als Komplettsystem, das zusammen verwendet wird (z. B. Antrieb, Steuerung und Tisch). Dies umfasst Parameterdatei-Erstellung, Systemfeineinstellung und Dokumentation der Systemkonfiguration.
    -TAC Integration – Test as Components (einzelne Komponenten testen)
    Testen und Integration der einzelnen Bestandteile als eigene Komponenten. Wird in der Regel für Ersatzteile oder Artikel verwendet, die nicht zusammen verwendet werden (z. B. nur Tisch). Diese Komponenten können Teil eines größeren Systems sein, müssen aber nicht.