PlanarDL Zweiachsiger direkt angetriebener mechanisch gelagerter Lineartisch

Produktbeschreibung

Design Features

  • Integrierter XY-Tisch mit Niedrigprofil und Linearmotor
  • Hervorragende geometrische Performance (Geradheit bis ±0,4 µm; Ebenheit bis ±1 µm)
  • Mit Kriechsperre und Präzisionskreuzrollenlager
  • Große Auswahl - 9 Modelle mit verschiedenen Verfahrwegen und Genauigkeiten

Die Tische der Serie PlanarDL von Aerotech bieten eine hervorragende geometrische und dynamische Performance in einem kompakten Paket mit Niedrigprofil. Aufgrund vieler verschiedener Verfahrweg- und Performance-Optionen ist dieser Tisch ideal für eine Reihe von Anwendungen geeignet, vom Oberflächen-Profiling bis hin zum LED-Wafer-Scribing.

Hervorragende Tischauslegung

Die XY-Bauweise des PlanarDL ermöglicht eine unerreichte planare geometrische Performance bei Anwendungen, bei denen es besonders auf Geradheit und Ebenheit ankommt. Hochpräzisions-Kreuzrollenlager mit Kriechsperre, präzisionsgefertigte Oberflächen und Linearmotoren von Aerotech mit Antrieb durch die Steifigkeitsmitte der Achsen führen zu einem Positioniertisch mit außerordentlichen geometrischen Toleranzen.

Die Bauelemente des PlanarDL sind unter dem Aspekt einer hohen Dynamik und Steifigkeit optimiert, um auch den anspruchsvollsten dynamischen Anwendungen gerecht zu werden. Der PlanarDL kann Geschwindigkeiten von 1 m/s und Beschleunigungen von 1,5 g erzielen und ermöglicht eine Bearbeitung bei hohem Durchsatz und hoher Genauigkeit, was zu ausgezeichneten Prozessergebnissen und niedrigen Gesamtbetriebskosten führt. Im Gegensatz zu Konkurrenzprodukten, die Profilschienen mit Umlauflager verwenden, gestatten die bei dieser Bauweise verwendeten Kreuzrollenlager mit Kriechsperre gleichmäßige Bewegungen, womit sich diese Tischlösung ideal für schwierige Scan-Anwendungen eignet.

Berührungslose Direktantriebstechnik

Nur die berührungslose Direktantriebstechnik bietet hohe Geschwindigkeit und genaue Positionierung, gepaart mit einem wartungsfreien Betrieb und einer langen Lebensdauer. Im PlanarDL steckt die eigens entwickelte Direktantriebstechnik von Aerotech. Diese Antriebstechnik gestattet eine unerreichte Performance im Vergleich zu spindelbasierten und Linearmotorbauweisen anderer Produkte.

Die Tische PlanarDL-200XY und -300XY sind sowohl mit einem als auch mit zwei Motoren pro Achse erhältlich, was die Optimierung jeder Einzelachse für die spezifische Anwendung bzw. den jeweiligen Prozess ermöglicht. Unabhängig von der gewählten Motorzahl agiert die resultierende Antriebskraft durch das Reibungs- und Steifigkeitszentrum, was zu einer hervorragenden geometrischen Performance und Genauigkeit führt.

Integriertes Kabelmanagement

Das Kabelmanagement-System des PlanarDL ist in den Tisch integriert und auf lange Lebensdauer und Performance optimiert. Es sind weitere Standardoptionen für zusätzliche Servoachsen oder Luft-/Vakuumleitungen für Vakuumspannvorrichtungen oder andere Prozesspneumatik-Komponenten erhältlich.

Extreme Positionierungs-Performance

Der PlanarDL ist in drei Positionierungs-Performance-Ausführungen erhältlich. Aerotech stützt sich auf jahrzehntelange Erfahrungen in der Konstruktion auf Systemebene, und zwar nicht nur in Bezug auf Positionierungsmechanik, sondern auch hinsichtlich Software und Elektronik. Das Unternehmen hat stets fortgeschrittene Technologien entwickelt, die in puncto Präzision immer neue Maßstäbe setzen. Die verfügbaren Hochleistungsoptionen -PLUS und -ULTRA bieten Genauigkeits- und Geradheitswerte von bis zu ±400 nm sowie eine Rechtwinkligkeit von bis zu 1 Winkelsekunde.

Spezifikationen

PlanarDL - Spezifikationen

 PlanarDL-100XYPlanarDL-200XYPlanarDL-300XY
Performance-Grad -PL1 -PL3(1) -PL4(1) -PL1 -PL3(1) -PL4(1) -PL1 -PL3(1) -PL4(1)
Verfahrweg 100 mm x 100 mm 200 mm x 200 mm 300 mm x 300 mm
Genauigkeit ±3 µm ±0,4 µm ±0,4 µm ±4 µm ±0,5 µm ±0,5 µm ±5 µm ±0,75 µm ±0,75 µm
Bidirektionale Wiederholbarkeit(2) ±0,1 µm
Auflösung
(Minimale Inkrementbewegung)
3 nm
Geradheit ±1 µm ±0,4 µm ±1,5 µm ±0,5 µm ±2 µm ±0,75 µm
Ebenheit ±1 µm ±1,5 µm ±2 µm
Nicken 12 Winkelsekunden 15 Winkelsekunden 18 Winkelsekunden
Rollen 12 Winkelsekunden 15 Winkelsekunden 18 Winkelsekunden
Gieren 6 Winkelsekunden 8 Winkelsekunden 10 Winkelsekunden
Rechtwinkligkeit 20
Winkel-sekunden

5
Winkel-sekunden

1
Winkel-sekunde
20
Winkel-sekunden
5
Winkel-sekunden
1
Winkel-sekunde
20
Winkel-sekunden
5
Winkel-sekunden
1
Winkel-sekunde
Max. Geschwindigkeit 500 mm/s 750 mm/s 1000 mm/s
Max. Beschleunigung
(Keine Last; obere Achse)
1,5 g (keine Last) 1,0 g (x1 Motor)
1,5 g (x2 Motoren)
1,0 g (x1 Motor)
1,5 g (x2 Motoren)
Max. Kraft (kontinuierlich) 26 N 31 N (x1 Motor)
62 N (x2 Motoren)
78 N (x1 Motor)
156 N (x2 Motoren)
Tragfähigkeit(2) Horizontal 15 kg 20 kg 30 kg
Bewegte Masse Obere Achse 2,9 kg 6,3 kg (-M1 or -M3 Motor)
7,4 kg (-M2 or -M4 Motor)
16,3 kg (-M1 or -M3 Motor)
19,1 kg (-M2 or -M4 Motor)
Untere Achse 8,4 kg 16,8 kg (-M1 Motor)
17,8 kg (-M2 or -M3 Motor)
19,0 kg (-M4 Motoren)
45,0 kg (-M1 Motor)
48,1 kg (-M2 or -M3 Motor)
50,9 kg (-M4 Motoren)
Tischmasse(3) 11 kg 23-25 kg 53-63 kg
Material Schwarz eloxiertes Aluminium
MTBF (Mean Time Between Failure, mittlere Betriebsdauer zwischen Ausfällen) 30.000 Stunden
  1. Die Optionen -PL3 und -PL4 erfordern die Verwendung einer Aerotech-Steuerung.
  2. Die Wiederholbarkeit setzt eine Feedback-Auflösung von 20 nm oder weniger voraus.
  3. Tischmasse ist abhängig von Motorkonfiguration.
  4. Die Spezifikationen für -PL1 und -PL3-Optionen gelten pro Achse, 25 mm über dem Verfahrschlitten gemessen. Die Spezifikationen für -PL4 sind XY, 25 mm über dem Verfahrschlitten gemessen.

Elektrische Daten

 PlanarDL-100XYPlanarDL-200XYPlanarDL-300XY
Antriebssystem Bürstenloser Linearservomotor
Feedback Berührungsloser Linear-Encoder
Maximale Busspannung 340 V DC
Endschalter 5 V, Öffner
Referenzpunktschalter Nähe Mitte des XY-Verfahrwegs

Empfohlene Steuerung

Mehrere Achsen A3200 Ndrive CP
Ndrive HLe/HPe
Npaq
Ensemble Ensemble CP
Ensemble HLe/HPe
Einzelachse Soloist Soloist CP
Soloist HLe/HPe
    • PlanarDL Load Curves

    Maße

    Bestellinformationen

    PlanarDL Zweiachsiger direkt angetriebener Lineartisch mit mechanischen Lagern

    OptionBeschreibung
    PlanarDL-100XY Zweiachsiger direkt angetriebener Lineartisch mit mechanischen Lagern, 100 x 100 mm Verfahrweg
    PlanarDL-200XY Zweiachsiger direkt angetriebener Lineartisch mit mechanischen Lagern, 200 x 200 mm Verfahrweg
    PlanarDL-300XY Zweiachsiger direkt angetriebener Lineartisch mit mechanischen Lagern, 300 x 300 mm Verfahrweg

    Motor (erforderlich) – für PlanarDL-100XY nicht zutreffend

    OptionBeschreibung
    -M1 1 Motor auf oberer Achse; 1 Motor auf unterer Achse
    -M2 2 Motoren auf oberer Achse; 1 Motor auf unterer Achse
    -M3 1 Motor auf oberer Achse; 2 Motoren auf unterer Achse
    -M4 2 Motoren auf oberer Achse; 2 Motoren auf unterer Achse

    Feedback (erforderlich)

    OptionBeschreibung
    -E1 Inkremental-Encoder, 1 Vss auf unterer und oberer Achse
    -E2 Inkremental-Encoder, 0,1 µm TTL auf oberer Achse; 1 Vss auf unterer Achse
    -E3 Inkremental-Encoder, 1 Vss auf oberer Achse; 0,1 µm TTL auf unterer Achse
    -E4 Inkremental-Encoder, 0,1 µm TTL auf oberer und unterer Achse

    Kabelmanagement (optional)

    OptionBeschreibung
    -CMS1 Kabelmanagement für Druckluft-/Vakuumleitung
    -CMS2 Kabelmanagement für Druckluft-/Vakuumleitung und Motor/Feedback 3. Achse

    Performance-Grad (erforderlich)

    OptionBeschreibung
    -PL1 Basis-Performance
    -PL3 Hochpräzisions-Performance, PLUS
    -PL4 Ultra-Hochpräzisions-2D-Performance, ULTRA
      Hinweis: Performance-Grade -PL3 und -PL4 erfordern Aerotech-Steuerung.

    Integration (erforderlich)

    Aerotech bietet sowohl Standard- als auch benutzerdefinierte Integrationsleistungen, damit Ihr System so schnell wie möglich betriebstüchtig ist. Für dieses System stehen folgende Standardintegrationsoptionen zur Verfügung. Wenn Sie sich nicht sicher sind, welche Integrationsstufe Sie benötigen, oder benutzerdefinierten Integrationssupport mit Ihrem System wünschen, wenden Sie sich bitte an Aerotech.

    OptionBeschreibung
    -TAS Integration – Test as System (als System testen)
    Testen, Integration und Dokumentation einer Gruppe von Komponenten als Komplettsystem, das zusammen verwendet wird (z. B. Antrieb, Steuerung und Tisch). Dies umfasst Parameterdatei-Erstellung, Systemfeineinstellung und Dokumentation der Systemkonfiguration.
    -TAC Integration – Test as Components (einzelne Komponenten testen)
    Testen und Integration der einzelnen Bestandteile als eigene Komponenten. Wird in der Regel für Ersatzteile oder Artikel verwendet, die nicht zusammen verwendet werden (z. B. nur Tisch). Diese Komponenten können Teil eines größeren Systems sein, müssen aber nicht.