PlanarDLA Mechanisch gelagerter, direktangetriebener Lineartisch mit Apertur

Produktbeschreibung

Design Features

  • Integrierter XY-Tisch mit Niedrigprofil, Linearmotor und freier Apertur
  • Hervorragende geometrische Performance (Geradheit bis ±0,5 µm; Ebenheit bis ±1,25 µm)
  • Für hoch dynamische Anwendungen optimiert
  • Geschwindigkeiten bis 2 m/s und Beschleunigungen bis 2g
  • Integriertes Kabelmanagement
  • Große Auswahl - 9 Modelle mit verschiedenen Verfahrwegen und Genauigkeiten

Die Tische der Serie PlanarDLA von Aerotech bieten eine freie Apertur, hohe Dynamik und hervorragende geometrische Performance in einem kompakten Niedrigprofilpaket. Diese Tische sind idealfür Anwendungen geeignet, die von der doppelseitigen LED-Wafer-Bearbeitung, bei der es auf hohe Dynamik und Geradheit im Mikrometerbereich ankommt, bis zu quasistatischer optischer Messtechnik reichen, bei der eine hohe Genauigkeit und eine präzise geometrische Performance erforderlich sind. Unabhängig vom Anwendungsbereich ist der PlanarDLA auf viele verschiedene Anwendungsanforderungen ausgelegt und bietet eine ganze Reihe konfigurierbarer Optionen.

Höchst präzise Tischauslegung

Die XY-Bauweise des PlanarDLA ermöglicht eine unerreichte planare geometrische Performance bei Anwendungen, bei denen es besonders auf Geradheit und Ebenheit ankommt. Hochpräzisions-Rollenlager, präzisionsgefertigte Oberflächen und berührungslose, direkt angetriebene Linearmotoren mit Antrieb durch die Steifigkeitsmitte der Achsen resultieren in einem Positioniertisch mit außerordentlichen geometrischen Toleranzen (Geradheit bis ±0,5 µm und Ebenheit bis ±1,25 µm).

Die Bauelemente des PlanarDLA sind unter dem Aspekt einer hohen Dynamik und Steifigkeit optimiert, um auch den anspruchsvollsten dynamischen Anwendungen gerecht zu werden. Mithilfe ausgefeilter Konstruktionspraktiken der PlanarDLA hohe Servoantriebsbandbreiten erzielen und gleichzeitig die verfügbare freie Apertur maximieren und die Gesamthöhe auf ein Minimum reduzieren. Der PlanarDLA kann Geschwindigkeiten von 2 m/s und Beschleunigungen von 2 g erzielen und ermöglicht eine Bearbeitung bei hohem Durchsatz und hoher Genauigkeit, was zu ausgezeichneten Prozessergebnissen und niedrigen Gesamtbetriebskosten führt.

Berührungslose Direktantriebstechnik

Nur die berührungslose Direktantriebstechnik bietet hohe Geschwindigkeit und genaue Positionierung, gepaart mit einem wartungsfreien Betrieb und einer langen Lebensdauer. Im PlanarDLA steckt die eigens entwickelte Direktantriebstechnik von Aerotech. Diese Antriebstechnik gestattet eine beispiellose Performance im Vergleich zu spindelbasierten und Linearmotorauslegungen anderer Hersteller.

Alle PlanarDLA-Tische sind mit einem oder mit zwei Motoren pro Achse erhältlich, was die Optimierung jeder Einzelachse für die spezifische Anwendung bzw. den jeweiligen Prozess ermöglicht. Bei zwei Motoren wirkt die resultierende Antriebskraft durch die Reibungs- und Steifigkeitszentren, was zu einer hervorragenden geometrischen Performance und Genauigkeit führt, während ein Motor pro Achse eine kostengünstigere Option darstellt, wenn es nicht so sehr auf hohen Durchsatz und strikteste Positionierungs-Performance ankommt.

Viele verschiedene Kabelmanagement-Optionen

Das Standard-Kabelmanagement-System des PlanarDLA ist in den Tisch integriert und auf lange Lebensdauer und Performance optimiert. Es sind mehrere Standardoptionen für zusätzliche Servoachsen, Luft-/Vakuumleitungen für Vakuumspannvorrichtungen oder andere Prozesspneumatik-Komponenten erhältlich.

Extreme Performance

Der PlanarDLA ist in drei Positionierungs-Performance-Ausführungen erhältlich. Aerotech stützt sich auf jahrzehntelange Erfahrungen mit Konstruktionen auf Systemebene, und zwar nicht nur in Bezug auf die Positionierungsmechanik, sondern auch hinsichtlich Software und Elektronik. Unser Unternehmen hat schon immer fortgeschrittene Technologien entwickelt, deren Präzision immer wieder neue Maßstäbe setzt. Die verfügbaren Hochleistungsoptionen -PLUS und -ULTRA bieten Genauigkeits- und Geradheitswerte von bis zu ±500 nm sowie eine Rechtwinkligkeit von bis zu 5 µrad.

Spezifikationen

PlanarDLA Spezifikationen

 PlanarDLA-150XYPlanarDLA-250XY
  -PL1 -PL3(1,2) -PL4(1,2) -PL1 -PL3(1,2) -PL4(1,2)
Verfahrweg 150 mm x 150 mm 250 mm x 250 mm
Genauigkeit(2) Single
Motor
±5 µm ±0,7 µm ±0,7 µm ±6 µm ±0,8 µm ±0,8 µm
Dual Motoren ±4 µm ±0,4 µm ±0,4 µm ±5 µm ±0,5 µm ±0,5 µm
Bidirektionale Wiederholbarkeit Single
Motor
±0,5 µm ±0,5 µm
Dual
Motoren
±0,25 µm ±0,25 µm
Auflösung
(Minimale Inkrementbewegung)(3)
3 nm 3 nm
Geradheit Obere Achse -M1 oder -M3
Motor
±1,5 µm ±1,5 µm ±0,7 µm ±2,0 µm ±2,0 µm ±0,7 µm
-M2 oder -M4 Motoren ±1,0 µm ±1,0 µm ±0,5 µm ±1,5 µm ±1,5 µm ±0,5 µm
Untere Achses -M1 oder -M2
Motor
±2,5 µm ±2,5 µm ±0,7 µm ±3,25 µm ±3,25 µm ±0,7 µm
-M3 oder -M4 Motoren ±2,0 µm ±2,0 µm ±0,5 µm ±2,75 µm ±2,75 µm ±0,5 µm
Ebenheit ±1,25 µm ±1,75 µm
Nicken 39 µrad (8 Winkelsekunden) 58 µrad (12 Winkelsekunden)
Rollen 39 µrad (8 Winkelsekunden) 58 µrad (12 Winkelsekunden)
Gieren Single
Motor
39 µrad (8 Winkelsekunden) 49 µrad (10 Winkelsekunden)
Dual Motoren 29 µrad (6 Winkelsekunden) 39 µrad (8 Winkelsekunden)
Rechtwinkligkeit 97 μrad
(20 Winkelsek.)
24 µrad
(5 Winkelsek.)
5 µrad
(1 Winkelsek.)
97 μrad
(20 Winkelsek.)
24 µrad
(5 Winkelsek.)
5 µrad
(1 Winkelsek.)
Max. Geschwindigkeit(4) 1,5 m/s 2,0 m/s
Max. Beschleunigung
(Keine Last; obere Achse)(4)
1,0 g (-M1 oder -M3 Motor)
2,0 g (-M2 oder -M4 Motoren)
1,0 g (-M1 oder -M3 Motor)
2,0 g (-M2 oder -M4 Motoren)
Max. Kraft
- Kontinuierlich, 1.4 bar (20 psi) Luftkühlung
Obere Achse 47 N (-M1 oder -M3 Motor)
94 N (-M2 oder -M4 Motoren)
120 N (-M1 oder -M3 Motor)
240 N (-M2 oder -M4 Motoren)
Untere Achse 120 N (-M1 oder -M2 Motor)
240 N (-M3 oder -M4 Motoren)
250 N (-M1 oder -M2 Motor)
500 N (-M3 oder -M4 Motoren)
Tragfähigkeit(5) Horizontal 20 kg 30 kg
Bewegte Masse Obere Achse 4,3 kg (-M1 oder -M3 Motor)
4,5 kg (-M2 oder -M4 Motor)
6,9 kg (-M1 oder -M3 Motor)
7,2 kg (-M2 oder -M4 Motor)
Untere Achse 18,1 kg (-M1 Motor)
20,0 kg (-M2 Motor)
18,5 kg (-M3 Motor)
20,6 kg (-M4 Motor)
33,7 kg (-M1 Motor)
38,1 kg (-M2 Motor)
34,6 kg (-M3 Motor)
39,0 kg (-M4 Motor)
Tischmasse(6) 30 kg-36 kg 60 kg-67 kg
Material Schwarz eloxiertes Aluminium
MTBF (Mean Time Between Failure, mittlere Betriebsdauer zwischen Ausfällen) 30.000 Stunden
  1. Die Optionen -PL3 und -PL4 erfordern die Verwendung einer Aerotech-Steuerung.
  2. Die Spezifikationen für -PL1 und -PL3-Optionen gelten pro Achse, 25 mm über dem Verfahrschlitten gemessen. Die Spezifikationen für -PL4 sind XY, 25 mm über dem Verfahrschlitten gemessen.
  3. Spezifiziert für dual Motoren. Kontaktieren Sie uns bezüglich single Motoren.
  4. Erfordert die Auswahl eines passenden Verstärkers mit ausreichend Versorgungsspannung und Leistung.
  5. Achsenorientierung für Achsenbelastung wird aufgeführt.
  6. Tischmasse ist abhängig von Motorkonfiguration.
 PlanarDLA-330XY
  -PL1 -PL3(1,2) -PL4(1,2)
Verfahrweg 330 mm x 330 mm
Genauigkeit(2) Single Motor ±8 µm ±1 µm ±1 µm
Dual Motoren ±6 µm ±0,7 µm ±0,7 µm
Bidirektionale Wiederholbarkeit Single Motor ±0,5 µm
Dual Motoren ±0,25 µm
Auflösung
(Minimale Inkrementbewegung)(3)
3 nm
Geradheit Obere Achse -M1 oder -M3 Motor ±2,5 µm ±2,5 µm ±0,8 µm
-M2 oder -M4 Motoren ±2,0 µm ±2,0 µm ±0,6 µm
Untere Achse -M1 oder -M2 Motor ±4, µm ±4,0 µm ±0,8 µm
-M3 oder -M4 Motoren ±3,5 µm ±3,5 µm ±0,6 µm
Ebenheit ±2,5 µm
Nicken 68 µrad (14 Winkelsekunden)
Rollen 68 µrad (14 Winkelsekunden)
Gieren Single Motor 58 µrad (12 Winkelsekunden)
Dual Motoren 49 µrad (10 Winkelsekunden)
Rechtwinkligkeit 97 μrad
(20 Winkelsek.)
24 µrad
(5 Winkelsek.)
5 µrad
(1 Winkelsek.)
Max. Geschwindigkeit(4) 2,0 m/s
Max. Beschleunigung
(Keine Last; obere Achse)(4)
1,0 g (-M1 oder -M3 Motor)
2,0 g (-M2 oder -M4 Motoren)
Max. Kraft - kontinuierlich, 1.4 bar (20 psi) Luftkühlung
Obere Achse 173 N (-M1 oder -M3 Motor)
346 N (-M2 oder -M4 Motoren)
Untere Achse 302 N (-M1 oder -M2 Motor)
604 N (-M3 oder -M4 Motoren)
Tragfähigkeit(5) Horizontal 50 kg
Bewegte Masse Obere Achse 13,4 kg (-M1 oder -M3 Motor)
14,0 kg (-M2 oder -M4 Motor)
Untere Achse 57,0 kg (-M1 Motor)
65,3 kg (-M2 Motor)
58,1 kg (-M3 Motor)
66,5 kg (-M4 Motor)
Tischmasse(6) 93 kg - 109 kg
Material Schwarz eloxiertes Aluminium
MTBF (Mean Time Between Failure, mittlere Betriebsdauer zwischen Ausfällen) 30.000 Stunden
  1. Die Optionen -PL3 und -PL4 erfordern die Verwendung einer Aerotech-Steuerung.
  2. Die Spezifikationen für -PL1 und -PL3-Optionen gelten pro Achse, 25 mm über dem Verfahrschlitten gemessen. Die Spezifikationen für -PL4 sind XY, 25 mm über dem Verfahrschlitten gemessen.
  3. Spezifiziert für dual Motoren. Kontaktieren Sie uns bezüglich single Motoren.
  4. Erfordert die Auswahl eines passenden Verstärkers mit ausreichend Versorgungsspannung und Leistung.
  5. Achsenorientierung für Achsenbelastung wird aufgeführt.
  6. Tischmasse ist abhängig von Motorkonfiguration.

Elektrische Daten

 PlanarDLA
Antriebssystem Bürstenloser Linearservomotor
Feedback Berührungsloser Linear-Encoder
Maximale Busspannung 340 V DC
Endschalter 5 V, Öffner
Referenzpunktschalter Nähe Mitte des XY-Verfahrwegs

Empfohlene Steuerung

 PlanarDLA
Mehrere Achsen A3200 Ndrive CP
Ndrive HLe/Ndrive HPe
Npaq
Ensemble Ensemble CP
Ensemble HLe/Ensemble HPe
  • PlanarDLA-Plots
    Auslegerlast-Performance-Plots

Maße

Bestellinformationen

PlanarDLA Zweiachsiger, mechanisch gelagerter, direkt angetriebener Tisch mit Apertur

OptionBeschreibung
PlanarDLA-150XY Linearmotor-XY-Tisch mit freier Apertur; 150 mm x 150 mm Verfahrweg
PlanarDLA-250XY Linearmotor-XY-Tisch mit freier Apertur; 250 mm x 250 mm Verfahrweg
PlanarDLA-330XY Linearmotor-XY-Tisch mit freier Apertur; 330 mm x 330 mm Verfahrweg

Motor (erforderlich)

OptionBeschreibung
-M1 1 Motor auf unterer Achse; 1 Motor auf oberer Achse
-M2 1 Motor auf unterer Achse; 2 Motoren auf oberer Achse
-M3 2 Motor auf unterer Achse; 1 Motor auf oberer Achse
-M4 2 Motoren auf unterer Achse; 2 Motoren auf oberer Achse

Feedback (erforderlich)

OptionBeschreibung
-E1 Inkremental-Encoder, 1 Vss auf unterer und oberer Achse
-E2 Inkremental-Encoder, 0,1 µm TTL auf oberer Achse; 1 Vss auf unterer Achse
-E3 Inkremental-Encoder, 1 Vss auf oberer Achse; 0,1 µm TTL auf unterer Achse
-E4 Inkremental-Encoder, 0,1 µm TTL auf oberer und unterer Achse

Kabelmanagement (optional)

OptionBeschreibung
-CMS1 Kabelmanagement für Druckluft-/Vakuumleitung
-CMS2 Kabelmanagement für Druckluft-/Vakuumleitung und Motor/Feedback 3. Achse

Performance-Grad (erforderlich)*

OptionBeschreibung
-PL1 Basis-Performance
-PL3 Hochpräzisions-Performance, PLUS
-PL4 Ultra-Hochpräzisions-2D-Performance, ULTRA
    *Hinweis: Performance-Grade -PL3 und -PL4 erfordern Aerotech-Steuerung.

Integration (erforderlich)

Aerotech bietet sowohl Standard- als auch benutzerdefinierte Integrationsleistungen, damit Ihr System so schnell wie möglich betriebstüchtig ist. Für dieses System stehen folgende Standardintegrationsoptionen zur Verfügung. Wenn Sie sich nicht sicher sind, welche Integrationsstufe Sie benötigen, oder benutzerdefinierten Integrationssupport mit Ihrem System wünschen, wenden Sie sich bitte an Aerotech.
-TAS Integration – Test as System (als System testen)
Testen, Integration und Dokumentation einer Gruppe von Komponenten als Komplettsystem, das zusammen verwendet wird (z. B. Antrieb, Steuerung und Tisch). Dies umfasst Parameterdatei-Erstellung, Systemfeineinstellung und Dokumentation der Systemkonfiguration.
-TAC Integration – Test as Components (einzelne Komponenten testen)
Testen und Integration der einzelnen Bestandteile als eigene Komponenten. Wird in der Regel für Ersatzteile oder Artikel verwendet, die nicht zusammen verwendet werden (z. B. nur Tisch). Diese Komponenten können Teil eines größeren Systems sein, müssen aber nicht.