Nmark AGV-HP(O) Galvo-Scanner mit hoher Genauigkeit und Wärmebeständigkeit

Produktbeschreibung

Design Features

  • Der Scanner mit der höchsten verfügbaren Präzision erzielt eine Genauigkeit im einstelligen Mikrometerbereich über das gesamte Sichtfeld
  • Optische Feedback-Technologie verbessert die Wärmebeständigkeit beträchtlich
  • Branchenweit beste Auflösung von >24 Bits bei Verwendung der Aerotech-Steuerung Nmark GCL
  • Breiter Bereich von Aperturen und Brennweiten
  • Viele Optionen für Spiegelflächenbehandlungen für eine Vielzahl verschiedener Laserwellenlängen

Ultimative Genauigkeit und Stabilität

Die thermisch stabilen Feedback-Sensoren mit hoher Wiederholbarkeit, die mit den Scannersystemen AGV-HP verwendet werden, können bis auf eine Genauigkeit im einstelligen Mikrometerbereich über das Sichtfeld kalibriert werden (siehe Abbildung unten). Mit der extrem niedrigen thermischen Veränderung der Positionsgeber halten komplexe, High-Density-Laserbearbeitungs-Anwendungsbereiche, die über lange Zeiträume laufen, eine einheitliche Feature-Platzierungsgenauigkeit auf Mikrometerebene über die gesamte Prozessdauer aufrecht. Ebenso gewährleisten Anwendungsbereiche mit hohem Durchsatz einheitliche Qualitäten von Teil zu Teil, ohne dass zwischen den einzelnen Teilen neu kalibriert werden muss. Für eine optimale Wärmebeständigkeit können die AGV-HP-Scanner mit Wasserkühlung ausgestattet werden, um die Betriebstemperatur des Geräts unter verschiedenen Lasten, Umgebungstemperaturschwankungen oder bei Strahlunterbrechungen an der Eingangsapertur zu stabilisieren.

Echtzeit-Prozesstransparenz

Die Position der AGV-HP-Spiegel kann in Echtzeit erfasst und analysiert werden. Dank direktem Zugang zu den Positionen des Scanners muss der Benutzer keine Verzögerungsparameter mehr programmieren, um Verzögerungs- und Tracking-Fehler im Servosystem zu kompensieren. Der Prozess kann vor der Herstellung des Teils optimiert werden, was Zeit spart und den Materialausschuss verringert. Der Zustand des Lasers kann auch anhand von Positions- und Geschwindigkeitskriterien gesteuert werden, wodurch die Programmierungskomplexität weiter reduziert wird.

Erweiterte Programmierfunktionen

Das AGV-HP nutzt alle erweiterten Bewegungs- und PSO (Position Synchronized Output)-Funktionen, die für herkömmliche servobasierte Laserbearbeitungs-Anwendungsbereiche entwickelt wurden. Bahnsteuerungsfunktionen wie die Beschleunigungsbegrenzung können dazu eingesetzt werden, Geschwindigkeiten in engen Kurven oder bei kleinen Radien zu reduzieren, um ein Übersteuern zu minimieren. Der Laser kann anhand der Positionsrückmeldung der Spiegel mit PSO ausgelöst werden, um eine einheitliche Punktüberlappung bei veränderten Scannergeschwindigkeiten zu gewährleisten. Die Aerotech-Funktion Infinite Field of View (IFOV) kombiniert nahtlos Servo- und Scannerbewegung, um die Markierungsfunktionen des Scanners auf den gesamten Verfahrweg der Servotische auszuweiten, wodurch Fehler beim Zusammenfügen (Stitching) vermieden werden, die bei herkömmlichen Move-Expose-Repeat-Prozessen vorkommen können.

Designoptionen

Die AGV-HP-Reihe ist mit 10, 14, 20, und 30 mm großen Eingangsaperturen lieferbar und kann mit einem F-Theta- oder telezentrischen Objektiv direkt von Aerotech ausgestattet werden. Die Benutzer können die Fokussieroptik auch direkt von einem bewährten Anbieter beziehen, wobei Aerotech einen Abstandshalterring liefert, um zu gewährleisten, dass Rückreflexionen durch die Optik die Scannerspiegel nicht beschädigen. Es werden Spiegelbeschichtungen für eine Vielzahl von Wellenlängen im Bereich UV, sichtbares Licht, IR und CO2 unterstützt. Für ultraschnelle Laser optimierte Beschichtungen sind ebenfalls verfügbar.

Weitere Ressourcen

Weitere Informationen zur IFOV-Konfiguration finden Sie HIER.

Weitere Informationen zu fortgeschrittenen Lasersteuerungen finden Sie HIER.

Unsere Broschüre Effortlessly Combine Motion of Galvo Scanners & Servo Systems with Aerotech’s Infinite Field of View erhalten Sie HIER.

Galvo Calibration File Converter (GCFC) – Benutzen Sie den GCFC um neue Galvo-Kalibrationstabellen zu erstellen, vorhandene zu optimieren oder Tabellen von Drittanbietern zu konvertieren, damit sie mit unseren Scanneransteuerungen Nmark CLS und Nmark SSaM kompatibel sind.

Außerdem beschreibt unsere Anleitung "Using the Galvo Calibration File Converter with the Nmark CLS" wie man neue Kalibrationstabellen erstellt und mit bereits vorhandenen zusammenführt.

Das neueste Webcast von Aerotech, Accuracy of Combined Scanning and Servo Systems (Genauigkeit kombinierter Scan- und Servosysteme) könnte für Sie von Interesse sein.

Zusammenfassung: Linear- und Rotationsstellglieder werden oft dazu verwendet, den effektiven Arbeitsbereich von Scanner-/Galvo-Markierungsköpfen zu erweitern. Diese Präsentation behandelt durch Ausrichtung, Skalierung, Rotation und Zusammenfügen verursachte Fehler sowie deren kombinierte Auswirkungen auf die Qualität des produzierten Teils. Erweiterte Fehlerkorrektur, Konturplanung und Laserauslöseverfahren, die dazu dienen, solche Fehler zu minimieren, werden ebenfalls besprochen.

Um auf die archivierte Präsentation zuzugreifen, klicken Sie HIER.

 HP

 

Spezifikationen

Nmark AGV-HP - Spezifikationen

ModellAGV10HP(O)AGV14HP(O)AGV20HP(O)AGV30HP(O)
Optische Eigenschaften
Strahlapertur 10 mm 14 mm 20 mm 30 mm
Maximaler Scanwinkel ±20°
Strahlverdrängung 13,0 mm 18,0 mm 25,1 mm 35,7 mm
Feedback-Auflösung 0,007 µrad (26 bit)
Dither (Minimale inkrementelle Bewegung)(2) 0,2 µradRMS
Genauigkeit 50 µrad pk-pk
Wiederholbarkeit(3) 0,4 µradRMS
Verstärkungsfehler 0,05 mrad
Nichtlinearität 0,005%
Dynamische Eigenschaften
Tracking-Fehler 0 µsec
Max. Beschleunigung(4,5) 288,000 m/s2 224,000 m/s2 80,000 m/s2 56,000 m/s2
Dauerbeschleunigung(4, 6) 75,200 m/s2 56,000 m/s2 20,800 m/s2 19,200 m/s2
Positionierungsgeschwindigkeit(4) 75 m/s 75 m/s 50 m/s 50 m/s
Markierungsgeschwindigkeit(4, 7, 8) 5 m/s 5 m/s 5 m/s 5 m/s
Jump & Settle Time, 1 mm Schritt(4, 9) 270 µs 270 µs 450 µsec 700 µs
Stabilität
Langzeit-Drift(3) Versatz 10 µrad/12 Std.
15 µrad/24 h
Verstärkung 10 ppm/24 h
Thermische Verschiebung Versatz 10 µrad/°C
Verstärkung 1 ppm/°C
Mechanische-Spezifikationen
Gewicht 4,0 kg 4,3 kg 5,0 kg 5,8 kg
Material Aluminium (schwarz eloxiert und blau lackiert)
MTBF (Mean Time Between Failure, mittlere Betriebsdauer zwischen Ausfällen) 20.000 Stunden

1. Alle Winkel optisch, wenn nicht anderweitig angegeben.
2. Ohne AC-Luftkühlungsoption.
3. Nach einer Aufwärmzeit von 3h; Umgebungstemperaturabweichung <0,5 °C.
4. Mit im Scankopf montierten Galvo-Motoren gemessen.
5. Basierend auf dem Motormaximalstrom.
6. Basierend auf dem Motornennstrom mit -WC Wasserkühlung; maximale Dauerbeschleunigung beträgt 70% des Wertes ohne Wasserkühlung.
7. Erreichbar mit <1% Geschwindigkeitsabweichung während der Bewegung bei konstanter Geschwindigkeit.
8. Markiergeschwindigkeit abhängig vom zulässigen Schleppfehler.
9. Eingeschwungen auf eine Abweichung von <1% des Schrittes.
10. Alle Spezifikationen pro Achse, wenn nicht anderweitig angegeben.

Elektrische Daten

ModellAGV10HP(O)AGV14HP(O)AGV20HP(O)AGV30HP(O)
Antriebssystem Bürstenloser direkt angetriebener Galvano-Motor
Feedback Berührungsloser Drehgeber
Maximale Busspannung ±40 V DC
Endschalter Nur Softwaregrenzschalter
Referenzpunktschalter An Mitte

Maße

Bestellinformationen

Nmark AGV-HP(O) Galvanometer Scanner

OptionBeschreibung
AGV-10HP (O) 2-Achsen-Galvanometer-Scanner mit 10-mm-Durchmesser-Strahlapertur und integriertem Hochpräzisions-Feedback
AGV-14HP(O) 2-Achsen-Galvanometer-Scanner mit 14-mm-Durchmesser-Strahlapertur und integriertem Hochpräzisions-Feedback
AGV-20HP(O) 2-Achsen-Galvanometer-Scanner mit 20-mm-Durchmesser-Strahlapertur und integriertem Hochpräzisions-Feedback
AGV-30HP(O) 2-Achsen-Galvanometer-Scanner mit 30-mm-Durchmesser-Strahlapertur und integriertem Hochpräzisions-Feedback

Gehäusetyp (erforderlich)

OptionBeschreibung
- Geschlossenes Scannergehäuse (AGVxxHP)
O Offenes Scannergehäuse (AGVxxHPO)

Strahleintritt (erforderlich)

OptionBeschreibung
-BE1 Laserstrahleintritt rechte Seite (Standard)
-BE2 Laserstrahleintritt linke Seite

Wellenlänge der Spiegelbeschichtung (erforderlich)

Option AGV10HP(O) AGV14HP(O) AGV20HP(O) AGV30HP(O)
-W1 - - 10,6 um Wellenlänge Beschichtung
-W2 Widerstandsfähige silberbeschichtete Spiegel, 450 µm - 10,6 µm - - -
-W3 1552 µm Wellenlänge Beschichtung -
-W4 1064 µm Wellenlänge Beschichtung
-W5 1030 µm Wellenlänge Beschichtung -
-W6 532 µm Wellenlänge Beschichtung -
-W7 515 µm Wellenlänge Beschichtung -
-W8 355 µm Wellenlänge Beschichtung -
-W9 - 343 µm Wellenlänge Beschichtung -
-W10 1064, 532 und 355 µm Tri-Band Wellenlänge Beschichtung -
-W11 1030, 515 und 343 µm Tri-Band Wellenlänge Beschichtung - -

Hinweise:

  1. Spezialbeschichtungen verfügbar. Details erhalten Sie im Werk.
  2. -W2 (Durable-Silver) option only available with AGV10HP(O)-BE1.
  3. -W4 (1064 nm) option not available with AGV30HP(O)-BE2.
  4. -Optionen W9 (343 nm) und -W11 (1030/515/343 nm) mit -BE2 nicht verfügbar.
  5. AGV20HP(O)-BE2 nur mit Optionen -W1 (CO2), -W4 (1064 nm) und -W6 (532 nm) verfügbar.
  6. Begrenzter Betriebsstrom.

Montageplatte (optional)

OptionBeschreibung
-MP Montageplatte

Hinweis: Die Option -MP ist nur bei Modellen mit geschlossenem Scannergehäuse (AGVxxHP) verfügbar.

Luftkühlung (optional)

OptionBeschreibung
-AC Luftkühlung

Hinweis: Luftkühlung nur bei Modellen mit geschlossenem Gehäuse verfügbar

Wasserkühlung (optional)

OptionBeschreibung
-WC Wasserkühlung

Hinweis: Wasserkühlung nur bei Modellen mit geschlossenem Gehäuse verfügbar

Performance-Grad (erforderlich)

OptionBeschreibung
-PL0 Standard-Performance-Grad
-PL9 Ultra-Performance-Grad

Integration (erforderlich)

Aerotech bietet sowohl Standard- als auch benutzerdefinierte Integrationsleistungen, damit Ihr System so schnell wie möglich betriebstüchtig ist. Für dieses System stehen folgende Standardintegrationsoptionen zur Verfügung. Wenn Sie sich nicht sicher sind, welche Integrationsstufe Sie benötigen, oder benutzerdefinierten Integrationssupport mit Ihrem System wünschen, wenden Sie sich bitte an Aerotech.

OptionBeschreibung
-TAS Integration – Test as System (als System testen)
Testen, Integration und Dokumentation einer Gruppe von Komponenten als Komplettsystem, das zusammen verwendet wird (z. B. Antrieb, Steuerung und Tisch). Dies umfasst Parameterdatei-Erstellung, Systemfeineinstellung und Dokumentation der Systemkonfiguration.
-TAC Integration – Test as Components (einzelne Komponenten testen)
Testen und Integration der einzelnen Bestandteile als eigene Komponenten. Wird in der Regel für Ersatzteile oder Artikel verwendet, die nicht zusammen verwendet werden (z. B. nur Tisch). Diese Komponenten können Teil eines größeren Systems sein, müssen aber nicht.

Objektivmontageadapter (getrennt zu bestellen)

OptionBeschreibung
LM10HP-XXX Objektivmontageadapter für AGV10HP(O); Standardversionen unterstützen die von Aerotech angebotenen Objektivkonfigurationen; kundenspezifische Versionen auf Anfrage erhältlich
LM14HP-XXX Objektivmontageadapter für AGV14HP(O); Standardversionen unterstützen die von Aerotech angebotenen Objektivkonfigurationen; kundenspezifische Versionen auf Anfrage erhältlich
LM20HP-XXX Objektivmontageadapter für AGV20HP(O); Standardversionen unterstützen die von Aerotech angebotenen Objektivkonfigurationen; kundenspezifische Versionen auf Anfrage erhältlich
LM30HP-XXX Objektivmontageadapter für AGV30HP(O); Standardversionen unterstützen die von Aerotech angebotenen Objektivkonfigurationen; kundenspezifische Versionen auf Anfrage erhältlich

F-Theta-Objektive als Standardoptionen verfügbar (optional)(1, 2)

F-Theta Optionen inbegriffen(1,2)
Wellenlänge Brennweite AGV-10HP(O) AGV-14HP(O) AGV-20HP(O) AGV-30HP(O)
10,6 μm 100 mm
Telezentrisch
- - 10,6 um Wellenlänge
100 mm Brennweite
38.6 x 38.6 mm FOV
Telezentrisch
(-L1)
-
160 mm - - 10,6 um Wellenlänge
160 mm Brennweite
76,0 x 76,0 mm FOV
Nicht telezentrisch
(-L2)
-
255 mm - - 10,6 um Wellenlänge
255 mm Brennweite
163,8 x 163,8 mm FOV
Nicht telezentrisch
(-L3)
10,6 um Wellenlänge
255 mm Brennweite
104.4 x 104.4 mm FOV
Nicht telezentrisch
(-L1)

1552 µm
100 mm
Telezentrisch
1552 um Wellenlänge
100 mm Brennweite
55,2 x 55,2 mm FOV
Telezentrisch
(-L1)
1552 um Wellenlänge
100 mm Brennweite
49,4 x 49,4 mm FOV
Telezentrisch
(-L3)
- -
163 mm telezentrisch 1552 um Wellenlänge
163 mm Brennweite
93,8 x 93,8 mm FOV
Telezentrisch
(-L2)
1552 um Wellenlänge
163 mm Brennweite
93,8 x 93,8 mm FOV
Telezentrisch
(-L2)
- -
1064 µm 100 mm 1064 µm Wellenlänge
100 mm Brennweite
66,9 x 66,9 mm FOV
Nicht telezentrisch
(-L3) [3]
1064 µm Wellenlänge
100 mm Brennweite
37.0 x 37.0 mm FOV
Nicht telezentrisch
(-L5) [3]"
- -
100 mm telezentrisch 1064 µm Wellenlänge
100 mm Brennweite
69,8 x 69,8 mm FOV
Telezentrisch
(-L4) [3]
1064 µm Wellenlänge
100 mm Brennweite
61,6 x 61,6 mm FOV
Telezentrisch
(-L6) [3]
1064 µm Wellenlänge
100 mm Brennweite
44,0 x 44,0 mm FOV
Telezentrisch
(-L4)
-
160 mm 1064 µm Wellenlänge
160 mm Brennweite
107,6 x 107,6 mm FOV
Nicht telezentrisch
(-L5) [3]
1064 µm Wellenlänge
160 mm Brennweite
78,4 x 78,4 mm FOV
Nicht telezentrisch
(-L7) [3]
- -
163 mm - - 1064 µm Wellenlänge
163 mm Brennweite
72,4 x 72,4 mm FOV
Nicht telezentrisch
(-L5) [3]
-
163 mm telezentrisch 1064 µm Wellenlänge
163 mm Brennweite
92,0 x 92,0 mm FOV
Telezentrisch
(-L6)
1064 µm Wellenlänge
163 mm Brennweite
85,2 x 85,2 mm FOV
Telezentrisch
(-L8)
1064 µm Wellenlänge
163 mm Brennweite
71,6 x 71,6 mm FOV
Telezentrisch
(-L6)
-
170 mm - 1064 µm Wellenlänge
170 mm Brennweite
110,8 x 110,8 mm FOV
Nicht telezentrisch
(-L9) [3]
- -
200 mm - - - 1064 µm Wellenlänge
200 mm Brennweite
68,0 x 68,0 mm FOV
Nicht telezentrisch
(-L2) [3]
255 mm - - 1064 µm Wellenlänge
255 mm Brennweite
154,2 x 154,2 mm FOV
Nicht telezentrisch
(-L7) [3]
1064 µm Wellenlänge
255 mm Brennweite
91,6 x 91,6 mm FOV
Nicht telezentrisch
(-L3) [3]
500 mm - - - 1064 µm Wellenlänge
500 mm Brennweite
233,2 x 233,2 mm FOV
Nicht telezentrisch
(-L4)
1030 µm 100 mm telezentrisch 1030 µm Wellenlänge
100 mm Brennweite
41,6 x 41,6 mm FOV
Telezentrisch
(-L7)
1030 µm Wellenlänge
100 mm Brennweite
34,8 x 34,8 mm FOV
Telezentrisch
(-L10)
- -
163 mm telezentrisch 1030 µm Wellenlänge
163 mm Brennweite
92,0 x 92,0 mm FOV
Telezentrisch
(-L8)
1030 µm Wellenlänge
163 mm Brennweite
85,0 x 85,0 mm FOV
Telezentrisch
(-L11)
- -
532 µm 100 mm 532 µm Wellenlänge
100 mm Brennweite
57,2 x 57,2 mm FOV
Nicht telezentrisch
(-L9) [3]
- - -
100 mm telezentrisch 532 µm Wellenlänge
100 mm Brennweite
64,6 x 64,6 mm FOV
Telezentrisch
(-L10) [3]
532 µm Wellenlänge
100 mm Brennweite
57,0 x 57,0 mm FOV
Telezentrisch
(-L12) [3]
- -
160 mm 532 µm Wellenlänge
160 mm Brennweite
107,0 x 107,0 mm FOV
Nicht telezentrisch
(-L11) [3]
532 µm Wellenlänge
160 mm Brennweite
77,2 x 77,2 mm FOV
Nicht telezentrisch
(-L13) [3]
- -
163 mm telezentrisch 532 µm Wellenlänge
163 mm Brennweite
79,6 x 79,6 mm FOV
Telezentrisch
(-L12)
532 µm Wellenlänge
163 mm Brennweite
66,0 x 66,0 mm FOV
Telezentrisch
(-L14)
- -
170 mm - 532 µm Wellenlänge
170 mm Brennweite
103.8 x 103.8 mm FOV
Nicht telezentrisch
(-L15) [3]
- -
255 mm - - 532 µm Wellenlänge
255 mm Brennweite
148,0 x 148,0 mm FOV
Nicht telezentrisch
(-L8) [3]
-
515 μm 100 mm telezentrisch 515 µm Wellenlänge
100 mm Brennweite
41,4 x 41,4 mm FOV
Telezentrisch
(-L13)
515 µm Wellenlänge
100 mm Brennweite
34,6 x 34,6 mm FOV
Telezentrisch
(-L16)
- -
163 mm telezentrisch 515 µm Wellenlänge
100 mm Brennweite
79,2 x 79,2 mm FOV
Telezentrisch
(-L14)
515 µm Wellenlänge
100 mm Brennweite
65,8 x 65,8 mm FOV
Telezentrisch
(-L17)
- -
355 µm 53 mm telezentrisch 355 µm Wellenlänge
53 mm Brennweite
17,2 x 17,2 mm FOV
Telezentrisch
(-L15)
355 µm Wellenlänge
53 mm Brennweite
8,2 x 8,2 mm FOV
Telezentrisch
(-L18)
- -
100 mm telezentrisch 355 µm Wellenlänge
100 mm Brennweite
51,6 x 51,6 mm FOV
Telezentrisch
(-L16)
- - -
160 mm 355 µm Wellenlänge
160 mm Brennweite
92,4 x 92,4 mm FOV
Nicht telezentrisch
(-L17)
- - -
163 mm telezentrisch 355 µm Wellenlänge
163 mm Brennweite
80,8 x 80,8 mm FOV
Telezentrisch
(-L18)
355 µm Wellenlänge
163 mm Brennweite
74,6 x 74,6 mm FOV
Telezentrisch
(-L19)
- -
255 mm 355 µm Wellenlänge
255 mm Brennweite
143,0 x 143,0 mm FOV
Nicht telezentrisch
(-L19)
355 µm Wellenlänge
255 mm Brennweite
119,4 x 119,4 mm FOV
Nicht telezentrisch
(-L20)
- -
355 µm 53 mm telezentrisch - 343 µm Wellenlänge
53 mm Brennweite
8,0 x 8,0 mm FOV
Telezentrisch
(-L21)
- -
163 mm telezentrisch - 343 nm Wellenlänge
163 mm Brennweite
74,0 x 74,0 mm FOV
Telezentrisch
(-L22)
- -
255 mm - 343 nm Wellenlänge
255 mm Brennweite
118,4 x 118,4 mm FOV
Nicht telezentrisch
(-L23)
- -

Hinweise:

  1. Es wird vorausgesetzt, dass Eingangsstrahldurchmesser der Scankopfapertur bei 1/e2 Gaußschem Profil entspricht
  2. Angegebene Feldgröße ist kleinste erreichbare basierend auf Nullstrahlabschattung.
  3. F-Theta-Objektiv wird für die Verwendung mit Lasern mit kurzem Impuls (Impulsdauer ps und fs) nicht empfohlen. Bitte wenden Sie sich an das Werk, um Objektivoptionen zu erhalten, die mit Lasern mit kurzen Impulsen kompatibel sind.
  4. Spezialbeschichtungen verfügbar. Details erhalten Sie im Werk.