FiberGlide 3D Faseroptik-Positionierungsvorrichtung

Produktbeschreibung

Design Features

  • Für die Hochpräzisions-Photonik-Ausrichtung und -montage vorgesehen
  • Linear-Encoder-Feedback bietet Auflösung bis 2 nm
  • 62-Picometer-Auflösung mit Automation 3200 verfügbar
  • Voll vorgespanntes Luftlager
  • Vollständig berührungsloses Design
  • Ultragleichmäßige Geschwindigkeitsregelung

Die Serie FiberGlide 3D stellt die dreiachsigen Miniatur-Luftlagertische mit der derzeit höchsten Performance dar. Wir haben mehr als 30 Jahre Erfahrung mit Präzisionsbewegungssteuerungen und Positionierungssystemen mit den neuesten Technologien kombiniert, um einen hervorragenden luftgelagerten Lineartisch im Miniaturformat zu entwickeln.

Lineartisch

Der Linearpositionierer bietet ein voll vorgespanntes, berührungsloses Design. Die reibungslosen Luftlager haben sich als der Standard für Präzisionsanwendungen bewährt. Aerotech hat eine Miniaturversion entwickelt, die hervorragend für die Photonik-Industrie geeignet ist. Dieser von einem berührungslosen, bürstenlosen Linearmotor angetriebene Tisch ist die ultimative Lösung, wenn Anwendungen kleine, präzise Schritte oder eine konstante, gleichmäßige Geschwindigkeit erfordern. Dank jahrelanger Forschungsarbeiten entstand ein robustes und störungsfreies Kabelmanagementsystem.

Feedback- und Steuerungssystem

Direkt gekoppeltes, berührungsloses Linear-Encoder-Positionsfeedback mit verschiedenen Optionen verfügbar. Breites Sortiment von Steuerungen auf dem neuesten Stand der Technik verfügbar, darunter die Softwaresteuerung Automation 3200 mit Digitalantrieben.

Optionen

Praktische Rack- oder Schaltschrankmontage-Verstärker sind im Lieferumfang aller Systeme enthalten. Die fachkundigen technischen Mitarbeiter von Aerotech besitzen umfassende Erfahrungen mit benutzerdefinierten Systemauslegungen und arbeiten eng mit Ihnen zusammen, um genau das System zu entwickeln, das den einzigartigen Anforderungen Ihrer Anwendung gerecht wird.

Reinraum-Kompatibilität

Das Luftlagerdesign ist reinraumkompatibel. Ein qualitativ hochwertiges Kabelmanagement-System sowie eine geringe Partikelerzeugung dank der verwendeten Materialien sorgen dafür, dass das System bei korrekter Integration die Auflagen für Klasse 1 erfüllt.

Spezifikationen

FiberGlide 3D - Spezifikationen

ModellFiberGlide 3D
Gesamtverfahrweg 25 mm 50 mm 100 mm 150 mm
Antriebssystem Bürstenloser Linear-Servomotor
Busspannung bis 160 V DC
Dauerstrom Apk bis 2,9 A
Arms bis 2,1 A
BEMF,
Leitung-Leitung, max.
V/m/s 3,77952
V/in/s 0,096
Kraft konstant, sinusförmiger Antrieb N/A (lb/A), pk 3,29 (0,739)
N/A (lb/A), rms 4,65 (1,04)
Widerstand, 25 °C,
Leitung-Leitung
Ohm 5,2
Widerstand, 125 °C,
Leitung-Leitung
Ohm 7,28
Induktivität,
Leitung-Leitung
mH 0,7
Magnetischer Polabstand mm (Zoll) 16 (0,63)
Feedback Berührungsloser Linear-Encoder
Auflösung LN 1 nm
LT 5 nm
Max. Verfahrgeschwindigkeit(1) 300 mm/s
Maximale Linearbeschleunigung 1 g -10 m/s2 (ohne Last)
Max. Last 5,0 kg
Genauigkeit LN ±0,2 µm(2)
±1 µm
±0,2 µm(2)
±1 µm
±0,2 µm(2)
±2 µm
±0,5 µm(2)
±5 µm
LT ±0,3 µm(2)
±2 µm
±0,3 µm(2)
±2 µm
±0,3 µm(2)
±5 µm
±0,5 µm(2)
±5 µm
Wiederholbarkeit LN(2) ±50 nm
LT ±50 nm(2); ±100 nm
Geradheit und Ebenheit(3) ±0,25 µm ±0,25 µm ±0,4 µm ±0,4 µm
Nicken und Gieren ±0,25 Winkelsek.
/25 mm
±0,25 Winkelsek.
/25 mm
±0,25 Winkelsek.
/25 mm
±1,5 Winkelsek.
/25 mm
Nenngewicht Tisch 4,5 kg 5,5 kg 6,4 kg 12,7 kg
Bewegte Masse 1,9 kg 4,8 kg
Betriebsdruck(4) 80 psi ±5 psi
Luftverbrauch(5)(6) 53,1 SLPM bei 80 psi
Bauweise Aluminiumkörper/Hartstoffbeschichtung
  1. Die max. Geschwindigkeit beruht auf der Tischkapazität. Die max. Prozessgeschwindigkeit kann durch Systemdatenrate und -auflösung beschränkt sein.
  2. Werte mit Aerotech-Steuerungen und HAL-Option.
  3. Von der Ebenheit der Tischmontagefläche abhängig.
  4. Um Luftlager vor Druckabfall zu schützen, ist ein in die Leitung integrierter Druckschalter, der mit dem Notaus-Eingang der Steuerung verbunden ist, erforderlich.
  5. Versorgungsluft muss sauber, trocken bis 0° F Taupunkt und auf 0,25 µm oder höher gefiltert sein; Stickstoff mit einer Reinheit von 99,99 % wird empfohlen.
  6. Maximal erwarteter Luftverbrauch für ein dreiachsiges System.

Maße

Bestellinformationen

Bestellbeispiel

FG1000-3D -100 -LT

Bestelloptionen

SerieVerfahrweg (mm)Feedback
FA130US -25
-50
-100
-150
-LT
-LN
-LT/unten
-LN/unten
-LT/oben
-LN/oben
-LT/vertikal
-LN/vertikal

Photonik-Ausrichtungs- und Montagesystem der Serie FiberGlide 1000

OptionBeschreibung
FG1000-3D Linear-Luftlager-Positionierungsvorrichtung

Lineartisch-Verfahrweg (Z, X, Y)

OptionBeschreibung
-25* 25 mm (1 in) Verfahrtisch mit Linearmotor
-50 50 mm (2 in) Verfahrtisch mit Linearmotor
-100 100 mm (4 in) Verfahrtisch mit Linearmotor
-150** 150 mm (6 in) Verfahrtisch mit Linearmotor
*-25 kann nur in einer XY-Konfiguration mit dem -150 als untere Achse verwendet werden
**-150 kann nur als obere XY-Achse mit einem -150 als untere Achse verwendet werden
***Z-Achse kann nur -25 sein

Feedback

OptionBeschreibung
-LT Linear-Encoder-Feedback (10 nm Auflösung); analoges Sinussignal 1 Vss
-LN Hochpräzises Linear-Encoder-Feedback (2 nm Auflösung); analoges Sinussignal 1 Vss
-LT/unten LT-Option mit Kabelmanagement untere Achse
-LN/unten LN-Option mit Kabelmanagement untere Achse
-LT/oben LT-Option mit Kabelmanagement obere Achse
-LN/oben LN-Option mit Kabelmanagement obere Achse
-LT/vertikal LT-Option mit Kabelmanagement vertikale Achse
-LN/vertikal LN-Option mit Kabelmanagement vertikale Achse