FiberMaxHP Mehrachsen-Photonik-Ausrichtungssystem

Produktbeschreibung

Design Features

  • Auf Hochleistungs-ANT-Nanopositionierern basierende Photonik-Ausrichtungsplattform der 2. Generation
  • Bis zu 6 Achsen für präzise Bewegungen
  • Bewährte Zuverlässigkeit für die Rund-um-die-Uhr-Produktion
  • Hoher Ausrichtungsdurchsatz dank berührungslosem Direktantrieb für alle Achsen
  • Minimale Inkrementbewegung bis 2 nm bei Linearbewegung und 0,05 μrad bei Drehbewegung
  • Leistungsstarke Steuerungen mit Standard-Scanalgorithmen und virtueller Drehpunkt-Kinematik
  • Flexibles Design mit vielen verschiedenen Standardkonfigurationen und Optionen
  • Schnittstelle mit Stromzählern nach dem Branchenstandard

FiberMax®HP von Aerotech stellt einen bedeutenden Durchbruch bei der großvolumigen Fertigung und Prüfung von Photonik-Komponenten dar. FiberMaxHP profitiert von mehr als 40 Jahren Erfahrung bei der Entwicklung fortgeschrittener Positionierungssysteme für OEM und Endbenutzer in der Hi-Tech-Industrie. FiberMaxHP ist eine Photonik-Ausrichtungsplattform der zweiten Generation mit drei bis sechs Achsen, die auf der Nanopositionierungs-Produktreihe ANT von Aerotech basiert. Das System ist darauf ausgelegt, die anspruchsvollen Anforderungen der kritischen Photonik-Ausrichtung in einer hoch automatisierten 24/7-Produktionsumgebung zu erfüllen, und macht dabei keine Abstriche in puncto Geschwindigkeit, Genauigkeit oder Auflösung.

Ein präzises, industrielles Positionierungssystem mit hoher Wiederholbarkeit ist die Grundlage für die Fertigung und Prüfung von Photonik-Komponenten mit hohen Stückzahlen. Die außerordentlich zuverlässigen, einzigartigen Antriebs- und Steuertechnologien des FiberMaxHP gewährleisten einen wartungsfreien Betrieb über viele Jahre in einer 24/7-Fertigungsumgebung mit hohem Durchsatz.

Hochpräziser Direktantrieb

Während die Ausrichtungstoleranzen mit neuen Silizium-Photonik-Geräten immer geringer werden, gewinnt die Ausrichtung bei hoher Geschwindigkeit und Genauigkeit zusehends an Bedeutung. Die berührungslose Direktantriebstechnologie FiberMaxHP ermöglicht eine äußerst präzise Ausrichtung ohne Einbußen beim Produktionsdurchsatz. Da es minimale Inkrementbewegungen bis zu 2 nm bei Geschwindigkeiten bis zu 400 mm/s ausführen kann, erfüllt das FiberMaxHP die Herausforderungen der Ausrichtung von Photonik-Paketen der nächsten Generation.

Die Direktantriebstechnik des FiberMaxHP-Systems bietet gegenüber anderen Ausrichtungsplattformen signifikante Präzisions- und Durchsatzvorteile.

Leistungsstarke Kinematik und Scanroutinen

Die Steuerungen von Aerotech sind mit vielen verschiedenen Smart-Kameras und Maschinensichtsystemen kompatibel, um First Light (Erstes Licht) zu erleichtern. Unsere Power-Servo-Scanning-Algorithmen optimieren die Leistung, die durch die Geräte geleitet wird. Standard-Scanning-Routinen umfassen Schnellausrichtung, Steigungsanstieg, Spirale und Rastersuchen auf bis zu sechs Bewegungsachsen.

Unsere fortgeschrittene Kinematik ermöglicht einen virtuellen Drehpunkt, bei dem die Rotation an jedem benutzerdefinierten Punkt im Raum stattfinden kann, statt am physischen Drehpunkt der FiberMaxHP-Achsen. Dies unterstützt die Geschwindigkeit und Genauigkeit der aktiven Ausrichtung. Wir bieten eine umfassende Palette von Hardware- und Softwareoptionen für Ihre speziellen Anforderungen.

Flexible Systemkonfiguration

FiberMaxHP ist mit drei bis sechs direkt angetriebenen Ausrichtungsachsen lieferbar, wodurch die Plattform mit der exakt benötigten Achsenzahl spezifiziert werden kann. Da viele Anwendungen eine manuelle Einstellung der Befestigungs- und anderen Teile für die einmalige Erstausrichtung erfordern, sind ein bis drei manuelle winkelige Ausrichtungsachsen mit ±2° Bewegung im Lieferumfang des FiberMaxHP enthalten. Diese manuellen Einstellachsen werden direkt an der Direktantriebsplattform montiert und stellen eine wirtschaftlichere Alternative dar, wenn eine Ausrichtung nicht so häufig erforderlich ist.

Aerotech hat jahrelange Erfahrung mit Lösungen für die Photonik-Industrie. Wir wissen, dass Ihre Anwendung einzigartig ist und evtl. einer speziellen Anpassung bedarf. FiberMaxHP ist modular aufgebaut und kann ganz einfach mit Spezialanordnungen von Achsen, Bestigungsteilen und Montagemustern angepasst werden, um den speziellen Anforderungen Ihrer Anwendung gerecht zu werden.

Spezifikationen

FiberMaxHP — Spezifikationen

FiberMaxHP-ZXY-ZXYT-ZXYR-ZXYP
Verfahrweg X: 50 mm
Y: 3 mm
Z: 50 mm
X: 50 mm
Y: 3 mm
Z: 50 mm
T: 20 Grad
X: 50 mm
Y: 3 mm
Z: 50 mm
R: 20 deg
X: 50 mm
Y: 3 mm
Z: 50 mm
P: 20 deg
Genauigkeit(2,3) Basis-Performance (-PL1) X: ±3,0 μm
Y: ±2,0 μm
Z: ±3,5 μm
X: ±4,2 μm
Y: ±2,0 μm
Z: ±4,7 μm
T: ±25 μrad
X: ±4,2 μm
Y: ±2,0 μm
Z: ±4,7 μm
R: ±90 μrad
X: ±4,2 μm
Y: ±2,0 μm
Z: ±4,7 μm
P: ±90 μrad
PLUS Performance (-PL3) X: ±300 nm
Y: ±200 nm
Z: ±300 nm
X: ±300 nm
Y: ±200 nm
Z: ±300 nm
T: ±8 μrad
X: ±300 nm
Y: ±200 nm
Z: ±300 nm
R: ±30 μrad
X: ±300 nm
Y: ±200 nm
Z: ±300 nm
P: ±30 μrad
Auflösung (minimale Inkrementbewegung) 2 nm X/Y/Z: 2 nm
T: ±0,05 μrad
X/Y/Z: 2 nm
R: 0,25 μrad
X/Y/Z: 2 nm
P: 0,25 μrad
Wiederholbarkeit
(bidirektional)(3)
±150 nm X/Z: ±175 nm
Y: ±150 nm
T: ±3,5 μrad
X/Z: ±175 nm
Y: ±150 nm
R: ±18 μrad
X/Z: ±175 nm
Y: ±150 nm
P: ±18 μrad
Max. Geschwindigkeit(4) X: 400 mm/s
Y: 75 mm/s
Z: 200 mm/s
X: 400 mm/s
Y: 75 mm/s
Z: 200 mm/s
T: 120 Grad/s
X: 400 mm/s
Y: 75 mm/s
Z: 200 mm/s
R: 150 deg/s
X: 400 mm/s
Y: 75 mm/s
Z: 200 mm/s
P: 150 deg/s
Tragfähigkeit(5) 2 kg 1,5 kg 1,5 kg 1,5 kg
Tischmasse 6,0 kg 7,5 kg 6,5 kg 6,5 kg
Material Eloxierter Aluminium
MTBF (Mean Time Between Failure, mittlere Betriebsdauer zwischen Ausfällen) 30.000 Stunden
  1. Die technischen Daten gelten pro Achse gemessen bei 20 mm über dem Verfahrschlitten.
  2. Nur mit Aerotech-Steuerung nutzbar.
  3. Bei jedem Tisch geprüft
  4. Erfordert die Auswahl eines passenden Verstärkers mit ausreichend Versorgungsspannung und Leistung.
  5. Achslast aufgeführt.

 

FiberMaxHP-ZXYTR-ZXYTP-ZXYTPR
Verfahrweg X: 50 mm
Y: 3 mm
Z: 50 mm
T: 20 Grad
R: 20 deg
X: 50 mm
Y: 3 mm
Z: 50 mm
T: 20 Grad
P: 20 deg
X: 50 mm
Y: 3 mm
Z: 50 mm
T: 20 Grad
P: 20 deg
R: 20 deg
Genauigkeit(2,3) Standard X: ±5,5 μm
Y: ±2,0 μm
Z: ±6,0 μm
T: ±25 μrad
R: ±90 μrad
X: ±5,5 μm
Y: ±2,0 μm
Z: ±6,0 μm
T: ±25 μrad
P: ±90 μrad
X: ±6,5 μm
Y: ±2,0 μm
Z: ±7,0 μm
T: ±25 μrad
P/R: ±90 μrad
PLUS X: ±350 nm
Y: ±200 nm
Z: ±350 nm
T: ±8 μrad
R: ±30 μrad
X: ±350 nm
Y: ±200 nm
Z: ±350 nm
T: ±8 μrad
P: ±30 μrad
X: ±400 nm
Y: ±200 nm
Z: ±400 nm
T: ±8 μrad
P/R: ±30 μrad
Auflösung (minimale Inkrementbewegung) X/Z: 3 nm
Y: 2 nm
T: ±0,05 μrad
R: 0,25 μrad
X/Z: 3 nm
Y: 2 nm
T: ±0,05 μrad
P: 0,25 μrad
X/Z: 4 nm
Y: 2 nm
T: ±0,05 μrad
P/R: 0,25 μrad
Wiederholbarkeit
(bidirektional)(3)
X/Z: ±200 nm
Y: ±150 nm
T: ±3,5 μrad
R: ±18 μrad
X/Z: ±200 nm
Y: ±150 nm
T: ±3,5 μrad
P: ±18 μrad
X/Z: ±250 nm
Y: ±150 nm
T: ±3,5 μrad
P/R: ±18 μrad
Max. Geschwindigkeit(4) X: 400 mm/s
Y: 75 mm/s
Z: 200 mm/s
T: 120 Grad/s
R: 150 deg/s
X: 400 mm/s
Y: 75 mm/s
Z: 200 mm/s
T: 120 Grad/s
P: 150 deg/s
X: 400 mm/s
Y: 75 mm/s
Z: 200 mm/s
T: 120 Grad/s
P/R: 150 deg/s
Tragfähigkeit(5) 1 kg 1 kg 1 kg
Tischmasse 8,0 kg 8,0 kg 9,0 kg
Material Eloxierter Aluminium
MTBF (Mean Time Between Failure, mittlere Betriebsdauer zwischen Ausfällen) 30.000 Stunden
    1. Die technischen Daten gelten pro Achse gemessen bei 20 mm über dem Verfahrschlitten.
    2. Nur mit Aerotech-Steuerung nutzbar.
    3. Bei jedem Tisch geprüft
    4. Erfordert die Auswahl eines passenden Verstärkers mit ausreichend Versorgungsspannung und Leistung.
    5. Achslast aufgeführt.

    Elektrische Daten

    Antriebssystem Bürstenloser Servomotor
    Feedback Berührungsloser Linear-Encoder
    Maximale Busspannung 80 V DC
    Endschalter 5 V, Öffner
    Referenzpunktschalter Nähe Mitte

    Empfohlene Steuerung

    A3200 Npaq MXR
    Npaq MR-MXH
    Ndrive ML-MXH

    1. Linearverstärker sind erforderlich, um die angegebenen Spezifikationen zu erfüllen. Andere Optionen sind verfügbar.

    • Modular Design
      modular_design
    • With ANT-95
      with_ant95

    Maße

    Bestellinformationen

    FiberMaxHP Multi-Axis Photonics Alignment System

    Achsenkonfiguration (erforderlich)

    OptionBeschreibung
    -ZXY 3-Achsen-Plattform (Z, X, Y)
    -ZXYT 4-Achsen-Plattform (Z, X, Y, Theta)
    -ZXYP 4-Achsen-Plattform (Z, X, Y, Nicken)
    -ZXYR 4-Achsen-Plattform (Z, X, Y, Rollen)
    -ZXYTP 5-Achsen-Plattform (Z, X, Y, Theta, Nicken)
    -ZXYTR 5-Achsen-Plattform (Z, X, Y, Theta, Rollen)
    -ZXYTPR 6-Achsen-Plattform (Z, X, Y, Theta, Nicken, Rollen)

    Manuelle Einstellung (optional)

    OptionBeschreibung
    -ADJ1 Manuelle 3-Achsen-Winkeleinstellung (±2 Grad), Gieren/Nicken/Rollen
    -ADJ2 Manuelle 2-Achsen-Winkeleinstellung (±2 Grad), Nicken/Rollen
    -ADJ3 Manuelle 2-Achsen-Winkeleinstellung (±2 Grad), Gieren/Nicken
    -ADJ4 Manuelle 2-Achsen-Winkeleinstellung (±2 Grad), Gieren/Rollen
    -ADJ5 Manuelle 1-Achsen-Winkeleinstellung (±2 Grad), Nicken
    -ADJ6 Manuelle 1-Achsen-Winkeleinstellung (±2 Grad), Rollen

    Montageplatte (optional)

    OptionBeschreibung
    -MP1 Montageplatte für Optiktisch

    Performance-Stufe (Pflichtangabe)

    OptionBeschreibung
    -PL1 Basis-Performance
    -PL3 Hochpräzisions-Performance, PLUS

    Integration (erforderlich)

    Aerotech bietet sowohl Standard- als auch benutzerdefinierte Integrationsleistungen, damit Ihr System so schnell wie möglich betriebstüchtig ist. Für dieses System stehen folgende Standardintegrationsoptionen zur Verfügung. Wenn Sie sich nicht sicher sind, welche Integrationsstufe Sie benötigen, oder benutzerdefinierten Integrationssupport mit Ihrem System wünschen, wenden Sie sich bitte an Aerotech.

    OptionBeschreibung
    -TAS Integration – Test as System (als System testen)
    Testen, Integration und Dokumentation einer Gruppe von Komponenten als Komplettsystem, das zusammen verwendet wird (z. B. Antrieb, Steuerung und Tisch). Dies umfasst Parameterdatei-Erstellung, Systemfeineinstellung und Dokumentation der Systemkonfiguration.
    -TAC Integration – Test as Components (einzelne Komponenten testen)
    Testen und Integration der einzelnen Bestandteile als eigene Komponenten. Wird in der Regel für Ersatzteile oder Artikel verwendet, die nicht zusammen verwendet werden (z. B. nur Tisch). Diese Komponenten können Teil eines größeren Systems sein, müssen aber nicht.

    Zubehör (separat zu bestellen)

    OptionBeschreibung
    AP-ANT95R-ANT20G-50 Adapterplatte, ANT95R zu ANT20G-50
    AP-ANT95R-ANT20G-90 Adapterplatte, ANT95R zu ANT20G-90
    Tische mit manueller Winkeleinstellung
    MADJ-AT1 1 Achse, Nicken oder Rollen (±2 Grad)
    MADJ-AT2 2 Achsen, Nicken/Rollen (±2 Grad)
    MADJ-AT3 2 Achsen, Gieren/Nicken oder Gieren/Rollen (±2 Grad)
    MADJ-AT4 3 Achsen, Gieren/Nicken/Rollen (±2 Grad)