Serien FiberAlign FA95e und FA130e direkt angetriebenes Mehrachsen-Photonik-Ausrichtungssystem

Produktbeschreibung

Design Features

  • 3- bis 6-Achsen-Photonik-Ausrichtung
  • Hohe Auflösung (2 nm), Wiederholbarkeit (100 nm) und Genauigkeit (300 nm)
  • Kreuzrollenlager mit Kriechschutz
  • Linearmotortische mit berührungslosem Direktantrieb
  • Direkt angetriebene Dreh- und Goniometer-Optionen
  • Raster-, Spiral- oder Leistungsspitzen-Algorithmen
  • Schnittstelle mit Stromzählern nach dem Branchenstandard

Einführung

Die FiberAlign® FAe-Serie von Aerotech ist das neueste Hochleistungs-Photonik-Ausrichtungssystem, das Best-in-Class-Antriebs- und modernste Achsensteuerungstechnologie vereint. Es basiert auf dem Erfolg der FiberAlign-Originalsysteme, beeindruckt aber durch verbesserte Genauigkeiten und verringerte Schrittweiten. Der modulare Aufbau ermöglicht die Auswahl der Achsenzahl, des Verfahrwegs und der Tragfähigkeit je nach Anwendungsbereich, während gleichzeitig hohe Geschwindigkeit, Auflösung und Genauigkeit gewährleistet werden.

Automatisierte Produktion

Ausrichtungsgenauigkeit, höhere Erträge und Steigerungen der Gerätevolumina werden immer wichtiger, womit der Bedarf an einem präzisen, zuverlässigen und wiederholbaren Bewegungssystem einhergeht. Wegen sich rapide verändernder Komponenten und Fertigungsprozesse ist die Flexibilität bei der Systemkonfiguration ein absolutes Muss. Die FA-Serie von Aerotech erfüllt alle diese Anforderungen. Mit der Auswahl robuster Systemkomponenten und jahrzehntelanger Erfahrung im Präzisionsbewegungsbereich sind hohe Produktionsvolumina in einem 24/7-Fertigungsumfeld jetzt Realität.

Modernste Antriebstechnik

Nur eine berührungslose Direktantriebstechnik bietet die robuste, genaue Hochgeschwindigkeits- und Hochauflösungs-Positionierung, die für die Massenproduktion von Präzisionsvorrichtungen erforderlich ist. Die den neuesten Stand der Technik widerspiegelnde Antriebstechnik von Aerotech bietet eine branchenweit führende Auflösung in Kombination mit Verfahrwegen von bis zu 160 mm und Positioniergeschwindigkeiten von bis zu 200 mm/s. Unter Verwendung äußerst rauscharmer Linearantriebe und einer hochentwickelten Steuerungstechnik bietet die FAe-Serie von Aerotech eine optimale Positionswiederholbarkeit, Genauigkeit und Positionsstabilität, um die Anforderungen des Bewegungssystems hinsichtlich höherer Erträge zu erfüllen.

Schnelle Sichtausrichtung und Power-Scanning-Algorithmen

Umfassendes Software-Toolkit bietet einfachen Zugriff auf die am häufigsten verwendeten Funktionen. Ausrichtungsfunktionen wie ein Anstieg auf der Basis eines Stromzählereingangs und Raster-, Quadrat- oder Kreis-Spiralen-Scans können über Standardfunktionen ganz einfach implementiert werden. Zusätzlich zu den automatisierten Tools sind sowohl eine Joystick- als auch eine Bildschirm-Antippsteuerung für den manuellen Betrieb verfügbar.

FA95e oder FA130e – Was ist für Sie das Richtige?

Um die kontinuierlichen Positionierungs- und Bearbeitungsanforderungen der Photonik-Fertigungsindustrie zu erfüllen, bietet Aerotech die FAE95e und die FA130e. Das dreiachsige Basismodell beider Produkte kann mit weiteren Achsen erweitert werden, um die Bewegung auf sechs Achsen zu steuern: X, Y, Z, T (Gieren), P (Nicken), R (Rollen).

FA95e ist die kompaktere Version (ein Drittel des Volumens von FA130e) und eignet sich ideal für beschränkte Platzverhältnisse. Es können weitere Achsen angebracht werden, um für eine Drehbewegung mit hoher Auflösung und Genauigkeit zu sorgen.

Die Gierdrehbewegung erfolgt mit dem ANT95-R von Aerotech, einem Drehstellglied mit Direktantrieb und hoher Auflösung, während die Nick- und Rollbewegungen vom ANT-20G, dem erweiterten Direktantriebs-Goniometer hoher Auflösung von Aerotech, ermöglicht werden. Die Rotationsvorrichtungen bieten einen Winkelbereich von 20 Grad sowie eine branchenweit führende Schrittauflösung von bis zu 0,01 Winkelsekunden.

Das FA130e verwendet eine ähnliche Bauweise wie das FA95e, bietet aber einen größeren Verfahrweg und höhere Tragfähigkeit in einem etwas größeren Paket. Die Verfahrwege für die X- und Y-Achsen können auf bis zu 160 mm eingestellt werden.

Das FA130e kann auch mit dem Drehstellglied ANT95-R und den Goniometern der Serie ANT-20G gesteuert werden, sodass bis zu sechs Bewegungssteuerungsachsen möglich sind.

Spezifikationen

FA95e Serie Spezifikationen

ModellFA95e-25XY-25ZFA95e-25XY-50ZFA95e-50XY-25ZFA95e-50XY-50Z
Anzahl der Achsen 25 x 25 x 25 mm 25 x 25 x 50 mm 50 x 50 x 25 mm 50 x 50 x 50 mm
Genauigkeit(1) XY Standard ±2,5 µm
Plus ±250 nm
Z Standard ±4 µm
Plus ±300 nm
Auflösung (minimale Inkrementbewegung)(1) 2 nm
Wiederholbarkeit
(Bidirektional)(1)
±100 nm
Rechtwinkligkeit XY Standard 10 Winkelsekunden
Plus 3 Winkelsekunden
Z bis XY Standard 10 Winkelsekunden
Plus 10 Winkelsekunden
Max. Geschwindigkeit(2) 200 mm/s
Positionsstabilität(3) <2 nm
Max. Kraft (kontinuierlich) XY 7,75 N 7,75 N 9,5 N 9,5 N
Z 7,75 N 9,5 N 7,75 N 9,5 N
Tragfähigkeit 3,0 kg 3,0 kg 5,0 kg 5,0 kg
Bewegte Masse XY (Untere) 3,0 kg 3,7 kg 4,0 kg 4,6 kg
XY (Obere) 2,4 kg 3.0 kg 2,7 kg 3,3 kg
Z 0,46 kg 0,46 kg 0,52 kg 0,52 kg
Tischmasse 3,7 kg 4.3 kg 5,1 kg 5,7 kg
Material Aluminiumkörper, schwarze Hartstoffbeschichtung
MTBF (Mean Time Between Failure, mittlere Betriebsdauer zwischen Ausfällen) 20.000 Stunden
  1. Die technischen Daten gelten pro Achse.
  2. Erfordert die Auswahl eines passenden Verstärkers mit ausreichend Versorgungsspannung und Leistung.
  3. Angegebenes Positionsrauschen ist 3-Sigma-Wert.
  4. Versorgungsluft für Gewichts-Ausgleichszylinder der Z-Achse muss sauber, trocken bis 0° F Taupunkt und auf 0,25 µm oder höher gefiltert sein; Stickstoff mit einer Reinheit von 99,99 % wird empfohlen. Der benötigte Luftdruck ist abhängig von der Traglast des Tisches.
  5. -PLUS erfordert die Verwendung einer Aerotech-Steuerung.

Elektrische Daten

 FA95e-XY-Z
Antriebssystem Bürstenloser Linearservomotor
Feedback Berührungsloser Linear-Encoder
Maximale Busspannung ±40 V DC
Endschalter 5 V, Öffner
Referenzpunktschalter Nähe Mitte

Empfohlene Steuerung

 FA95e-XY-Z
Mehrere Achsen A3200 Npaq-MXR
Npaq-MR-MXR
NDrive ML-MXH
Ensemble Epaq-MXH
Epaq-MR-MXH
Ensemble ML-MXH
Einzelachse Soloist Soloist ML-MXH
  1. Linearverstärker sind erforderlich, um die angegebenen Spezifikationen zu erfüllen. Andere Optionen sind verfügbar.

FA130e Serie Spezifikationen

    ModellFA130e-60XY-35ZFA130e-60XY-60ZFA130e-110XY-35ZFA130e-110XY-60Z
    Anzahl der Achsen 60 x 60 x 35 mm 60 x 60 x 60 mm 110x 110 x 35 mm 110 x 110 x 60 mm
    Genauigkeit(1) XY Standard ±2,5 µm ±2,5 µm ±4,0 µm ±4,0 µm
    Plus ±250 nm ±250 nm ±300 nm ±300 nm
    Z Standard ±3 µm
    Plus ±300 nm
    Auflösung (minimale Inkrementbewegung)(1) 2 nm
    Wiederholbarkeit
    (Bidirektional)(1)
    ±100 nm
    Rechtwinkligkeit XY Standard 10 Winkelsekunden
    Plus 3 Winkelsekunden
    Z bis XY Standard 10 Winkelsekunden
    Plus 10 Winkelsekunden
    Max. Geschwindigkeit(2) 200 mm/s
    Positionsstabilität(3) <2 nm
    Max. Kraft (kontinuierlich) XY 23 N
    Z 23 N
    Tragfähigkeit 8,0 kg
    Bewegte Masse XY (Untere) 8,5 kg 9,4 kg 10,0 kg 10,9 kg
    XY (Obere) 5,8 kg 6,7 kg 6,4 kg 7,3 kg
    Z 1,2 kg 1,4 kg 1,2 kg 1,4 kg
    Tischmasse 9,8 kg 10,7 kg 11,7 kg 12,6 kg
    Material Aluminiumkörper, schwarze Hartstoffbeschichtung
    MTBF (Mean Time Between Failure, mittlere Betriebsdauer zwischen Ausfällen) 20.000 Stunden
    1. Die technischen Daten gelten pro Achse.
    2. Erfordert die Auswahl eines passenden Verstärkers mit ausreichend Versorgungsspannung und Leistung.
    3. Angegebenes Positionsrauschen ist 3-Sigma-Wert.
    4. Z-axis ausgleichsgewicht versorgungsluft muss sauber, trocken bis 0° F Taupunkt und auf 0,25 µm oder höher gefiltert sein; Stickstoff mit einer Reinheit von 99,99% wird empfohlen. Stickstoff mit einer Reinheit von 99,9 % wird empfohlen. Der benötigte Luftdruck ist abhängig von der Traglast des Tisches.
    5. -PLUS erfordert die Verwendung einer Aerotech-Steuerung.

    ModellFA130e-160XY-35ZFA130e-160XY-60Z
    Anzahl der Achsen 160 x 160 x 35 mm 160 x 160 x 60 mm
    Genauigkeit(1) XY Standard ±5,0 µm ±5,0 µm
    Plus ±300 nm
    Z Standard ±3 µm
    Plus ±300 nm
    Auflösung (minimale Inkrementbewegung)(1) 2 nm
    Wiederholbarkeit
    (Bidirektional)(1)
    ±100 nm
    Rechtwinkligkeit XY Standard 10 Winkelsekunden
    Plus 3 Winkelsekunden
    Z bis XY Standard 10 Winkelsekunden
    Plus 10 Winkelsekunden
    Max. Geschwindigkeit(2) 200 mm/s
    Positionsstabilität(3) <2 nm
    Max. Kraft (kontinuierlich) XY 23 N
    Z 23 N
    Tragfähigkeit 8,0 kg
    Bewegte Masse XY (Untere) 11,2 kg 12,1 kg
    XY (Obere) 6,7 kg 7,6 kg
    Z 1,2 kg 1,4 kg
    Tischmasse 13,2 kg 14,1 kg
    Material Aluminiumkörper, schwarze Hartstoffbeschichtung
    MTBF (Mean Time Between Failure, mittlere Betriebsdauer zwischen Ausfällen) 20.000 Stunden
    1. Die technischen Daten gelten pro Achse.
    2. Erfordert die Auswahl eines passenden Verstärkers mit ausreichend Versorgungsspannung und Leistung.
    3. Angegebenes Positionsrauschen ist 3-Sigma-Wert. Z-axis ausgleichsgewicht versorgungsluft muss sauber, trocken bis 0° F Taupunkt und auf 0,25 µm oder höher gefiltert sein; Stickstoff mit einer Reinheit von 99,99 % wird empfohlen. Der benötigte Luftdruck ist abhängig von der Traglast des Tisches.
    4. -PLUS erfordert die Verwendung einer Aerotech-Steuerung.

    Elektrische Daten

     FA130e-XY-Z
    Antriebssystem Bürstenloser Linearservomotor
    Feedback Berührungsloser Linear-Encoder
    Maximale Busspannung ±40 V DC
    Endschalter 5 V, Öffner
    Referenzpunktschalter Nähe Mitte

    Hinweis: Um die Einhaltung und Wiederholbarkeit der Spezifikationen über längere Zeit zu gewährleisten, muss die Umgebungstemperatur auf einen Wert innerhalb von 0,25 °C/24 Stunden geregelt werden. Ist dies nicht möglich, stehen Alternativprodukte zur Verfügung. Weitere Informationen erhalten Sie bei Aerotech.

    Empfohlene Steuerung

     FA130e-XY-Z
    Mehrere Achsen A3200 Npaq-MXR
    Npaq-MR-MXR
    NDrive ML-MXH
    Ensemble Epaq-MXH
    Epaq-MR-MXH
    Ensemble ML-MXH
    Einzelachse Soloist Soloist ML-MXH

    Maße

    Bestellinformationen

    Bestellbeispiel Serie FA95e

    FA95e -25XY -25Z -RH -T -A -PLUS

    Bestelloptionen

    SerieXY-AchseZ-AchseZ-Achsen-KabelabgangOptionale RotationsachsenAchsenorientierungGenauigkeitsstufe
    FA95e -25XY
    -50XY
    -25Z -RH
    -LH
    -T
    -P
    -R
    -A
    -B
    -C
    -PLUS

    Direkt angetriebenes Mehrachsen-Photonik-Ausrichtungssystem FA95e

    OptionBeschreibung
    FA95e Eigens entwickelte Direktantriebsmotortechnik, Faserübersetzer auf Linearencoder-Basis, XYZ-Achsen orthogonal auf 10 Winkelsekunden ausgerichtet.

    XY-Achse

    OptionBeschreibung
    -25XY 25 mm x 25 mm XY-Verfahrweg
    -50XY 50 mm x 50 mm XY-Verfahrweg

    Z-Achse

    OptionBeschreibung
    -25Z 25 mm Z-Verfahrweg

     

    Z-Achsen-Kabelabgang

    OptionBeschreibung
    -RH Z-Achsen-Kabelabgang rechts
    -LH Z-Achsen-Kabelabgang links

    Optionale Rotationsachsen

    OptionBeschreibung
    Die Achsenorientierung ist X,Y,Z von der unteren zur oberen Achse. X ist die untere Achse, Y die mittlere und Z die obere (vertikale) Achse.
    -T Einzelne, zum Gieren ausgerichtete Rotationsachse; Rotation um Y-Achse (ANT95-20-R)
    -P Einzelne, zum Nicken ausgerichtete Goniometer-Rotationsache; Rotation um Y-Achse (ANT-20G)
    -R Einzelne, zum Rollen ausgerichtete Goniometer-Rotationsache; Rotation um X-Achse (ANT-20G)

    Hinweis: Andere Achsenkombinationen auf Anfrage verfügbar.

    Achsenorientierung

    Die Buchstaben in der Achsenorientierung entsprechen den Standard-XYZ-Konfigurationen, die in der Spezifikation von Aerotech zu mehrachsigen Baugruppen angegeben sind. Der Buchstabe gibt die Ausrichtung der vertikalen Achse (Z) in Bezug auf die untere Achse (X) an.
    -A XY-Kabelabgang hinten; vertikaler Achsenverfahrschlitten parallel zur mittleren Achse (Y); weist zur Vorderseite hin
    -B XY-Kabelabgang hinten; vertikaler Achsenverfahrschlitten parallel zur unteren Achse (X); weist nach links
    -C XY-Kabelabgang hinten; vertikaler Achsenverfahrschlitten parallel zur unteren Achse (X); weist nach rechts

    Optionale Genauigkeitsstufe

    -PLUS Hochpräzisionsversion

    Bestellbeispiel FA130e

    FA130e -60XY -35Z -T -A -PLUS

    Bestelloptionen

    SerieXY-AchseZ-AchseOptionale RotationsachseAchsenorientierungGenauigkeitsstufe
    FA130e -60XY
    -110XY
    -160XY
    -35Z
    -60z
    -T
    -P
    -R
    -A
    -B
    -C
    -PLUS

    Direkt angetriebenes Mehrachsen-Photonik-Ausrichtungssystem FA130e

    OptionBeschreibung
    FA130e Eigens entwickelte Direktantriebsmotortechnik, Faserübersetzer auf Linearencoder-Basis, XYZ-Achsen orthogonal auf 10 Winkelsekunden ausgerichtet.

    XY-Achse

    OptionBeschreibung
    -60XY 60 mm x 60 mm XY-Verfahrweg
    -110XY 110 mm x 100 mm XY-Verfahrweg
    -160XY 160 mm x 160 mm XY-Verfahrweg

    Z-Achse

    OptionBeschreibung
    -35Z 35 mm Z-Verfahrweg
    -60z 60 mm Z-Verfahrweg

    Optionale Rotationsachsen

    OptionBeschreibung
    Die Achsenorientierung ist X,Y,Z von der unteren zur oberen Achse. X ist die untere Achse, Y die mittlere und Z die obere (vertikale) Achse.
    -T Einzelne, zum Gieren ausgerichtete Rotationsachse; Rotation um Y-Achse (ANT95-20-R)
    -P Einzelne, zum Nicken ausgerichtete Goniometer-Rotationsache; Rotation um Y-Achse (ANT-20G)
    -R Einzelne, zum Rollen ausgerichtete Goniometer-Rotationsache; Rotation um X-Achse (ANT-20G)

    Hinweis: Andere Achsenkombinationen auf Anfrage verfügbar.

    Achsenorientierung

    OptionBeschreibung
    Die Buchstaben in der Achsenorientierung entsprechen den Standard-XYZ-Konfigurationen, die in der Spezifikation von Aerotech zu mehrachsigen Baugruppen angegeben sind. Der Buchstabe gibt die Ausrichtung der vertikalen Achse (Z) in Bezug auf die untere Achse (X) an.
    -A XY-Kabelabgang hinten; vertikaler Achsenverfahrschlitten parallel zur mittleren Achse (Y); weist zur Vorderseite hin
    -B XY-Kabelabgang hinten; vertikaler Achsenverfahrschlitten parallel zur unteren Achse (X); weist nach links
    -C XY-Kabelabgang hinten; vertikaler Achsenverfahrschlitten parallel zur unteren Achse (X); weist nach rechts

    Optionale Genauigkeitsstufe

    -PLUS Hochpräzisionsversion