MaskAlign Fotomasken-Ausrichtungssystem

Produktbeschreibung

Design Features

  • Dreiachsen-Fotomasken-Ausrichtungstisch
  • Standardschnittstelle für 6- oder 8-Zoll-Masken
  • Integrierte Vakuumvertiefung zur Maskenretention
  • Niedrigprofil für die einfache Integration in den Optikbereich
  • Direkt angetriebene bürstenlose Servomotoren

Einführung

Die Tische der MaskAlign-Serie von Aerotech sind Hochleistungs-Fotomasken-Ausrichtungssysteme, die speziell für die anspruchsvollen Anforderungen neuester Halbleiter- und Flachbildschirm-Schreibsysteme entwickelt wurden. Der MaskAlign beinhaltet eine eigens entwickelte Antriebstechnik und bietet Best-in-Class-Geschwindigkeit, Auflösung, Genauigkeit und Wiederholbarkeit.

Maskenausrichtung und -retention

Der MaskAlign weist ein integriertes Ausrichtungssystem auf, das eine korrekte Maskenplatzierung bei minimalem Aufwand gewährleistet. Fixe Stifte legen die Maskenposition fest, wobei zwei Sperrmechanismen die Maske in ihre endgültige Position drücken. Wenn die Maske korrekt ausgerichtet ist, wird sie mithilfe eines integrierten Vakuumkanals fixiert. All diese Funktionen gewährleisten eine korrekte Maskenausrichtung und -retention während des Schreibvorgangs.

Berührungsloser Direktantrieb

Nur ein berührungsloser Direktantrieb ermöglicht die robuste, präzise Hochgeschwindigkeitspositionierung, die für die Massenfertigung von Präzisionsgeräten erforderlich ist. Die X- und Y-Achsen verwenden bürstenlose Linearmotoren von Aerotech, um eine cogging-freie, berührungslose Hochleistungspositionierung zu gewährleisten. Die Theta-Achse nutzt einen eigens entwickelten gebogenen Linearmotor, der auf den herausragenden Linearmotoren von Aerotech basiert. Diese komplette Direktantriebslösung erzeugt ein robustes System mit der höchstmöglichen Performance.

Präzisionspositionierung

Das kompakte integrierte Design hat gestapelten Systemen gegenüber einen deutlichen Vorteil: Weil die Gesamthöhe reduziert wird, werden auch die Auswirkungen der Abbe-Fehler verringert. Selbst mit einem kompakten Design bietet das MaskAlign-System xy-Bewegungen von bis zu 150 mm und 20-Grad-Theta-Bewegungen.

Der MaskAlign nutzt außerdem ein sehr flexibles Kabelmanagement-System (CMS). Das horizontale CMS ermöglicht größere Biegungsradii, was die Kabellebensdauer beträchtlich verlängert, während gleichzeitig die Gesamthöhe minimiert wird. Bei diesem System sind auch alle Anschlüsse und Verbindungen höchst einfach und geradlinig. Dazu wird eine einzige Halterung verwendet, sodass alle elektrischen und pneumatischen Stecker an einem einzigen Ort zu finden sind.

Robustes Design

Aerotech entwickelt und baut seit langer Zeit Bewegungssteuerungs- und Positionierungskomponenten sowie vollständige Positionierungssysteme. Dieses Wissen wird auf alle unserer Komponenten und Systeme angewendet und führt zu robusten Designs, die auf eine lange und durchgängige Funktion in einer Produktionsumgebung ausgelegt sind.

Flexible Konfigurationen and Spezialanfertigungen

Aerotech stellt eine breite Palette von Servoverstärkern und hochentwickelten Steuerungen her, um ein vollintegriertes Komplettpaket zu bieten. Darüber hinaus entwickeln wir routinemäßig Spezialsysteme, stellen diese her, testen sie und erstellen Prüfprotokolle ganz nach den Kundenspezifikationen.

Spezifikationen

MaskAlign - Spezifikationen

MaskAlign 100Achse 1 (X)
Obere lineare Achse
Achse 2 (Y)
Untere lineare Achse
Achse 3 (Theta)
Verfahrweg 100 mm (obere Achse) 100 mm (untere Achse) 20 Grad
Apertur 120 mm im Quadrat mit XY-Tisch bei mittlerem Verfahrweg; 70 mm im Quadrat mit XY-Tisch bei vollem Verfahrweg
Genauigkeit(1) ±1 µm ±1 µm ±1,5 Winkelsekunden
Wiederholbarkeit(1) ±0,5 µm ±0,5 µm ±0,5 Winkelsekunden
Geradheit ±1,5 µm ±1,5 µm k.A.
Ebenheit ±1,5 µm ±1,5 µm k.A.
Nicken (Winkelsekunde) ±4 Winkelsekunden ±4 Winkelsekunden k.A.
Gieren (Winkelsekunde) ±4 Winkelsekunden ±4 Winkelsekunden k.A.
Max. Last 2 kg
XY-Rechtwinkligkeit 5 Winkelsekunden
Bewegte Masse 8,8 kg 14,6 kg k.A.
Tischmasse 19 kg

  1. Werte mit Aerotech-Steuerungen und Kalibrierung.
MaskAlign 150Achse 1 (X)
Obere lineare Achse
Achse 2 (Y)
Untere lineare Achse
Achse 3 (Theta)
Verfahrweg 150 mm (obere Achse) 150 mm (untere Achse) 20 Grad
Apertur 170 mm im Quadrat mit XY-Tisch bei mittlerem Verfahrweg; 70 mm im Quadrat mit XY-Tisch bei vollem Verfahrweg
Motorbauart BLMUC-111-A (ein Motor) BLMUC-143-A (ein Motor) Spezial-BLMUC-111-A (kurvenlinear)
Genauigkeit(1) ±1 µm ±1 µm ±1,5 Winkelsekunden
Wiederholbarkeit(1) ±0,5 µm ±0,5 µm ±0,5 Winkelsekunden
Geradheit ±2,5 µm ±2,5 µm k.A.
Ebenheit ±2,5 µm ±2,5 µm k.A.
Nicken (Winkelsekunde) ±6 Winkelsekunden ±6 Winkelsekunden k.A.
Gieren (Winkelsekunde) ±6 Winkelsekunden ±6 Winkelsekunden k.A.
Max. Last 5 kg
XY-Rechtwinkligkeit 5 Winkelsekunden
Bewegte Masse 9,2 kg 15,7 kg k.A.
Tischmasse 22 kg

  1. Werte mit Aerotech-Steuerungen und Kalibrierung.

Maße

  • MaskAlign 100 (Consult factory for MaskAlign 150 dimensions)
    Enlarge Image

Bestellinformationen

Fotomasken-Ausrichtungssystem MaskAlign

MaskAlign 100 Maskenübersetzer

OptionBeschreibung
MaskAlign Direkt angetriebener XYT-Maskenausrichtungstisch

Verfahrweg (erforderlich)

OptionBeschreibung
-100 100 mm XY-Verfahrweg
-150 150 mm XY-Verfahrweg

Endschalter (erforderlich)

OptionBeschreibung
-LI1 Öffner-Endschalter (Standard)
-LI2 Schließer-Endschalter (Standard)

Integration (erforderlich)

Aerotech bietet sowohl Standard- als auch benutzerdefinierte Integrationsleistungen, damit Ihr System so schnell wie möglich betriebstüchtig ist. Für dieses System stehen folgende Standardintegrationsoptionen zur Verfügung. Wenn Sie sich nicht sicher sind, welche Integrationsstufe Sie benötigen, oder benutzerdefinierten Integrationssupport mit Ihrem System wünschen, wenden Sie sich bitte an Aerotech.

OptionBeschreibung
-TAS Integration – Test as System (als System testen)
Testen, Integration und Dokumentation einer Gruppe von Komponenten als Komplettsystem, das zusammen verwendet wird (z. B. Antrieb, Steuerung und Tisch). Dies umfasst Parameterdatei-Erstellung, Systemfeineinstellung und Dokumentation der Systemkonfiguration.
-TAC Integration – Test as Components (einzelne Komponenten testen)
Testen und Integration der einzelnen Bestandteile als eigene Komponenten. Wird in der Regel für Ersatzteile oder Artikel verwendet, die nicht zusammen verwendet werden (z. B. nur Tisch). Diese Komponenten können Teil eines größeren Systems sein, müssen aber nicht.