SMP Oberflächenmessungs-Bewegungsplattform

Produktbeschreibung

Die SMP ist ein komplettes Mehrachsen-Bewegungssystem, das als ideale Bewegungsplattform für Oberflächenmessungsanwendungen konzipiert wurde. Die SMP wurde optimiert, um mehr Flexibilität bei der 2D- und 3D-Konturierung, höhere Präzision mit Nanometer-Auflösung, eine signifikant reduzierte Bearbeitungszeit und eine minimale Stellfläche zu bieten. Weitere Informationen finden Sie im vollständigen Produktblatt.

SMP-Vorteile

Mehr Flexibilität
  • 2D- und 3D-Konturierung
  • Messung sphärischer, asphärischer und zylindrischer Formen (Anwendungsbeispiel: präzise Messung optischer Komponenten)
  • Scan- oder Punkt-zu-Punkt-Bewegungsprofile
  • Verfügbar in vielen Konfigurationen
  • Generische elektrische Hochgeschwindigkeits-Schnittstelle zwischen Bewegungs- und Sensorsteuerung
  • Software mit offener Architektur zur Integration vieler verschiedener Sensoren wie Weißlicht- oder Multiwellenlängen-Interferometer, Kamerasysteme oder kapazitiver Messsonden
  • Benutzerfreundliche, moderne Bewegungsalgorithmen vereinfachen die Erstellung von Bewegungsprofilen

Höhere Präzision

  • Achsenwiederholbarkeit im unteren Nanometerbereich
  • Minimale Inkrementbewegung auf Nanometerebene (Auflösung)
  • Äußerst gleichmäßige Bewegung selbst bei sehr niedrigen Geschwindigkeiten
  • Reduzierte Bearbeitungszeit
  • Sie sparen bis 40 % der Messzeit im Vergleich zu herkömmlichen kartesischen Systemen
  • Echtzeitkommunikation zwischen Bewegungs- und Sensorsteuerung bietet Synchronisation von Mess- und Positionsdaten
  • Schneller Datenzugriff während der Messung und intelligentes Datenmanagement

Minimale Stellfläche

  • Stellflächeneinsparungen von 60 % im Vergleich zu kartesischen Systemen

Anwendungen zur Messung gemeinsamer Flächen


SMP-Messung gemeinsamer Flächen


smp-320-420

Spezifikationen

SMP220-Einzelachsspezifikationen

Achse C RR Z TT
Auflösung 0,08 Winkelsekunden 1 nm 2 nm 0,01 Winkelsekunden
Genauigkeit ±2 Winkelsekunden ±0,3 µm ±0,5 µm 3 Winkelsekunden
Wiederholbarkeit <1 Winkelsekunden ±75 nm ±100 nm 1,5 Winkelsekunden
Geradheit -------------- ±1,0 µm ±1 µm --------------
Ebenheit -------------- ±1,0 µm ±1 µm --------------
Axialfehler <100 nm -------------- -------------- --------------
Radialfehler <250 nm -------------- -------------- --------------
Neigungsfehler <0,7 Winkelsekunden -------------- -------------- --------------
Verfahrweg 360° kontinuierlich 110 mm 50 mm 180°
Max. Geschwindigkeit 1800°/s 350 mm/s 200 mm/s 120°/s
Maximale Werkstückgröße/-masse 220 mm Durchmesser; 31 kg
Maximale Sensormasse 1500 g
Sensorbewegungsachsen (RR, Z, TT) Alle Sensorachsen mit Direktantrieb und bürstenlosem Motorantrieb
Werkstückbewegungsachse (C-Achse) 360° kontinuierliche Rotation, hochpräzises Drehluftlager von Aerotech

SMP320-Einzelachsspezifikationen

Achse C RR Z TT
Auflösung 0,01 Winkelsekunden 1 nm 2 nm 0,01 Winkelsekunden
Genauigkeit ±2 Winkelsekunden ±0,5 µm ±0,5 µm 3 Winkelsekunden
Wiederholbarkeit <1 Winkelsekunden ±100 nm ±100 nm 1,5 Winkelsekunden
Geradheit -------------- ±0,5 µm ±1 µm --------------
Ebenheit -------------- ±0,5 µm ±1 µm --------------
Axialfehler <100 nm -------------- -------------- --------------
Radialfehler <250 nm -------------- -------------- --------------
Neigungsfehler <0,5 Winkelsekunden -------------- -------------- --------------
Verfahrweg 360° kontinuierlich 150 mm 50 mm 180°
Max. Geschwindigkeit 3000°/s 300 mm/s 200 mm/s 120°/s
Maximale Werkstückgröße/-masse 320 mm Durchmesser; 12 kg
Maximale Sensormasse 1500 g
Sensorbewegungsachsen (RR, Z, TT) Alle Sensorachsen mit Direktantrieb und bürstenlosem Motorantrieb
Werkstückbewegungsachse (C-Achse) 360° kontinuierliche Rotation, hochpräzises Drehluftlager von Aerotech

SMP420-Einzelachsspezifikationen

Achse C RR Z TT/td>
Auflösung 0,005 Winkelsekunden 1 nm 2 nm 0,01 Winkelsekunden
Genauigkeit ±2 Winkelsekunden ±200 nm ±0,5 µm 3 Winkelsekunden
Wiederholbarkeit <1 Winkelsekunden ±125 nm ±100 nm 1,5 Winkelsekunden
Geradheit -------------- ±1,5 µm ±2,5 µm --------------
Ebenheit -------------- ±1,5 µm ±2,5 µm --------------
Axialfehler <100 nm -------------- -------------- --------------
Radialfehler <250 nm -------------- -------------- --------------
Neigungsfehler <0,5 Winkelsekunden -------------- -------------- --------------
Verfahrweg 360° kontinuierlich 260 mm 100 mm 180°
Max. Geschwindigkeit 3000°/s 500 mm/s 200 mm/s 120°/s
Maximale Werkstückgröße/-masse 420 mm Durchmesser; 97 kg
Maximale Sensormasse 1500 g
Sensorbewegungsachsen (RR, Z, TT) Alle Sensorachsen mit Direktantrieb und bürstenlosem Motorantrieb
Werkstückbewegungsachse (C-Achse) 360° kontinuierliche Rotation, hochpräzises Drehluftlager von Aerotech
  • SMP with Axes

Maße

Bestellinformationen

Bestellinformationen zur SMP erhalten Sie von einem Aerotech-Applikationsingenieur.