Wafer Chucks

Produktbeschreibung

Design Features

  • Chucks für 200-, 300- und 450-mm-Wafer, Masken und Flachbildschirmdisplays
  • Vielzahl von Oberflächenausführungen, darunter Hartbeschichtung und chemische Vernickelung
  • 10 Mikrometer Ebenheit (basiert auf 300-mm-Wafer-Standard-Chuck)
  • Spezialanfertigungen verfügbar

Um die Systementwicklung zu vereinfachen und die Kosten zu reduzieren, stellt Aerotech speziell angefertigte Chucks mit hoher Präzision her und integriert diese. Spezialanfertigungen umfassen Chucks für 200- und 300-mm-Wafer sowie andere Substrate wie Masken und Flachbildschirmdisplays. Die branchenführenden Fertigungskapazitäten von Aerotech führen zu Vakuum-Chucks mit einer Ebenheit von 10 µm (basierend auf 300-mm-Wafer-Standard-Chuck). Nivellierungsmechanismen und Wafer-Lade/Entladevorrichtungen können in das Design integriert werden. Darüber hinaus kann unser erfahrenes technisches Personal den Chuck so konstruieren, dass er eine Schnittstelle mit praktisch jeder Roboterarmkonfiguration bildet. Informationen zur schnellen Entwicklung integrierter Spezial-Chuck-Lösungen mit hoher Präzision bei reduzierten Systemkosten erhalten Sie direkt von Aerotech.

Wafer-Anwendung

Maße

Bestellinformationen

Bestellinformationen zu Wafer-Chucks erhalten Sie von einem Aerotech-Applikationsingenieur.