ABS2000 Direktantriebsspindel

Produktbeschreibung

Design Features

  • Bürstenloser Servomotor mit hohem Wirkungsgrad
  • Höchste Präzision
  • Berührungsloses Luftlager
  • Nach ISO 1940 G 0.4 ausbalanciert
  • Auflösung von unter einer Winkelsekunde bei hoher Geschwindigkeit
  • Benutzerdefinierte Konfigurationen verfügbar
  • Ideal geeignet für Data Storage, Wafer-Verarbeitung, Diamantdrehen und Bildgebung
Die direkt angetriebenen, luftgelagerten Spindeln der Serie ABS von Aerotech bestechen durch eine hervorragende Winkelpositionierung und Geschwindigkeitssteuerung für Prozesse wie Datenspeicherung, Wafer-Verarbeitung, Diamantdrehen und Bildgebung.

Hervorragende Mechanik
Die ABS2000 verwendet ein präzisionsgeschliffenes Luftlager, um eine hervorragende Drehgenauigkeit und extrem hohe Steifigkeit zu gewährleisten. Diese Bauweise ermöglicht eine hohe Tragfähigkeit und überragende Performance über einen breiten Betriebsgeschwindigkeitsbereich hinweg. Die ABS2000 ist auf ISO 1940 G 0.4-Toleranzen ausbalanciert.

Direktantriebsmotor mit hohem Wirkungsgrad und ohne Störeffekte
Dieser speziell entwickelte Motor erzeugt ein kontinuierliches Drehmoment von >0,25 N m bei vernachlässigbaren Motorverlusten, sodass keine externe Kühlung erforderlich ist. Die Motorauslegung minimiert parasitäre Kräfte im Motor und bietet eine außerordentlich gute Performance. Diese Motoren besitzen alle Vorteile eines bürstenlosen direkt angetriebenen Motors (keine Bürsten, die sich abnutzen, hohe Beschleunigung und Geschwindigkeiten).

Genaue Positionierung
Mit einem Gleichlauf von <0,1 %, einer asynchronen Fehlerbewegung von 20 nm und einer gesamten Fehlerbewegung von <450 nm bietet die Aerotech-Spindel eine hervorragende Performance für hochpräzise Anwendungen. Der Hochleistungsmotor und der Drehgeber sind direkt an eine gemeinsame Welle gekoppelt. Bei Verwendung mit der Aerotech-SteuerungA3200und dem Antriebs-Rack Npaq® kann eine Spindelauflösung von bis zu 0,05 Winkelsekunden ohne Geschwindigkeitsbeeinträchtigungen erzielt werden. Dadurch eignet sich die Spindel ideal für Anwendungen, die sowohl Spindel- als auch Tischbetrieb erfordern.

Flexible Konfigurationen
Es stehen verschiedene Encoder-Auflösungen sowie eine optionale Drehdurchführung für eine Vakuumversorgung zur Verfügung. Weitere Optionen sind mechanische oder Vakuum-Chuck-Konfigurationen, Kugelaufnahme und Optikhalterungen. Es sind alternative Motoren mit höherer Drehzahl lieferbar. Aerotech stellt eine breite Palette von Servoverstärkern und modernen Steuerungen her, um ein voll integriertes Bewegungspaket zu bieten.

Spezifikationen

Spezifikationen

GrundmodellABS2000
Motor SF75-21-2X
Dauerstrom, Stillstand Apk 2,25 A
Arms 1,6 A
Feedback Direktencoder
Auflösung

256-2048 Linien/U; andere Linienzahlen verfügbar

Nenndrehzahl(1) 6000 U/min
Maximale Last Radial 66 N
Axial 178 N
Trägheit (ohne Last) 0,0015 kg·m2
Synchrone Fehlerbewegung(2) Radial ‹100 nm
Axial ‹100 nm
Asynchrone Fehlerbewegung(2) Radial 20 nm
Axial 20 nm
Gleichlauf <0,1 % bei 6000 U/min
Ausgleichsgrad(3) ISO 1940 G 0.4
Lagersteifigkeit Radial 50 N/µm
Axial 140 N/µm
Masse 6,0 kg
Betriebsdruck(4) 120 psi
Luftverbrauch(5) <2 SLPM
Material Welle Stahl
Gehäuse Aluminium (Stahl verfügbar)
Oberflächenbearbeitung Chemische Vernickelung oder schwarze Hartstoffbeschichtung
  1. Maximalgeschwindigkeit abhängig von Last und Encoderauflösung.
  2. Bei Fragen wenden Sie sich an Aerotech.
  3. Gemäß ISO 1940: „Mechanische vibrationsausgleichende Qualitätsanforderungen steifer Rotoren.“
  4. Um Luftlager vor Druckabfall zu schützen, wird ein in die Leitung integrierter Druckschalter empfohlen, der mit der Bewegungssteuerung verbunden ist.
  5. Die Versorgungsluft muss sauber, trocken bis -17,8° C Taupunkt und auf 0,25 µm oder höher gefiltert sein. Empfohlen: Stickstoff mit 99,9% Reinheit.
  • ABS2000 Error Motion

Maße

Bestellinformationen

Bestellbeispiel

ABS2000 -E6 -RU1 -TAC

ABS2000 Hochgeschwindigkeits-Luftlager-Spindeloptionen

Positions-Transducer-Optionen

OptionBeschreibung
-E1 256 Linien/U, direkt gekoppelter Drehgeber
-E2 512 Linien/U, direkt gekoppelter Drehgeber
-E3 1000 Linien/U, direkt gekoppelter Drehgeber
-E4 1024 Linien/U, direkt gekoppelter Drehgeber
-E5 2000 Linien/U, direkt gekoppelter Drehgeber
-E6 2048 Linien/U, direkt gekoppelter Drehgeber

Weitere Optionen

OptionBeschreibung
-RU1 Drehdurchführung mit Einzelanschluss

Integration (erforderlich)

Aerotech bietet sowohl Standard- als auch benutzerdefinierte Integrationsleistungen, damit Ihr System so schnell wie möglich betriebstüchtig ist. Für dieses System stehen folgende Standardintegrationsoptionen zur Verfügung. Wenn Sie sich nicht sicher sind, welche Integrationsstufe Sie benötigen, oder benutzerdefinierten Integrationssupport mit Ihrem System wünschen, wenden Sie sich bitte an Aerotech.

OptionBeschreibung
-TAS Integration – Test as System (als System testen)
Testen, Integration und Dokumentation einer Gruppe von Komponenten als Komplettsystem, das zusammen verwendet wird (z. B. Antrieb, Steuerung und Tisch). Dies umfasst Parameterdatei-Erstellung, Systemfeineinstellung und Dokumentation der Systemkonfiguration.
-TAC Integration – Test as Components (einzelne Komponenten testen)
Testen und Integration der einzelnen Bestandteile als eigene Komponenten. Wird in der Regel für Ersatzteile oder Artikel verwendet, die nicht zusammen verwendet werden (z. B. nur Tisch). Diese Komponenten können Teil eines größeren Systems sein, müssen aber nicht.